日本Silicon Sensing Systems公司將擴大其在日本的MEMS代工廠規模，新增的廠房設施，主要為了滿足MEMS慣性傳感器和濺射PZT（鋯鈦酸鉛）薄膜MEMS器件顯著增長需求。新廠房占地面積3000平方米，直接將當前的晶圓產量提升一倍以上，緊跟市場增長預測，在未來五年內將產量增加五倍。為了跟上PZT薄膜MEMS器件市場增長規模并緩解成本壓力，Silicon Sensing Systems已經擴大了其8寸晶圓生產線的產能。

此次擴張是公司兩年重大投資計劃的一部分，投資主要用于升級設備、功能和產能。隨著Silicon Sensing Systems迎來其MEMS業務的20周年，該公司在全球范圍交付的器件已超過3000萬顆。

Silicon Sensing Systems業務開發經理Eric Whitley解釋說：“Silicon Sensing Systems因生產高精密的MEMS慣性傳感器而聞名，最近我們向無晶圓半導體客戶開放了代工廠，這些客戶需要為他們的MEMS器件尋找可靠的PZT供應源。在過去的3年里，我們看到了強勁的市場需求，許多客戶都在提高產量，并尋求高效、高精密MEMS元件的可靠供應。作為團隊的一部分，我們很高興能夠參與該業務的發展和增長。”

Silicon Sensing Systems日本公司總經理Hiroshi Tanaka先生負責監督擴張計劃的執行，他補充道：“這是Silicon Sensing Systems不斷發展過程中的一個重要里程碑。我們的目標是到2020年底從現有廠房順利過渡到我們新的可抗震的建筑中。與此同時，我們正在添置許多沉積和蝕刻設備，包括新的ALD（原子層沉積）設備，該設備可用于制備適用于惡劣環境下的PZT薄膜。”

薄膜PZT MEMS

Silicon Sensing Systems于2010年推出首款濺射PZT薄膜MEMS陀螺儀傳感器：PinPoint?陀螺儀。從那時候起，PinPoint?陀螺儀累計生產已超過1000萬顆，廣泛應用于汽車、工業和商業領域。作為一款具有超高可靠性（最近3年0 ppm返修率）、高精確度且價格合理的MEMS傳感器，PinPoint?陀螺儀目前仍然是最暢銷的產品，在業界擁有良好的聲譽。

基于PinPoint?的優勢，Silicon Sensing Systems的薄膜材料濺射技術已達到了領先水平。Silicon Sensing Systems可為全球客戶不同的MEMS器件提供所需的PZT薄膜，如微鏡、噴墨打印頭噴嘴和聲學器件。在許多的應用案例中，Silicon Sensing Systems是將壓電器件從塊體材料向薄膜材料轉變的重要推手，而薄膜材料在經濟、尺寸和功耗方面更具有優勢。

關于Silicon Sensing Systems公司

日本Silicon Sensing Systems是一家專業從事慣性傳感器和系統開發、生產和銷售的科技公司，由Collins Aerospace和Sumitomo Precision Products兩家企業合資創辦。該公司成立于1999年，為市場提供硅基微機電系統（MEMS）導航和穩定技術。自公司成立以來，已為成千上萬的客戶提供了近4000萬顆MEMS陀螺儀和加速度計，產品廣泛應用于全球各地的汽車ESC、遙控直升機、GPS、機器人等姿態操控、安全系統。