改革開放以來，我國電子信息產業實現了從無到有、從小到大的重大轉變，在國民經濟和社會發展中的地位和作用顯著提升。特別是黨的十八大以來，我國電子信息產業不斷取得新進展，核心技術逐步突破，市場規模不斷擴大，專利和標準化成果豐碩。為集中反映我國電子信息產業發展的方方面面，中國電子報特別策劃推出“改革開放40年·電子信息產業”特刊，邀請主管部門、專家學者撰寫文章，從集成電路、電子應用、電子專用設備、電子材料、超高清視頻產業、彩電、電子元件、傳感器等方面，講述改革開放以來電子信息產業各領域的主要成就，提出新時代我國電子信息產業高質量發展的思路建議。

作為電子信息制造業的重要一環，電子專用設備在產業發展中發揮著重要的基礎性支撐作用，是推動電子信息產業快速發展的根基，也是推動電子信息產業技術進步的引擎。裝備強則國強，我國改革開放以來，中國電子專用設備產業經歷了從“0”到“1”的跨越，從無到有，聚沙成塔。如今，隨著中國成為全球半導體版圖中最具活力的土地，中國電子專用設備產業也迎來了發展的黃金時期。

千錘百煉見證產業成長與突破

我國電子專用設備行業在改革開放前非常弱小，尚未形成完整的產業鏈。國營第七○○廠(北方華創前身)、國營第七○八廠、國營第七○九廠、電子45所、電子48所等電子專用設備企業及研究所僅能研發和制造一些粗放型的基礎設備，在計劃經濟模式下自給自足。

改革開放初期，隨著國際市場的逐步開放，以及國外先進技術的引進，我國電子專用設備業逐漸開啟了“以市場換技術”的拓展模式，全國范圍內采購了不少生產線，基本都是整線采購國外成線或二手線。而此時剛剛從計劃經濟體制中“斷奶”的國營設備企業和研究所，沒訂單、經驗淺，非常不受市場青睞。一時間，國內專用設備企業備受沖擊。

20世紀八九十年代，中國電子專用設備行業遭遇冷板凳后，各設備廠商都在艱難爬坡，努力改變局面。

以國營第七○○廠為例，企業甚至先后嘗試了洗衣機、過載保護器、負離子發生器、醫療腎石機等各類設備的生產。之所以這樣做，一方面，在不斷尋找市場，尋找賴以生存的產品;另一方面，看好中國半導體產業發展的未來，因此一直堅守設備陣地。當時，國營第七○○廠與美國某半導體設備公司進行合作，在北京設立了該公司在中國的第一家客戶服務支持中心。之后，雙方又開展合作，成立了研發先進刻蝕機技術的合資公司。盡管后來項目被取消，但這些合作項目都為我國培養了一批掌握當時先進研發技術和服務能力的專業人才，這些人才中很多直到現在還一直奉獻和服務于國內半導體設備行業，而且在企業中發揮著不可替代的骨干作用。

而隨著真空開關管、彩色顯像管等設備的技術難關不斷被攻克，國產設備業重見曙光，并迅速實現了這些設備的全面國產化。

厚積薄發踏上高速發展快車道

進入新世紀，伴隨著新能源光伏、LED行業的興起，中國電子專用設備行業踏上高速發展的快車道。在光伏領域，晶硅太陽能電池片整線生產設備逐步實現產業化，國內市場占有率超過90%，并實現整線出口，2018年銷售收入預計達到50億元;LED領域，國產裝備在最關鍵的MOCVD設備上取得重要進展，刻蝕機、PVD和PECVD等產品不斷推陳出新，國產化率也達到了90%，部分產品憑借優越的產品性能和性價比，遠銷海外。

