引言

最新突破：聯訊儀器隆重推出Z4001C，20Hz~2MHz、DC Bias ±40V、Precision PXIe LCR Meter

半導體測試、汽車電子、無源器件行業正在經歷同一場變革：測試頻率向MHz級躍升，偏置電壓逐漸突破40V。與此同時，要求單工位測試效率持續提升。

傳統臺式LCR表在產線部署中面臨兩難困境——增加機臺保住了效率，卻撐爆了機柜；減少通道保住了空間，卻降低了產能。市場對阻抗測試的訴求，正從“單臺性能”轉向“系統密度”。

基于 PXIe 架構的模塊化儀表所具備的優勢，在此時得到充分彰顯。20Hz-2MHz全頻段5位分辨率、0.05%基本精度、±40V內置偏置，全部壓縮進雙槽3U板卡。該方案無需外接偏置源，無需在精度與通道數之間取舍。單機箱可擴展至8張Z4001C（18槽PXIe機箱），支持多卡同步觸發或與PXIe SMU等模塊混插，直接提升并行測試吞吐量。

產品優勢

基準精度：0.05%基本精度，高低阻抗測量皆可信賴。

寬頻精密：20Hz-2MHz全范圍5位分辨率。支持全頻段特性掃描。

高偏置能力：內置±40V直流偏置，省去外置偏置源及線纜，降低系統復雜性，避免噪聲引入。

高效掃描：100萬點海量掃描，快速構建器件阻抗-頻率-偏置三維特性圖譜。

采用PXIe模塊化架構，支持自定義大批量集成

·基于PXIe協議，支持多卡同步觸發或并行測試；單機箱最大支持8張Z4001C板卡擴展。

·可以與PXIe SMU 等其他PXIe 儀表組成多功能測試設備。

·采用標準SCPI進行控制，提供C#、Python、C/C++、LabVIEW編程語言接口，大幅降低測試系統中的軟件集成難度。

典型應用

半導體晶圓與器件測試

在晶圓級參數測試中，需對晶圓上每一個芯片完成CV/IV特性提取與工藝參數監控；MEMS及集成無源器件（IPD）則要求精確表征微型傳感器的電容和諧振特性。高密度PXIe LCR方案在單機箱內集成多塊板卡，配合開關矩陣實現全自動化測試。

無源器件量產測試

多層陶瓷電容器（MLCC）產線需在高吞吐量下同步驗證容值、損耗及偏壓特性；電感與無源濾波器則面臨多工位感量、Q值并行測試的產能壓力。多通道高密度直接提升產線節拍，顯著降低單件測試成本。

研發驗證與特性分析

功率電感與變容二極管的表征需在不同頻率及±40V高直流偏置電壓下完成掃描；材料研究領域常要求執行百萬點級精細掃描以繪制完整特性圖譜。內置高壓偏置與海量掃描能力支撐深度分析，模塊化架構更便于集成多種儀器，靈活構建混合測試系統。

聯訊儀器，不止儀器

聯訊深知，使用高精度工具需要一定經驗。為此，我們準備了：

開箱即用的測量軟件：內置針對常見半導體器件的測試算法，減少您的設置時間。

詳盡的應用筆記：圍繞常見測量場景及問題，提供一步步的操作方法和數據分析建議。

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審核編輯 黃宇