在MEMS領域的技術進步使人們能夠極大地縮小這些傳感器的尺寸，讓傳感器微型化。因此，除了性價比更高之外，基于MEMS傳感器的模塊還可以集成越來越多的功能，如自測以及精確的檢驗程序等方面的功能改進。

為了監測車輛翻滾的這種狀態，把陀螺儀輸出的傳感器信號與低g值加速度傳感器的輸出信號結合起來是至關重要的。通過處理兩個傳感器給出的信號，系統的算法確定車的Z軸以及垂直線之間的夾角，以及每一時刻車輛的角速度ωx。因此，車輛翻滾感測算法及時確定準確的時間點和位置，從而爆開特定的氣囊或主動收緊綁在乘員身上的安全帶，起到保護作用。

此外，電子穩定程序系統也是MEMS傳感器的一個重要應用領域，它能夠在所有的駕駛情況下提高車輛的行駛穩定性。通過傳感器測量車輛的偏航率，并把它與其它參數類似轉向角和速度一一進行比較，可以檢測過度轉向或轉向不夠這樣的行駛狀況。如果行駛過程中需要ESP發揮作用，那么，該系統會自動地分別制動車輪。因此，傳感器提供的信號是ESP算法執行的根本基礎，是提高行車穩定性的關鍵。

MEMS偏航傳感器一般由容性硅振蕩器構成，其周圍是若干懸浮的網狀材料。當受到垂直于振動軸的外部旋轉運動的作用時，作用力使振動面出現偏離，從而導致電容的變化讓駕駛員做出準確的操作。

目前，汽車安全系統應用中的偏航傳感器的發展趨勢是具有高偏移量穩定性、振動魯棒性以及全數字信號處理功能。這使之比模擬傳感器更為耐用。永久性的主動內部故障檢測功能，使故障識別以及主動自測功能成為可能，因此，有助于增強可靠性。此外，根據整車系統設計的需要，傳感器串由于采用了靈活的結構，能夠在不同的車輛方向上監測偏航率以及加速度，因此，適合于高度動態以及高度精密的系統，如電子穩定程序、翻滾減輕系統以及電子主動操縱系統等等。偏航傳感器與加速度傳感器的結合構成一體化的傳感器平臺也是汽車傳感器一大發展趨勢。
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