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　　本文介紹了一種基于MEMS的可調色散補償儀并詳細講述其工作原理，利用它可以實現真正的多信道色散補償。

　　色散管理是高數據率DWDM系統中一項極為重要的技術，尤其是對40Gbps系統，其數據傳輸質量對色散十分敏感，在實際工作中經常用色散補償光纖(DCF)對固定色散值進行補償。

　　然而，DCF無法完全滿足40Gbps系統嚴格的公差要求。在這種高速傳輸中，傳輸信道中的色散會受每日溫差和季度溫差的影響而發生變化，這點必須加以考慮，因此需要采用可調色散補償儀對色散進行精確控制。

　　1 MEMS色散補償儀

　　目前已有很多文獻介紹了多種不同的色散補償儀，但還沒有能對每個信道進行獨立控制的多信道色散補償儀。我們在MEMS的基礎上采用衍射光柵技術構建了一款多信道可調色散補償儀，并經過實驗演示。

　　這種多信道可調色散補償儀由光陀螺、衍射光柵、透鏡和MEMS鏡組成，它的基本工作方式是，先將失真光信號分解為角頻分量，然后通過MEMS鏡對每個分量進行移相處理以恢復信號波形。

　　2 工作原理

　　來自單模光纖的輸入光線首先經過一塊透鏡進行校準，然后送入衍射光柵中。隨后WDM信號被分離到單獨的信道里，同時衍射光柵將每個信號分解成角頻分量。另外有一塊透鏡將每束光線進行聚焦再送入MEMS鏡，MEMS鏡分別對每個信號的光相位進行修整，然后得出合適的色散值。此時光線再返回到透鏡和衍射光柵并耦合到光纖中，最后再由光陀螺將輸出分離出來(圖1)。

　　通過MEMS鏡間隔和光回路可對信道間隔進行調整，我們設計中的信道間隔為3納米，不過可以很容易地將其調節為滿足ITU-T光傳輸標準的間隔。

　　在鏡陣列中，每面小鏡都裝有一個MEMS調節器，可單獨調節它的形狀。鏡面粗糙度對整個陣列的延遲特性有很大影響，我們優化了鏡面生產工藝，成功地使表面粗糙度(包括鍍金層在內)在50納米以下。采用MEMS技術構建的這種補償儀可以補償40多個信道。