電容測微儀是一種基于電容傳感原理的高精度測量儀器，主要用于微小位移、厚度、間隙、振動等物理量的非接觸式檢測，廣泛應用于精密制造、半導體、光學技術、航空航天等對測量精度要求高的領域，是壓電納米定位、微納加工設備等的關鍵配套測量部件。芯明天新品C2D18電容測微儀，具備2mm大行程測量能力，在量程實現突破的同時，始終堅守納米級測量精度，完美兼顧寬量程與高精度核心需求。

一、新品推薦：2mm量程電容測微儀C2D18

電容測微儀通過將被測物理量，如微小位移的變化轉化為電容值的變化，再經信號處理電路將電容變化轉換為可讀取的電信號，從而實現對微小量的精確測量。其測量分辨率可達到納米級，是微納尺度測量中的核心工具之一。

在現有電容測微儀產品線基礎上，我們新增2mm量程電容測微儀C2D18，進一步完善了從100μm到2mm的全量程覆蓋。該產品旨在為高端精密加工、壓電定位系統配套、工業檢測及科研實驗等多場景，提供范圍更廣的納米級感知能力，為大行程微小量測量提供更全面的方案，同時讓整體測量方案的靈活性與適配性更趨完善。

新品三大核心優勢：

1.量程突破，覆蓋更廣場景：2mm超大量程較原有的1mm大量程產品實現翻倍拓展，無需頻繁更換設備，即可滿足從微米級到毫米級的多尺度測量需求，適配更廣泛的精密檢測場景。

2.精度堅守，延續納米級性能：分辨率與重復性保持納米級水準，通過優化設計有效抵消溫度漂移、電磁干擾等環境影響，確保測量穩定性；即使在2mm全量程范圍內，線性度依然維持納米級精度。

3.適配壓電定位全場景：可與芯明天壓電納米定位臺、控制器兼容，形成“定位-測量-閉環修正”一體化解決方案，生態協同性強；響應時間快，能完美匹配動態閉環控制需求。

二、電容測微儀的應用領域

電容測微儀憑借納米級精度、非接觸測量、快速響應和高穩定性等獨特優勢，已成為現代精密測量領域的核心工具，廣泛應用于對精度要求極高的多個行業：

1.半導體與微電子產業

晶圓加工全流程監控：晶圓厚度與翹曲度測量、表面缺陷分析、掩膜版定位、晶圓臺多軸位移反饋；

芯片封裝與測試：封裝層間對準、芯片鍵合壓力與間隙控制等。

2.精密光學技術

光學元件制造：鏡片曲率、平行度、中心厚度的測量，光學元件鍍膜厚度控制，光學棱鏡角度校準，OLED面板厚度均勻性檢測，玻璃基板翹曲度測量等。

3.精密制造領域

超精密加工與監測：機床主軸回轉精度檢測、精密導軌直線度測量、模具的磨損度監測、微納結構位移、形變與振動檢測等。

（注：圖片來源于網絡）

4.航空航天領域

飛行器制造：機身尺寸的精密測量、復合材料層間間隙檢測、核心部件如航空發動機葉片振動分析、航天器太陽能帆板展開狀態監測等。

5.汽車與能源裝備

汽車制造質量控制：剎車盤厚度變化檢測、發動機缸體平面度測量；

新能源設備制造：鋰電池極片厚度測量，燃料電池膜電極組件厚度檢測，風電葉片形變監測等。

6.科研與通用測量

設備配套：可作為掃描探針顯微鏡、共聚焦顯微鏡等設備的樣品臺位置監測傳感器，擴展設備縱向測量量程；

材料與環境測試：復合材料彈性模量測試、疲勞試驗微小形變監測，真空、低溫、強磁場等特殊環境下的位移檢測與無干擾精密定位等。

（注：圖片來源于網絡）

芯明天電容測微儀適用于高精度定位、角度/直線振動測量、厚度檢測、旋轉機械間隙測量、跳動測量、自動對焦或調零、介電常數測量、天文望遠鏡鏡片定位、外徑測量、形變測量等。

三、芯明天電容測微儀核心特點

1.超高精度與分辨率

測量分辨率可達納米級，測量精度高，能滿足微納尺度測量的嚴苛需求。

2.非接觸式測量

測量過程中傳感器與被測物體無機械接觸，不會對被測表面造成劃傷、磨損，也不會因接觸力導致測量誤差，適合脆弱工件、柔性材料或高速運動物體的測量。

3.響應速度快

電容變化的檢測不受機械慣性影響，信號處理電路的響應時間可達微秒級，能實時捕捉動態變化如微小振動、高速位移等，可用于動態測量和閉環控制場景。

4.穩定性好，抗干擾能力強

能有效抵消溫度漂移、電源波動等環境干擾；電容傳感器結構穩定、無易損件，長期使用穩定性高，維護成本低。

5.測量范圍靈活

CxxDxx全系列電容測微儀量程覆蓋100μm~2mm，實現從微米級到毫米級的大范圍測量，既能滿足微納加工的微小位移測量，也能適配精密機械的間隙檢測。

6.適配多種被測材質

當被測物體具有一定的導電性且滿足條件時，均可進行測量，不受材質影響，適配金屬、半導體、玻璃、陶瓷等多種材料的精密檢測。

四、芯明天電容測微儀全系列產品矩陣

1）傳感探頭

我們提供完整的電容測微儀產品線，以滿足不同精度、量程和動態性能的需求。

柱形電容傳感器

方形電容傳感器

2）傳感控制器（信號處理）

E75系列單通道、小體積傳感控制器

E75系列單通道傳感控制器，采用單通道設計，結構精簡緊湊，小體積特性使其能靈活適配空間受限的多種場景。可適配多種型號電容測微儀，廣泛應用于單點位微小位移測量、小型壓電定位系統閉環控制等場景，為單通道高精度傳感需求提供高效、精準的解決方案。

E01系列模塊化、多通道傳感控制器

E01機箱式傳感控制器適配多型號電容測微儀，具備納米級測量分辨率，采用模塊化設計理念，支持1至12通道自由選配，可根據實際需求靈活組合，適用于多場景。同時提供臺式結構與板卡式插件兩種形態選擇，兼顧獨立使用的便捷性與系統集成的兼容性。

審核編輯 黃宇