據臺媒2月12日報道，為延續7納米制程領先優勢，臺積電支持極紫外光(EUV)微影技術的7nm加強版制程將按既定時間于3月底正式量產，而全程采用EUV技術的5nm制程也將在今年第2季進入風險試產。

據了解，獨家提供EUV設備的ASML，先前預估2019年EUV機臺設備銷售總量將達30臺，當中臺積電就砸下重金訂購18臺，顯見7納米、5納米EUV制程推進相當順利。臺積電以強勁技術實力與龐大資本支出已將競爭門坎筑高，與三星電子實力差距可望在EUV時代中快速拉開。

隨著GlobalFoundries(GF)于2018年8月宣布擱置百億美元投資的7納米制程計劃，7納米以下先進制程技術戰場形成臺積電、三星與英特爾三雄對戰情勢。

而單就代工來看，英特爾因苦陷10納米制程延遲困境，已無暇顧及代工事業，目前幾已是淡出晶圓代工市場狀態，因此，7納米以下晶圓代工戰局已是三星、臺積電雙雄對決戰局，不過隨著臺積電7納米/5納米EUV制程進展順利，而三星依舊未見重量級客戶大單落袋，臺積電在7納米以下先進制程領先幅度正持續擴大中。

半導體設備業者表示，截至目前為止，臺積電已于2018年4月搶先進入7納米時代，并囊括蘋果(Apple)、高通(Qualcomm)、華為海思、超威(AMD)、賽靈思(Xilinx)等國際大廠大單，且支持EUV技術的7+制程應會在3月底正式量產。

臺積電先進制程持續按計劃進行，據了解，7納米EUV制程將在2019年3月底量產，7納米加上7納米EUV制程，估計至2019年底Tape out將超過100個，2019年下半7納米貢獻將增速 ，受惠手機新品出貨進入旺季及高速運算(HPC)產品開始小量出貨，7納米制程全年營收比重將可達25%，較2017年9%大幅提升，不過，7納米EUV制程比重相當低。

據了解，獨家提供要價超過1億美元EUV設備系統的ASML，先前預估2019年EUV機臺設備銷售總量將達30臺，當中臺積電就砸下重金訂購18臺，顯見7納米5納米EUV制程推進相當順利，其余12臺訂單客戶則是英特爾、三星等DRAM客戶，而中芯也在2018年下單1臺。