在人工智能、大數據以及物聯網的進一步發展之下，數據的收集顯得尤為重要，而與收集數據息息相關的傳感器市場將更加廣闊。尤其是物聯網的發展，傳感器產品需求大幅增加，重心也逐漸轉向技術含量較高的MEMS傳感器領域。

MEMS的全稱是微型電子機械系統，利用傳統的半導體工藝和材料，集微傳感器、微執行器、微機械機構、信號處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信和電源等于一體的微型器件或系統。具有小體積、低成本、集成化等特點。

在眾多MEMS傳感器中，MEMS氣體傳感器無疑是這個領域冉冉升起的新星。除了智能手機，MEMS氣體傳感器將會在可穿戴等消費電子，安全駕駛、智能工廠、智慧倉儲、智能家居、環境監測、智能消防、智慧醫療等物聯網領域廣泛應用。

MEMS氣體傳感器在實際應用中有諸多注意事項，今天我們談下MEMS半導體氣體傳感器在使用過程中常見的失效情況：

暴露于可揮發性硅化合物蒸氣中

傳感器要避免暴露于硅粘接劑、發膠、硅橡膠、膩子或其它存在可揮發性硅化合物的場所。如果傳感器的表面吸附了硅化合物蒸氣，傳感器的敏感材料會被硅化合物分解形成的二氧化硅包裹，抑制傳感器的敏感性，并且不可恢復。

高腐蝕性的環境

傳感器暴露在高濃度的腐蝕性氣體（如H2S，SOX，Cl2，HCl等）中，不僅會引起加熱材料及傳感器引線的腐蝕或破壞，并會引起敏感材料性能發生不可逆的劣變。

堿、堿金屬鹽、鹵素的污染

傳感器被堿金屬尤其是鹽水噴霧污染后，或暴露在鹵素如氟利昂中，也會引起性能劣變。

接觸到水

濺上水或浸到水中會造成傳感器敏感特性下降。

結冰

水在傳感器敏感材料表面結冰會導致敏感層碎裂而喪失敏感特性。

施加電壓過高

如果給傳感器或加熱器施加的電壓高于規定值，即使傳感器沒有受到物理損壞或破壞，也會造成引線和/或加熱器損壞，并引起傳感器敏感特性下降。

電壓加錯管腳

如果給傳感器或加熱和信號管腳電壓加錯，也會造成引線和/或加熱器損壞，并引起傳感器敏感特性下降。

凝結水

在室內使用條件下，輕微凝結水對傳感器性能會產生輕微影響。但是，如果水凝結在敏感層表面并保持一段時間，傳感器特性則會下降。

處于高濃度氣體中

無論傳感器是否通電，在高濃度氣體中長期放置，均會影響傳感器特性。如用打火機氣直接噴向傳感器，會對傳感器造成極大損害。

長期貯存

傳感器在不通電情況下長時間貯存，其電阻會產生可逆性漂移，這種漂移與貯存環境有關。傳感器應貯存在不含可揮發性硅化合物的密封袋中。經長期貯存的傳感器，在使用前需要更長時間通電以使其達到穩定。

長期暴露在極端環境中

無論傳感器是否通電，長時間暴露在極端條件下，如高濕、高溫或高污染等極端條件，傳感器性能將受到嚴重影響。

振動

頻繁、過度振動會導致傳感器內部引線產生共振而斷裂。在運輸途中及組裝線上使用氣動改錐/超聲波焊接機會產生此類振動。

沖擊

如果傳感器受到強烈沖擊或跌落會導致其引線斷裂。

焊接溫度

焊接溫度過高（超過250℃），引起傳感器氣敏材料變化；傳感器氣敏特性會降低或者改變。

助焊劑

使用含氯最少的松香助焊劑，如果助焊劑含氯較高，會引起傳感器材料活性降低。
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