安裝新鍍膜系統或維護現有系統時, 經常會發生泄漏. 可能是由于連接錯誤或忘記密封或密封件有缺陷. 氦質譜檢漏儀的正確使用對于發現鍍膜產線泄漏和日常維護十分重要.

氦質譜檢漏儀連接到真空鍍膜產線時建議考慮以下二點
1. 大漏檢測
真空鍍膜設備調試或維護之后出現的泄漏往往很大, 市場上常見的氦氣檢漏儀最大工作壓力通常在約 6 至 25 mbar 之間. 如果存在大量泄漏, 抽真空時有可能無法達到此壓力. 下圖展示的是一臺 Si3N4 氮化硅鍍膜系統. 在某次維護之后, 抽真空時只能達到 80 mbar 的壓力. 為了在如此高的工作壓力之下依然能夠進行檢漏, 推薦選用上海伯東氦質譜檢漏儀 ASM 340. ASM 340 檢漏儀特有的定性大漏檢測模式 ( 在 100 hPa 即可進行大漏測試 ) , 借助此模式即可定位存在的漏點.

2. 使用鍍膜系統自帶輔助泵, 協助抽氣
將氦質譜檢漏儀連接到真空鍍膜產線的前級真空線上. 可以快速抽空大量氣體, 提高檢漏節拍, 并且可以保護檢漏儀不受熱應力的影響, 延長檢漏儀維護周期, 降低運營成本.

氦質譜檢漏儀真空鍍膜生產線檢漏方法:
采用真空法檢漏, 設定真空模式下漏率值, 鍍膜機不需要停機, 直接在真空泵的旁路利用波紋管接入檢漏儀, 在懷疑有漏的地方(管路, 接頭等)噴氦氣, 即可完成檢漏.

上海伯東氦質譜檢漏儀技術參數

	型號	ASM 340 W	ASM 340 D	ASM 340 I
	進氣口法蘭	DN25ISO-KF
	檢測氣體	氫氣和氦氣
	對氦氣4He 的最小檢測漏率	真空模式: 1X10-12mbar l/s, 吸槍模式: 5X10-9mbar l/s
	檢測模式	真空模式 (負壓) 和吸槍模式 (正壓)
	檢測氣體	4He, 3He, H2	4He, 3He, H2	4He, 3He, H2
	無校準啟動時間	約 3 min
	響應時間	<1 s
	Interface 接口	RS-232, 基本I/O, 現場總線選項和 USB
	對氦氣的抽氣速度	2.5 l/s
	進氣口最大壓力	25 mbar		5 mbar
	前級泵抽速	油泵 15 m3/h	隔膜泵 3.4 m3/h	不含前級泵
	工作溫度	0-45°C (真空模式) 0-40 °C (吸槍模式)	0-35 °C	0-40 °C
	電壓	100-110 V AC, 50/60 Hz 200-240 V AC, 50/60 Hz	100-240 V AC, 50/60 Hz	100-240 V AC, 50/60 Hz
	功耗	850 W	600 W	350 W
	重量	56 kg	45 kg	32 kg
	尺寸	547x350x389 mm

上海伯東普發 Pfeiffer 提供氦質譜檢漏儀完整的產品線, 從便攜式氦質譜檢漏儀到檢漏模塊, 提供負壓檢漏 (真空法) 和正壓檢漏(吸槍法), 滿足各種應用.氦質譜檢漏儀與傳統泡沫檢漏和壓差檢漏對比, 在提供無損檢漏的同時可以檢測出更小的漏率 5E-13 Pa m3/s, 利用氦氣作為示蹤氣體定位, 定量漏點. 滿足單機檢漏, 也可集成在檢漏系統或 PLC.