超低電壓MEMS時脈元件將成業界新寵。隨著傳統石英振盪器逐漸難以因應行動裝置輕薄、低功耗設計需求，業界已轉向運用標準化半導體製程研發微機電系統（MEMS）振盪器、超低電壓無石英（Crystal-less）時脈產生器；近期，工研院更積極融合兩種技術優點，進一步打造高精準度、低耗電與小尺寸時脈元件，以滿足行動裝置日益嚴苛的設計要求。

　　工研院資通所低功耗混合訊號部技術副理李瑜表示，目前市面上有叁種時脈元件解決方案，分別是石英振盪器、MEMS振盪器及無石英時脈產生器。在行動裝置嚴格要求低功耗、輕薄化的影響下，傳統石英振盪器因須採用金屬或陶瓷封裝，不僅生產成本較高、交貨期間長，且難微縮封裝尺寸與高度，地位已漸漸式微；相較之下，MEMS振盪器及無石英時脈產生器則快速崛起，開始瓜分行動裝置市場商機。

　　其中，MEMS振盪器雖擁有尺寸微縮、精準度媲美石英振盪器的優勢，但內部包含前端MEMS諧振器與后端補償電路，囿于晶圓製程變異與MEMS元件特性，仍面臨單價高、溫度及電壓適應力弱等問題；同時，其驅動電壓仍在1.8～3.3伏特（V）之間，要縮減功耗滿足行動裝置需求，就須導入更多省電機制，影響系統效能與成本。因此，工研院提出MEMS諧振器整合超低電壓電路的解決方案，全力克服上述問題。

　　李瑜透露，工研院日前發布超低電壓晶片技術，將與MEMS振盪器進一步結合，催生更高整合度、低耗電時脈元件。現階段，資通所與南分院正緊鑼密鼓展開新產品研發計畫，將整合MEMS諧振器，以及一顆基于0.3～0.5伏特（V）超低電壓補償電路製成的特定應用積體電路（ASIC），兼容前者的高精準度、高頻率穩定性，以及后者的低電壓驅動、適應溫度範圍等優點。

　　李瑜分析，MEMS振盪器相容半導體製程與封裝技術，極具尺寸微縮、晶片整合度、量產速度與成本等效益，且頻率精準度平均已達到10～20ppm以下，滿足中高階時脈應用產品規格；未來整合超低電壓補償電路后，更有助改善MEMS振盪器操作環境變異、時脈穩定度問題，提供更出色的效能修復機制，并降低50%以上功耗。

　　此外，利用經驗證、優化的超低電壓晶片技術，亦可減輕MEMS振盪器在晶圓層級、功能性及溫度測試的復雜度，從而壓縮測試時間與成本，更快達成降價目的，以加速取代石英振盪器。

　　不僅如此，MEMS廠也開始醞釀行動系統單晶片（SoC）內建MEMS振盪器的解決方案，以去除外部時脈電路，達到提升效能與降低成本的雙重功效。李瑜認為，這是MEMS振盪器的獨特設計優勢，有助其壓低單價并快速提高滲透率，進而擴大取代石英產品；反觀石英元件封裝形式與SoC則不相容，無法達成該設計需求。

　　至于無石英時脈產生器方面的進展，工研院亦已開發一款超低電壓時脈產生器，除尺寸非常微小外，亦將功耗控制在12微瓦（μW）以下，并達到±500ppm精準度水準，可望在中低階時脈應用領域快速擴張版圖。

　　顯而易見，傳統石英振盪器正面臨左右夾攻的局面；為扳回一城，相關供應鏈業者已著手改良石英時脈元件的封裝技術，甚至進一步投入測試可匹配半導體製程的生產方案，期大幅縮減尺寸與成本，防堵MEMS、超低電壓時脈產生器的強力攻勢。