2025年9月28日，廣州奧松電子股份有限公司的“新一代氣體質量流量控制器的研發及產業化”順利通過科技成果評價。本次評價會由廣州生產力促進中心有限公司組織召開，邀請了來自華南理工大學、暨南大學、廣東工業大學、華南師范大學、廣東省科學院電子電器研究所、工業和信息化部電子第五研究所、中科院廣州電子技術有限公司等單位的7位專家組成評價專家組。

評價專家組聽取了項目匯報、審閱了相關材料，經質詢與討論，一致認定該項目成果具有創新性，整體技術達到國際先進水平。2025年11月3日，該項目入選廣州市2025年第十三期科技成果登記公示，現同步進行完成單位公示，公示內容如下：

本項目所研發的新一代氣體質量流量控制器（MFC），適用于多種常規氣體，在測量結果的準確度與可靠性方面實現顯著提升。其重復精度高達±0.2%F.S.；泄漏率低至1×10?1? Pa·m3/sec，氣密性能優異，有效保障生產安全。

AS200系列產品基于先進的MEMS技術研發，在傳感器驅動、零點漂移控制及閥控等關鍵環節均采用了自主核心技術，確保了產品的高性能、高品質與高可靠性。產品具備穩定性好、精度高、泄漏率低、耐壓高等優點，廣泛應用于半導體制造、燃料電池、航空航天、環境監測、石油化工、光伏鍍膜、生物制藥、醫療設備等重點領域。通過實現國產化替代，項目成功打破國外技術壟斷，有效緩解半導體裝備領域中的“卡脖子”問題，契合國家“中國制造2025”與“雙碳”戰略需求。憑借高精度、快速響應和長期穩定性等核心技術優勢，該產品在多個高端制造領域展現出廣闊的推廣應用前景。

此次科技成果的順利評價與公示，不僅是對奧松電子技術研發能力的高度認可，更是對我國在高端傳感器領域實現科技自立自強的重要印證。未來，奧松電子將持續弘揚“創新、務實、高效、共贏”的企業精神，進一步增強自主創新能力，致力于為全球客戶提供更先進、更可靠的MEMS傳感器產品與解決方案，為推動我國半導體產業鏈供應鏈安全與高質量發展注入強勁動能。