近日，遼寧省政府印發《遼寧省建設具有國際競爭力的先進裝備制造業基地工程實施方案》，提出到2020年，全省先進裝備占裝備制造業主營業務收入的比重將達到60%以上。

該方案明確指出將重點瞄準航空裝備、海工裝備及高技術船舶、節能汽車與新能源汽車、重大成套裝備，發展壯大高檔數控機床、機器人及智能裝備、先進軌道交通裝備、集成電路裝備8大領域，實施重點工程。

以下為集成電路裝備領域的政策情況。

集成電路裝備工程方面，遼寧將成立集成電路裝備工程實施建設指揮部，指揮中心設在沈陽國家級集成電路裝備高新技術產業化基地和中電科47所，負責工程建設技術指揮工作。主要承擔研究提出我省集成電路裝備產業發展技術政策、技術路線、產業發展方向、產業發展重點等。

1. 加快自主創新產品研發和產業化進度

支持以12英寸為重點的集成電路生產設備的研制，加快基于倒裝、芯片級封裝等先進封裝技術的設備研發；支持半導體晶圓切割設備、芯片綁定、焊接裝備自主創新；鼓勵和支持裝備制造業企業開展蝕刻機、離子注入機、外延設備及拋光、清洗、測試、分選和檢測設備研發和產業化；大力推進沈陽國家級集成電路裝備高新技術產業化基地建設。

2. 推進重點項目建設

推進沈陽富創的半導體裝備精密零部件產業化項目、沈陽拓荊的半導體薄膜設備研發及產業化項目、沈陽科儀的IC生產線用真空獲得系統國產化基地建設項目、沈陽芯源的300mm晶圓噴涂膠顯影設備研發及產業化項目等建設；引導大連佳峰的“IC用全自動裝片機”和“全自動引線鍵合機”擴大產能、開拓市場。