冬日寒氣襲人，學員熱情如火，共聚蘇州，樂享優課！由麥姆斯咨詢主辦，上海傳感信息科技有限公司、華強電子網協辦的《聲學MEMS和傳感器培訓課程》，于2018年12月13日至12月15日在蘇州工業園區納米城圓滿收官！

2018年聲學MEMS和傳感器培訓課程學員合影留念

近年來隨著全球智能手機出貨量增長以及智能語音市場火爆，MEMS麥克風市場呈現井噴式增長。此外，MEMS麥克風領域各大廠商之間的專利“戰爭”連綿不斷。為此，麥姆斯咨詢特開設《聲學MEMS和傳感器培訓課程》，旨在提升聲學MEMS和傳感器相關企業人員的基礎理論及實踐應用水平，同時，也為非專業人員提供了解聲學MEMS技術的最佳學習機會，并從MEMS麥克風角度帶領學員了解企業競爭利器——專利布局及侵權訴訟。本次課程詳細講解了MEMS麥克風、微型揚聲器和麥克風陣列的聲學物理仿真分析，電容式MEMS麥克風的設計、制造、封裝、測試和專利的詳細分析，壓電式聲學MEMS器件——水聽器的工作原理以及MEMS麥克風ASIC的設計、制造、案例分析等。同時，為了啟發學員結合典型MEMS器件制造工藝的思考和拓展，特意安排了蘇州MEMS中試平臺——6英寸MEMS制造產線的實地參觀，以期讓每位學員都能有所收獲！懷著對知識的渴望，對自我不斷提升的期許，來自中國大陸及***地區的眾多學員齊聚蘇州納米城，與各位知名講師共同完成為期三天的專業培訓。

培訓現場組圖：專注聽課的學員們

深耕產業、博文多識的講師團隊，令人嘆服！12月13日上午，本次培訓由來自Mentor Graphics MEMS及物聯網周邊器件負責人陳昇祐老師的講課拉開了序幕，憑借18年的半導體行業經驗為大家講解聲學MEMS設計工具Tanner軟件及應用。課程開始，陳昇祐老師即以電容式MEMS麥克風為例，通過2D版圖到3D模型的操作引出Tanner軟件的設計全流程，突出講解了L-Edit MEMS的特點以及如何應用L-Edit MEMS快速完成MEMS麥克風設計等內容。接著以可調濾波器（Tunable filter）為例，結合有限元分析工具向大家演示了機械-靜電耦合力的分析與仿真流程，以期幫助學員了解MEMS麥克風中的靜電分析。陳昇祐老師氣質儒雅，娓娓道來，受到了眾多學員的關注和喜愛，課程結束后紛紛向陳老師請教，陳老師不吝指教，對學員的問題耐心解答，甚至“線下一對一”輔導，令學員印象深刻。

Mentor Graphics MEMS及物聯網周邊器件負責人陳昇祐老師的授課風采

12月13日下午，本次課程最受歡迎的COMSOL中國應用工程師鐘振紅老師為大家帶來了聲學MEMS和傳感器有限元設計軟件COMSOL Multiphysics及其應用的講解，該課程承襲了當天上午課程中Mentor設計與建模，進一步講解了電容式和壓電式MEMS麥克風模型的有限元仿真。在簡單介紹了COMSOL Multiphysics多物理場仿真平臺之后，鐘振紅老師從聲學MEMS的講解入手，層層剖析，多角度、多層次、多類型地向大家展示了各類物理場效應。為了提升課程內容的可操作性，此次課程還專門增加了軟件實操演練環節，力求讓每位學員都緊跟講師步伐，完成自己的仿真模型。操作過程中，鐘振紅老師一邊重點講解操作時注意事項，一邊關注學員動態，盡量兼顧學員，并與學員頻繁互動，鼓勵大家完成自己的仿真模型，成為MEMS器件仿真“高手”！鐘振紅老師詳盡透徹的講解屢屢讓學員茅塞頓開，每當跟隨講師完整地完成一個仿真模型時，學員們都異乎尋常地興奮，同時鐘老師在操作過程中設置的故意犯錯也增加了課程的趣味性。整場課程在輕松的氛圍中完成，學員們都顯得意猶未盡，紛紛抓緊課下時間再次與老師溝通交流。

COMSOL中國應用工程師鐘振紅老師的授課風采

12月14日上午，蘇州敏芯微電子技術股份有限公司總經理李剛老師為大家講解了電容式MEMS麥克風的設計及封測。作為集成微型硅麥克風post-CMOS集成工藝的發明者以及敏芯微電子的創始人，李剛老師既有豐富的理論知識，又有一線的實戰經驗，此次課程他從麥克風的發展歷程入手，逐一介紹了幾類麥克風的更新迭代（包括碳粒式、動圈式、壓電式、靜電感應的電容式或駐極體電容式），以圖表并茂的方式向大家展示了典型麥克風之間的PK戰，優缺點對比一目了然。其次李剛老師還結合自身經歷及業界趣事，通過不同MEMS麥克風主流廠商間的產品對比，深入講解了電容式MEMS麥克風的工作原理、設計、封裝及測試。最后，李剛老師結合MEMS麥克風典型應用（如iPhone、智能音箱、耳機等）對整體課程進行了梳理，通過啟發性思維的方式引領大家深入探索。李剛老師幽默風趣、平易近人的講課風格贏得了大批學員的稱贊，其內容講解淺顯易懂，學員們都表示受益良多！

