據麥姆斯咨詢介紹，擁有精密厚度公差和優異光學性能的特種超薄玻璃是制造晶圓級光學鏡頭、墊片、衍射光學元件和窄帶濾光片的必要材料，為飛行時間（ToF）、結構光和立體視覺三種3D成像和傳感解決方案的光學器件提供穩定可靠的玻璃。基于獨特的下拉法玻璃生產技術，以及玻璃在3D成像和傳感領域長期積累的應用經驗，肖特集團創造性地推出了適用于3D成像和傳感器件中的特種超薄玻璃。2018年9月10日，由麥姆斯咨詢和上海科技會展有限公司在上海跨國采購會展中心主辦的『第二十四屆“微言大義”研討會：3D視覺技術及應用』上，肖特集團業務開發高級經理張廣軍先生就特種超薄玻璃技術及應用與在場觀眾進行深入的探討和分享！

肖特集團業務開發高級經理張廣軍先生發表題為《應用于3D成像和傳感領域的特種超薄玻璃》的演講

特種超薄玻璃可用于三種3D成像和傳感解決方案3D成像和傳感有三種主流方案：時間飛行（ToF）法、結構光法、立體視覺法。張廣軍先生介紹：“肖特的特種超薄玻璃可以用于三種不同的3D成像和傳感方案。具體來講，比如，在發射端中，特種超薄玻璃可以用于晶圓級光學和衍射光學元件（DOE），有的設計中會需要玻璃墊片。在接收端，我們可以提供玻璃原材料用于窄帶濾光片，以實現窄帶濾光功能。同時，為了達到更好的光學分辨率，玻璃可以用于鏡頭墊片。當然，玻璃也可以作為鏡頭蓋板以提高強度。”肖特集團針對3D成像和傳感應用開發了一系列玻璃：硅酸鹽系列，硼硅系列、鋁硅酸鹽系列、鋰鋁硅系列，以及無堿硼硅玻璃，它們的光學性能、熱膨脹系數、機械性能和化學性能各異。客戶在設計和選擇時可以根據自己的組件材料來選擇不同系列的玻璃，以匹配應用需求。

肖特集團的特種超薄玻璃系列

六大特色完美契合晶圓級光學、衍射光學元件、墊片和窄帶濾光片的需求張廣軍先生介紹了肖特為3D成像和傳感應用提供的特種超薄玻璃具有以下六大優勢：（1）可重復性高，批次內和批次間的質量和穩定性非常高；（2）有多種厚度選擇，同時厚度公差非常小，例如±5微米；（3）TTV達到5微米以下；（4）優異的透光率，在可見光和近紅外光范圍內都有足夠高的透光率；（5）穩定性和可靠性高；（6）符合環保要求。張廣軍先生具體地講解了肖特如何保證產品質量和穩定性：“肖特采用獨特的下拉法進行超薄玻璃制造，該技術可以將玻璃直接拉出，表面粗糙度低于0.5納米，厚度從30微米到1.1毫米不等。客戶不需要在表面進行任何加工，完全能滿足客戶的光學要求。”

肖特采用獨特的下拉法確保特種超薄玻璃的質量和穩定性

肖特集團可提供厚度范圍很寬的特種超薄玻璃，從30微米到1.1毫米不等。可以用于晶圓級光學、衍射光學元件、墊片和窄帶濾光片。另外，高鋁硅玻璃還可以用作蓋板。張廣軍先生講到“在3D成像和傳感應用中，晶圓級光學是非常重要的技術。我們可以提供厚度公差非常小的薄玻璃晶圓，適用于通過半導體晶圓級技術制造光學級應用的鏡頭。還可以根據客戶要求的不同厚度定制相應的玻璃，滿足厚度公差要求。例如，我們提供的玻璃可以達到在200~500微米的厚度范圍內，厚度公差±5微米，TTV小于5微米，翹曲度（wrap）小于100微米，完全可以滿足晶圓級光學的要求。”晶圓級光學通常是在玻璃上完成聚合物透鏡，需要相當高的折射率進行匹配。張廣軍先生談到“我們玻璃的折射率在可見光區域達1.52，甚至在近紅外光范圍（850納米和940納米）能達到1.51。我們還能夠提供玻璃其他的性能，協助客戶在鏡頭設計時完成模擬工作。”關于晶圓級光學制造過程中膨脹系數的問題，張廣軍先生認為“因為它畢竟是玻璃和聚合物材料的結合，需要盡量匹配玻璃和聚合物的膨脹系數，如果不匹配會出現可靠性問題。而肖特提供的玻璃能滿足以上要求，保證產品的可靠性。”張廣軍先生還分析了肖特超薄玻璃在墊片中的應用：“我們提供結構化玻璃，可以用來做墊片。我們對玻璃進行了結構加工，精密性非常高，孔加工尺寸可以精確到±25微米，孔和孔之間位置誤差為±25微米。加工結構可以根據客戶要求，可制成圓形、三角形或者方形等。就玻璃晶圓尺寸而言，8寸和6寸都可以。玻璃的厚度從0.1毫米到3毫米均可完成。”

肖特集團提供結構化玻璃用于墊片應用

在3D成像和傳感應用中，肖特的特種超薄玻璃除了在發射端用于晶圓級光學和DOE（包括鏡頭墊片）外，也可以作為接收端的窄帶濾光片。張廣軍先生介紹“我們提供的玻璃原片通過鍍膜可以實現窄帶濾光功能這是因為我們的玻璃有極好的光學性能，表面經過高度優化，非常適合后期鍍膜；而且我們采用獨特的下拉法制造工藝，嚴格控制各種參數，確保滿足高質量鍍膜需求。我們的AF 32 eco 和D 263 T eco玻璃都適合于窄帶濾光片的制作。從可見光到近紅外的光譜范圍內，透光性都在91%以上，在850納米和940納米波段接近92%，透光率非常高。”

肖特集團提供的特種超薄玻璃在可見光到近紅外的光譜范圍內透光性表現優秀

最后，張廣軍先生總結“肖特的玻璃能夠支持并實現3D成像和傳感的多種解決方案。我們的玻璃種類齊全，可以滿足不同的需求，玻璃優異的性能和穩定的高質量在大規模量產中已得到證實。無論是玻璃的使用方案，還是在生產中遇到的技術問題，我們都可以提供專業技術指導，幫助大家實現最終光學產品。”