該款反射高能電子衍射儀是專注于PCB抄板等反向研發的深圳世紀芯在破解原樣機的基礎上二次開發而研制的，較原機毫不遜色，同時可根據客戶的個性化需求做相應的設計及功能參數修改。

技術參數

1. 電子槍部分

RHEED電子槍是專門為進行衍射研究所設計的電子光學系統，其能量范圍從10到30keV。通過結合靜電和磁部件，保證了電子槍具有高亮度、小斑點、低分散和極低放氣率的特征。電子槍可以完全安裝在腔體外面，可以原位保養，可以烘烤。如果配備了差分抽氣系統，還可以在高壓環境下使用。

2. 控制電源部分

設計緊湊的提供30KeV能量的電子槍電源控制部分，由的電子元件制造。電子槍的設置參數，如能量、燈絲電流、束流強度等都可以數字形式在顯示器上顯示，而且可以通過一個簡潔的控制面板遠程控制調節束流強度、聚焦位置等。系統具有自我診斷能力，可以快速全面地對RHEED系統進行檢查。

3．電子束光闌

通過電子束光闌可以控制束流的開關，這樣可以保證樣品上極低的電子負荷。光闌開關信號也可同時被外部信號觸發，這樣就使得RHEED可以在有干擾磁場下使用，并可以用來研究旋轉樣品。

4. 電子束搖擺

為了做RHEED分析，電子束必須以掠角方式入射樣品。 獨特的電子束搖擺特征，允許調節和變化電子束入射角度，而不用移動樣品。這個特征在對固定位置的樣品進行分析測試時是非常有用的

5．差分抽氣系統

通常的電子槍是為在如10-4 torr 這樣較高壓力條件下工作設計的，但是這樣必然導致燈絲壽命的縮短。帶有差分抽氣系統選項的RHEED系統， 保證了可以在高壓和有反應氣體存在的環境下進行日常的操作。對燈絲部分的高效抽氣，使得RHEED系統同其他系統相比有無與倫比的靈活性。

6. 計算機控制

RHEED系統可以完全由計算機來控制。電子槍控制部分包括一個界面模塊和一個軟件包，這保證了RHEED的使用靈活性，和可重復性。 用戶自己設定的參數可以被保存并調入，通過電子束光闌可以控制電子束的開關，使用電子束搖擺特征可以調節電子束入射角度。

7. 熒光屏

提供各種尺寸的熒光屏，它們有非常高的空間分辨率和極好的對比度。熒光屏上的鍍鋁保護涂層確保熒光屏有非常好的電接觸特性，并可以屏蔽掉從真空腔來的一些游離光線，從而提高RHEED圖像的對比度。

8．數據采集和分析系統

RHEED Vision 是一套可以同現存的各種RHEED系統配套使用的功能非常強大的數據采集軟件， 它可以同時進行圖像處理和實時數據分析。并且有很多可選的數據縮減程序。另外還提供其它的硬件控制模塊，如鎖相外延生長，快門控制，激光脈沖觸發器等。