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    氦質(zhì)譜檢漏儀 EUV ***檢漏

    伯東企業(yè)(上海)有限公司 ? 2023-06-02 15:53 ? 次閱讀
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    上海伯東客戶日本某生產(chǎn)半導(dǎo)體用***公司, ***真空度需要達到 1x10-11 pa 的超高真空, 因為設(shè)備整體較大, 需要對構(gòu)成***的真空相關(guān)部件進行檢漏且要求清潔無油, 滿足無塵室使用要求, 為了方便進行快速檢漏, 采購伯東 Pfeiffer 便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 310.

    ***檢漏方法: 采用真空模式檢漏, 漏率值設(shè)定為 1x10-11pa m3/s.
    1. 通過波紋管與***真空系統(tǒng)連接
    2. 使用噴槍, 噴掃管路, 腔體焊縫, 接頭等部位, 如果存在超過設(shè)定漏率值的狹縫, 檢漏儀會時時發(fā)出聲光報警, 同時在屏幕上顯示漏率值.

    氦質(zhì)譜檢漏儀***檢漏


    便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 310 主要技術(shù)參數(shù):

    對氦氣的最小檢測漏率

    真空模式 5E-13 Pa m3/s ,吸槍模式 1E-8 Pa m3/s

    檢測模式

    真空模式和吸槍模式
    檢漏方法>>

    氦質(zhì)譜檢漏儀無油前級泵抽速

    1.7 m3/h

    檢測氣體

    4He , 3He, H2

    響應(yīng)時間

    <1s

    對氦氣的抽氣速度

    1.1 l/s

    氦質(zhì)譜檢漏儀進氣法蘭

    DN 25 ISO-KF

    進氣口最大壓力

    15 hPa

    通訊接口

    RS-232

    工作溫度

    10-40 °C

    噪音水平

    < 45 dB (A)

    尺寸

    350 X 245 X 141 mm

    重量

    21 kg (46 lb)

    鑒于客戶信息保密, 若您需要進一步的了解***檢漏, 請聯(lián)絡(luò)上海伯東葉女士 分機 107


    現(xiàn)部分品牌誠招合作代理商, 有意向者歡迎聯(lián)絡(luò)上海伯東 葉女士
    上海伯東版權(quán)所有, 翻拷必究!

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