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中國移動,控制了一條國產 MEMS 芯片產線

傳感器專家網 ? 來源:傳感器專家網 ? 作者:傳感器專家網 ? 2026-01-06 18:30 ? 次閱讀
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近日,我國通信巨頭中國移動,通過旗下的兩支產業基金——北京中移數字新經濟產業基金合伙企業(有限合伙)、上海中移數字轉型產業私募基金合伙企業(有限合伙),入股安徽華鑫微納集成電路有限公司(下文簡稱“華鑫微納”)。 與中國移動同期投資華鑫微納的,還有中建材(安徽)新材料產業投資基金合伙企業(有限合伙)。 本次,中國移動不僅僅只是財務投資華鑫微納這么簡單。 wKgZO2lc5VWAKmnPAAIpO8U3LmI480.png ?雖然公開資料未披露本次中國移動、中建材投資華鑫微納的投資金額和股權比例,但隨著這兩家巨頭成為新股東,芯的(上海)集成電路技術有限公司等6家機構集體退出股東序列。 而據此前公開資料顯示,芯的公司等6家機構共計持有華鑫微納股權比例約為66.5859%。 此外,隨著本次股權變更,華鑫微納多位公司高管也進行調整,公司注冊地址亦進行變更。據公眾號【通信頭條】披露消息顯示——該消息未經證實,中國移動已委派張偉出任華鑫微納新任董事長。 種種信息顯示,中國移動或已全面入主這家新興的國產MEMS芯片代工企業。 中國移動,為什么要控制一條MEMS芯片產線?為什么選擇華鑫微納? wKgZO2lc5VWAaBWxAAFOXnic4vE022.png ?

光通信、具身智能、AI……中國移動的戰略轉型,MEMS芯片必不可少

中國移動作為中國三大運營商之首,進入5G時代后,其增長愈發緩慢,逐漸淪為純粹的數據傳輸供應商。 為了建立新的業績增長點,增強在未來智能時代的市場地位,近年來,中國移動加速了其戰略轉型之路。 目前,中國移動正從傳統的通信服務、云網融合,通過資本投資、產業聯盟等渠道,利用其雄厚的資金和行業影響力,進入具身智能、半導體芯片等核心領域,打通未來智能時代的全產業鏈。 資料顯示,截至2025年7月,中國移動已在信息服務產業鏈投資布局企業超500家,投資規模超2000億元,重點聚焦人工智能、衛星通信、低空經濟等前沿領域。在2025年7月,中國移動具身智能產業創新中心牽頭,聯合宇樹、智元、銀河通用、鈦虎、云深處、戴盟、星動紀元、眾擎等核心生態伙伴,共同發起“具身智能產業合作計劃”,并在12月份,中國移動旗下鏈長基金,獨家億元投資國產觸覺傳感器初創企業戴盟機器人。相關信息參看中國移動,獨家投了深圳一家傳感器初創企業 顯然,入主華鑫微納,亦是中國移動戰略轉型的核心一環。 以MEMS技術為核心的微納智能傳感器,是未來智能時代數據采集的關鍵入口,亦是具身智能、人形機器人的重要感知部件。 常見的MEMS器件主要分為MEMS傳感器和MEMS執行器,包括MEMS加速度計、MEMS麥克風、微馬達、微泵、微振子、MEMS光學傳感器、MEMS壓力傳感器、MEMS陀螺儀、MEMS濕度傳感器、MEMS氣體傳感器等等以及它們的集成產品。 wKgZO2lc5VWAI8FiAAExIBzDwPo134.png ?在具身智能機器人領域,MEMS技術是機器人感知系統的重要組成,機器人需要感知環境(如位置、姿態、力、溫度、氣體等),MEMS集成了加速度計、陀螺儀、壓力傳感器、力傳感器等傳感器,可以為機器人提供與外部環境的交互。相關信息參看院士團隊最新綜述:MEMS技術在具身智能機器人中應用的現狀與挑戰 wKgZO2lc5VaAPkUzAAiKkHhXEag438.png 在通信領域,MEMS技術是射頻芯片、光通信的重要基礎技術。射頻MEMS器件分為MEMS濾波器、MEMS開關、MEMS諧振器等。 射頻前端模組主要由濾波器、低噪聲放大器功率放大器、射頻開關等器件組成,其中濾波器是射頻前端中最重要的分立器件,而MEMS技術是5G/6G BAW濾波器的核心制造工藝。

在光通信系統中,需要用光開關來實現光信號的路由和交換,MEMS光開關可以實現高速(納秒級響應)、低損耗(<1dB)、高可靠性的功能,是大容量光通信系統中的關鍵器件。 在2025年末,谷歌的TPU以其AI推理訓練能力,震驚全球AI屆,甚至撼動了英偉達GPU地位。 谷歌TPU集群依賴于光電路交換(OCS)網絡的高吞吐量,OCS的功能核心則基于MEMS微鏡技術。 wKgZO2lc5VaAKtfXAAYZ67_Cufg054.png