同時，中國集成電路產業及配套裝備產業在政府的日趨重視下，也進入了快速追趕階段。一批12英寸高端集成電路制造裝備實現了從無到有的突破，國產12英寸28nm集成電路芯片關鍵設備進入主流生產線實現量產，14nm刻蝕機、PVD、LPCVD、單片退火、光學檢測、ALD、PECVD等設備進入大生產線驗證并實現銷售。可以說，經過40年的奮斗，國內電子專用設備產業的競爭格局發生了根本改變，國產設備能夠滿足很多制造領域的需求，并在一定程度上推動了我國光伏、LED、平板顯示、MEMS、封裝等產業的快速發展。

機遇難逢共建自主開放產業生態圈

改革開放40年來，中國電子專用設備整體技術水平已經取得長足進步，逐步實現從“替代者”到“創新者”的角色轉變，在全球產業創新鏈中不斷尋找自己的特色發展之路，但想要在國際競爭中占有一席之位，目前還面臨著諸多難題和考驗，需要業內人士共同努力。

首先，提高先進技術開發能力，縮短新設備驗證周期。目前國產設備技術水平還處于弱勢地位，需加強與龍頭用戶或國際研究機構的戰略合作，以加強下一代新技術的研發，在客戶初始研發階段參與其中，才能取得市場先機。國產裝備從研發到定型，再到生產線DEMO驗證，需要經過大量的工藝實驗，并不斷改型優化，最后在客戶生產線上需要經過近一年的DEMO驗證，設備生產性能全面達標后方能形成采購意向，實現銷售。如此高昂的工藝試驗費用，需要很強的融資能力和經濟實力，也需要來自產業各界的持續支持，讓國產設備企業能夠真正參與到最先進生產線制程的工藝研發中，與國內IDM企業開展深度合作，促進核心工藝設備的研發和評估。與此同時，加快企業研發成果的市場化進程，也亟須多渠道、集中資金和政策支持發展龍頭裝備商，打造綜合競爭力，重拳出擊，突破核心工藝設備瓶頸。

其次，亟須打造更健康自主的產業環境，營造本土產業“生態圈”。知名半導體行業專家莫大康說過：“‘引進’猶如踩在別人肩膀上走路，容易受制于人。改革開放40年的教訓告訴我們，先進的技術是買不來的，先進的設備也是買不來的，我們必須兩條腿走路，自力更生更重要。”目前，我國高端集成電路裝備整機約70%的零部件長期依賴進口且價格居高不下，在一定程度上削弱了我國高端裝備的整體競爭力，自力更生對半導體設備關鍵零部件的供應問題來說，尤為重要。為此，建議從國家層面加大對核心零部件、關鍵原材料的布局，提升芯片制造企業對國產裝備、零部件的支持力度，不斷提高核心零部件的本地配套能力。

再次，加快國內外的整合兼并。縱觀國際半導體設備的發展歷程，國際龍頭企業基本都經歷了自身發展與國際并購相結合的模式，形成大者恒大的局面，壟斷趨勢越來越明顯。中國半導體設備企業要與國際巨頭競爭，必須提高自身的競爭實力，這需要加強各設備企業的互相協同，推動企業間的兼并整合，提升企業在對外并購中的競爭實力。

最后，加快人才培養速度，改善人才機制。集成電路裝備是人才密集的產業，需要大量的高素質研發人才，人才是產業發展的關鍵因素之一。經過近十年的發展，我國集成電路裝備人才隊伍迅速壯大，一批高端人才加盟到國內的研發隊伍中，形成了一支極具創新力的人才隊伍，擁有數千項專利，初步形成了較為完善的知識產權保護體系。但相比快速發展的產業，人才的缺口依然很大，需求依然很急迫。政府要聯合高校、科研機構加大人才培養規模，加快人才培養速度。同時企業也要改善激勵機制，以吸引更多高端人才加盟。

2018年，全球半導體制造設備的銷售額預計將達到621億美元，將創歷史新高，中國大陸排名將首次上升至第二名。全球集成電路制造業向中國大陸轉移大趨勢不可逆轉，機遇千載難逢，亟須業界同仁，聚力同心，開放創新，產學研結合發展，吸引更多力量參與到電子專用設備行業中來，共建自主、開放的產業生態圈。