蘇州敏芯微電子技術股份有限公司總經理李剛老師的授課風采

12月14日下午，由蘇州MEMS中試平臺技術總監馬清杰老師帶來的電容式MEMS麥克風制造工藝講解獲得了學員們的一致好評。馬清杰老師從MEMS基礎知識出發，通過圖文并茂的方式，結合現代信息技術以及MEMS在全球應用領域的技術趨勢，逐步引出MEMS電容式麥克風的優勢，深度解析了電容式MEMS麥克風制造工藝流程，尤其對刻蝕工藝的講解更是著墨不少，剖析了MEMS麥克風制造工藝過程中遇到的挑戰及解決方案，憑借多年從事MEMS器件研發及MEMS整合工藝研發的一線經驗為學員在自身領域的發展提供了啟發與引導。馬清杰老師以其獨特的個人魅力贏得了全場學員的稱贊，學員們也趁此次難得的機會紛紛提問，下課后也不舍得放掉一分一秒的機會“圍攻”老師。馬清杰老師對學員們傾囊相授，結合自身MEMS器件研發及量產的經驗為學員提供建議，學員們都大呼過癮！

蘇州MEMS中試平臺技術總監馬清杰老師的授課風采

本次課程的最后一天（12月15日）上午，首先由新加坡微電子研究所（IME）前研究員徐景輝老師為大家講解了新興聲學傳感器技術——水聽器。在新加坡微電子研究所擁有8年的豐富經驗，多年從事基于壓電AlN（氮化鋁）平臺的聲學、振動及加速度計等工業物聯網傳感器系統研發的徐景輝老師，在國際和國內重大科研項目中擁有超20篇的論文及多項專利。徐景輝老師此次課程由淺入深，先從水聽器的發展歷程著手，結合發展過程中的標志性事件引起學員的興趣，通過圖片展示的方式，更形象地向大家闡述了不同時代的水聽器以及不同類型的水聽器的優缺點的對比分析。同時徐景輝老師還與大家分享了MEMS水聽器的產業鏈分布、設計、封裝以及測試等，并舉例水聽器在實際應用領域的工作原理，為奮戰在一線的員工提供了參考。

新加坡微電子研究所（IME）前研究員徐景輝老師的授課風采

當天上午第二節主題為《MEMS麥克風ASIC設計及制造》的課程由蘇州芯儀微電子科技有限公司總經理朱瀟挺老師講授。朱瀟挺老師從傳感器ASIC設計原理出發，佐以公式和圖表，詳細闡述了電容式MEMS麥克風ASIC設計中需要重點關注的參數（如靈敏度、信噪比、總諧波失真、輸出阻抗等）。課程講解中結合MEMS麥克風典型應用及發展趨勢，探討了智能MEMS麥克風的實現。朱瀟挺老師資料準備充分、課程講解細致、概念剖析精準，令學員們收獲頗豐。

蘇州芯儀微電子科技有限公司總經理朱瀟挺老師的授課風采

12月15日下午，迎來了本次培訓的最后一節課——《MEMS麥克風專利分析》，由智慧芽信息科技（蘇州）有限公司知識產權（專利）咨詢顧問張永強老師為大家講授。在半導體和MEMS技術領域和知識產權領域有著豐富的理論和實戰經驗的張永強老師，從最新的中興、蘋果與高通專利侵權案件出發，引出如今專利侵權訴訟已成為高新技術企業競爭的一種常用手段。張永強老師通過分析MEMS麥克風領域的宏觀、中觀和微觀的專利信息情報在技術開發過程中的實際運用，佐以具體案例，結合近年來MEMS麥克風領域的專利訴訟案件，向大家具體介紹了專利侵權的判定方法與流程。最后穿插小米、愛立信等公司的專利訴訟案件，為大家提供了專利侵權規避的方法和技巧。張永強老師授課重點突出，趣味性與實用性并行，將原本晦澀的知識講解地通俗易懂，學員們都表示獲益匪淺！

智慧芽信息科技（蘇州）有限公司知識產權（專利）咨詢顧問張永強老師的授課風采

深入MEMS制造產線，結合應用實踐，啟發思考！此次培訓課程中，麥姆斯咨詢依循傳統，精心安排學員進入蘇州MEMS中試平臺的6英寸MEMS制造產線參觀，該產線是國內首條專注于MEMS專業研發與代工的中試平臺，可實現以生產代工為核心，以此為基礎拓展包括工藝研發、無塵室租賃、人才培訓等一系列服務。此次參觀由蘇州MEMS中試平臺技術總監馬清杰老師帶隊，為大家詳細介紹了該條產線的工藝能力、生產制造、檢測檢驗能力、服務模式等方面的內容，并熱情地帶領學員在參觀走廊中實地了解產線。在整個參觀過程中，學員近距離觀察并了解MEMS制造實況，與馬老師詳細交流了實踐中遇到的問題，從學習和業務等多角度都頗有收獲。

馬清杰老師帶領學員參觀學習蘇州MEMS中試平臺的MEMS制造產線

勤學好問、全神貫注的學員，引人稱贊！整個培訓期間，學員的虛心請教、認真筆記、踴躍提問都感動著麥姆斯咨詢的每一位工作人員，學員與講師間的交流，學員與學員間的討論也讓在一旁的工作人員心生稱贊。雖然培訓教室外寒風蕭瑟凜冽，但我們的培訓課堂內卻是學習熱情如火。

學員提問環節，互動交流

學員認真的筆記