近日，福建安芯半導(dǎo)體科技有限公司時隔1個月，再次出貨一臺價值近千萬元的光刻機(jī)，現(xiàn)已交付國內(nèi)某研究所用于cmos領(lǐng)域研究。

據(jù)中國芯谷報道，通過四天左右的恒溫氣墊車長途運輸，光刻機(jī)設(shè)備順利從園區(qū)運抵國內(nèi)某研究所，為該研究所在cmos領(lǐng)域研發(fā)提供了重要支撐。此外，雙方將就半導(dǎo)體領(lǐng)域研發(fā)進(jìn)行深入對接，共同推動產(chǎn)業(yè)發(fā)展。

今年3月13日，福建安芯半導(dǎo)體一臺值近千萬元的光刻機(jī)出貨，交付杭州海康威視公司用于生產(chǎn)耳溫槍。據(jù)泉州網(wǎng)報道，當(dāng)時福建安芯半導(dǎo)體總經(jīng)理張琪表示，目前我們尚不能完全自主研發(fā)，但通過改造、提升，實現(xiàn)了60%至70%的國產(chǎn)化。

據(jù)了解，光刻機(jī)分為接觸式、接近式、步進(jìn)式。目前國內(nèi)使用較多的為步進(jìn)式光刻機(jī)。光刻機(jī)是生產(chǎn)大規(guī)模集成電路的核心設(shè)備，制造和維護(hù)需要高度的光學(xué)和電子工業(yè)基礎(chǔ)，世界上只有少數(shù)廠家掌握，如ASML、尼康、佳能。因此光刻機(jī)價格昂貴。

福建安芯半導(dǎo)體科技有限公司通過設(shè)對步進(jìn)式光刻機(jī)設(shè)備翻新、改造和安裝調(diào)試多年的經(jīng)驗累積，積淀光刻機(jī)設(shè)備研發(fā)技術(shù)，進(jìn)行光刻機(jī)主要零部件自主研發(fā)替代，推動半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化，讓我們一起關(guān)注并支持國產(chǎn)化企業(yè)發(fā)展。

資料顯示，福建安芯半導(dǎo)體是泉州芯谷南安分園區(qū)引進(jìn)的首家高科技半導(dǎo)體設(shè)備公司，主要經(jīng)營黃光設(shè)備設(shè)備翻新、改造和安裝調(diào)試，自主研發(fā)新黃光和蝕刻設(shè)備的銷售及技術(shù)支持，并提供半導(dǎo)體整線解決方案，產(chǎn)品涉獵集成電路、LED、MEMS、顯示面板、光伏等黃光設(shè)備領(lǐng)域。除了向客戶提供半導(dǎo)體生產(chǎn)線設(shè)備總體解決方案的同時，也向客戶提供先進(jìn)半導(dǎo)體器件的設(shè)計、制造等技術(shù)咨詢。
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