氦質(zhì)譜檢漏儀利用磁偏轉(zhuǎn)原理制成的、對示漏氣體氦反應(yīng)靈敏的、用于檢漏的質(zhì)譜儀。氦質(zhì)譜檢漏儀氣體工業(yè)名詞術(shù)語，用氦氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦質(zhì)譜泄漏檢測儀在氣體泄漏檢測中有許多應(yīng)用領(lǐng)域，如管道和設(shè)備泄漏檢測、有害氣體排放風(fēng)險(xiǎn)檢測、空氣污染源檢測、燃料管道火災(zāi)隱患檢測、空腔封裝電子元器件密封性檢測等。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴(kuò)散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到僅對氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài))的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。

一、設(shè)備主要技術(shù)指標(biāo)

1、最小可檢漏率（真空模式）：5×10-13Pa·m3/s2、 最小可檢漏率（吸槍模式）：1×10-7 Pa·m3 /s3、檢漏口壓力：Gross:1500 Pa; Fine:200 Pa; Ultra:40 Pa4、粗抽能力：14.5m3 /h(包裝箱、配件總重130kg)5、氦氣抽速（Gross模式）：8 l/s6、氦氣抽速（Fine模式）：7 l/s7、氦氣抽速（Ultra模式）：2.5 l/s8、 檢漏口規(guī)格：DN 25 ISO-KF9、啟動時(shí)間：≤170s10、接口：RS-232/485 USB11、輸入/輸出接口：Digital I/O,Relays

二、測試標(biāo)準(zhǔn)

JEDEC JESD22-A109B

在氣密性檢漏方面擁有豐富的經(jīng)驗(yàn)和卓越的技術(shù)實(shí)力。實(shí)驗(yàn)室配備了先進(jìn)的測試設(shè)備和嚴(yán)格的質(zhì)量控制流程，能夠?yàn)榭蛻籼峁└邩?biāo)準(zhǔn)的氣密性檢漏試驗(yàn)服務(wù)。

三、測試參數(shù)

氣密性：Pa·m3/s、atm.cc/s、mbar·L/s

四、適用樣品和大小尺寸

適用于大小不超過（長80mm*寬80mm*高40mm）需要做氦氣檢漏的空腔（實(shí)體中有一部分是空的）樣品 。

五、為什么要檢漏呢？

很多情況下，我們需要密封住一定的空間，防止氣體或液體在壓力作用下，流進(jìn)或流出這個(gè)空間，如真空設(shè)備(真空鍍膜機(jī)，液晶注入機(jī)，PVD，半導(dǎo)體外延等等)，需要在真空條件下工作，要求在工作時(shí)，空氣不能漏進(jìn)工作腔體，否則生產(chǎn)不能進(jìn)行，或者產(chǎn)生次品，浪費(fèi)人力物力。另外裝液體或氣體的容器(液壓氣瓶，氧氣瓶，空調(diào)冰箱的雪種容器等等)，要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下，不能有氣體或液體漏出。如果有漏，后果嚴(yán)重，一般會造成有效物資的浪費(fèi)，如有毒物資、腐蝕性氣體漏出，甚至?xí)劤墒鹿省＿@些對密封性有要求的產(chǎn)品或設(shè)備，在投入使用前，就要先進(jìn)行檢漏，使用過程中也要定期利用氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行檢漏檢查。

六、漏氣體的選擇及特性分析

氦質(zhì)譜檢漏儀對示漏氣體的要求及選擇一般應(yīng)從以下幾方面考慮：

1、無害，不能對人體或環(huán)境造成傷害;

2、質(zhì)量輕，惰性氣體，穿透能力強(qiáng)，能穿透微小細(xì)縫;

3、化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定，不會引起化學(xué)反應(yīng)和易燃易爆;

4、在空氣環(huán)境中含量盡可能少且組分基本恒定的氣體，滿足檢漏靈敏度方面的要求，減少本底干擾檢測的準(zhǔn)確性。氫和氦都是比較理想的示蹤氣體，空氣中的含量少，質(zhì)量輕，運(yùn)動速度快，分子直徑小，同等條件下，直線運(yùn)動距離長。在實(shí)際使用中，也相對比較容易獲取，可以大量使用。由于He具有無色、無臭、無活性、不可燃的特性，因此一般檢漏都采用氦氣(He)作為示漏氣體，但也有用氫氣(H)作為示漏氣體的，考慮到它的化學(xué)性質(zhì)及危險(xiǎn)性，在應(yīng)用中較少使用，所以實(shí)際大部分檢漏使用的都是氦氣。氦分子在質(zhì)譜檢漏儀器高真空的環(huán)境中擴(kuò)散的速度很高，用氦氣作示漏氣體其本底噪聲低，分子質(zhì)量及粘滯系數(shù)小，因而極易通過漏孔并易擴(kuò)散；另外，氦系惰性氣體是無破壞性、無毒、無危險(xiǎn)，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氦質(zhì)譜檢漏儀(調(diào)整到僅對氦起反應(yīng)的工作狀態(tài))的被檢容器上，若容器某一部位有漏孔，則氦質(zhì)譜檢漏儀立即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在位置及檢測到漏氣量大小。