▲谷歌TPU集群及OCS連接示意圖

由此,MEMS技術串聯起具身智能、機器人、光通信、5G/6G射頻芯片、AI芯片等等前沿領域——這些領域正是未來智能時代的所在,正是中國移動戰略轉型的方向。 為什么選擇華鑫微納? 投資超50億元,發改委、工信部等關注的國家集成電路重大項目,產能達3萬片/月,擁有MEMS微鏡等全面的工藝研發能力 這或許于華鑫微納在MEMS產業的技術定位有關。 華鑫微納成立于2022年3月,項目總投資約50.6億元,產線位于中國(蚌埠)傳感谷東側地塊,項目建設用地150余畝,分二期建設,一期總建筑面積約75000平方米,主要包含生產廠房、動力廠房、生產研發樓、倉庫等。 2022年11月,華鑫微納MEMS芯片產線項目獲得國家發改委審批,國家集成電路生產力布局的重大項目,也是發改委、工信部、安徽省關注的重大工程項目,項目目標通過自主可控的關鍵核心技術推動中高端MEMS器件的國產化替代進程。 華鑫微納定位于8英寸MEMS智能傳感器核心器件制造平臺集成硅基MEMS、壓電MEMS、CMOS-MEMS單片集成及2.5D/3D微系統技術于一體的開放式、定制化柔性MEMS芯片生產線,擁有慣性傳感器、光MEMS執行器(包括光MEMS微鏡、激光雷達掃描鏡、光通信微鏡等)、環境傳感器(壓力、溫度、氣體、流量等)以及MEMS微流控、MEMS噴墨打印頭、MEMS時鐘諧振器等全面、完善的MEMS產品的工藝研發和量產能力 wKgZO2lc5VaAWamFAAGqfHY7kQ4097.png 相比國內同類MEMS產線,華鑫微納在產線自動化方面處于國內領先地位,部署了智慧能源、數字孿生、智能倉儲等系統,已建成國內首條全自動天車系統的8英寸晶圓產線,實現超90%自動化率和近無人化生產 華鑫微納MEMS芯片產線在2023年3月開展基礎施工,同年8月份廠房封頂,2024年9月份設備進場,2025年3月份完成工藝、設備調試,同月,華鑫微納MEMS芯片產線第一片晶圓下線,產線建設歷時2年時間。 產能方面,華鑫微納達產后預計月產8英寸晶圓1萬片,到2027年將達到規劃月產3萬片。 wKgZO2lc5VeAd5SqAAsl3k7Y6g0251.png▲華鑫微納MEMS晶圓片展示 團隊超20年MEMS芯片研發經驗,體硅工藝領先,聚焦3大類MEMS產品
華鑫微納團隊擁有21年的MEMS產品工藝研發經驗,主要基于體硅工藝研發陀螺儀、加速度計、光MEMS微鏡等高性能MEMS器件。 體硅工藝是MEMS器件三大制造工藝之一,MEMS制造工藝主要包括表面微加工技術、體微加工技術(體硅工藝)、LIGA技術等,目前應用范圍最廣、技術最成熟的為前兩者。相關資料參看《MEMS傳感器芯片是怎樣被制造出來的? 對未來華鑫微納的MEMS代工業務規劃,據華鑫微納副總經理張勝兵介紹,華鑫微納聚焦3大部分: 第一類為成熟產品,包括硅麥克風等消費級MEMS傳感器,以及壓力、溫度等環境類MEMS傳感器產品,這部分產品將是華鑫微納未來代工業務出量的大頭,預計占據產能的50%~60% 第二類為核心產品,將是華鑫微納高利潤的來源,主要聚焦中高性能的汽車級、工業級傳感器,譬如車規級壓力、慣性傳感器,工業級MEMS光開關、微鏡、MEMS諧振器等,這也是華鑫微納的拳頭產品,預計占據產能的30%~40% wKgZO2lc5VeAZcBoAAPQuxrW07c202.png 第三類為戰略產品,主要為壓電MEMS產品,華鑫微納布局了壓電噴墨頭、壓電微流控等器件,以及電容式MEMS超聲波換能器(CMUT)、微泵、多光譜成像等等先進前沿的MEMS產品技術,預計占據產能的5%~10% 從成熟產品、核心產品到戰略產品,從消費級MEMS到車規級、工業級MEMS,再到壓電MEMS、CMUT等前沿MEMS產品,華鑫微納構建了清晰的階梯級產品規劃,這個戰略規劃也展現了華鑫微納的技術優勢。 張勝兵介紹:可以看到,國內MEMS產品真正成熟能夠上量的,目前大概有三類:麥克風、濾波器和消費級壓力傳感器,但在高性能壓電、慣性、微鏡、噴墨打印頭、時鐘諧振器等等中高端MEMS器件,實際上國內并沒有完全實現量產,這些就是我們的優勢。我們團隊以體硅工藝起家,擁有深厚的技術沉淀,工藝技術上完全可以對標國外的MEMS巨頭,譬如TI、Silex、博世等,我們完全可以實現量產性能上的對標,并且在靜電微鏡等一些高端MEMS技術領域,我們還領先了很多企業。”
結語 種種跡象表明,中國移動這位通信巨頭,親自下場,控制了一條中高端的國產8英寸MEMS 芯片生產線。 隨著智能時代的到來,具身智能、機器人、AI、光通信、5G/6G加速普及,MEMS作為這些領域的基礎制造技術,充滿想象空間。
審核編輯 黃宇

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