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前段時間，一行業內的朋友問我：“XPS跟FTIR的區別是什么？”，說實話，雖然在半導體行業打拼這么多年了，也一直從事的就是質量管理工作，所以接觸過的半導體分析設備還真是不少，但一下子問到：X射線光電子能譜（XPS）與傅里葉變換紅外光譜儀（FTIR）的區別，我還真是不能細細的一一給講解出來，最多只能知道個大概：

1、XPS跟FTIR兩種技術在原理、檢測信息、適用場景等方面存在顯著差異；

2、XPS是解決表面化學狀態的問題，而FTIR是解決分子結構與成分的問題；

3、XPS是表面化學狀態的探針，適合分析材料最表層的元素與價態，而FTIR是分子結構的指紋儀，適合識別整體官能團與化學鍵。兩者是互補關系；

也就知道這以上三點吧，所以為了豐富自己，也為了跟更多的朋友一起分享與之相關聯的知識，在2025年的9月30日分享了：

電化學表征“X射線光電子能譜（XPS）”分析技術的詳解；

同時，本章節也想也大家分享一下關于傅里葉變換紅外光譜儀（FTIR）分析技術的相關知識，有興趣的朋友可以一起相互交流學習！

一、傅里葉變換紅外光譜儀中“傅里葉”的由來

讓·巴普蒂斯·約瑟夫·傅立葉（BaronJeanBaptisteJosephFourier，1768-1830），男爵，法國數學家、物理學家，1768年3月21日生于歐塞爾，1830年5月16日卒于巴黎。1817年當選為科學院院士，1822年任該院終身秘書，后又任法蘭西學院終身秘書和理工科大學校務委員會主席。

主要貢獻是在研究《熱的傳播》和《熱的分析理論》時創立了一套數學理論，即傅立葉級數，對19世紀的數學和物理學的發展都產生了深遠影響。而傅里葉變換在物理學、數論、組合數學、信號處理、概率、統計、密碼學、聲學、光學等領域都有著廣泛的應用。

讓·巴普蒂斯·約瑟夫·傅立葉而有關傅立葉級數，傅立葉變換的理論也不詳細闡述了，簡而言之，它可以把難以看懂的時域譜變換成能看懂的頻域譜。

傅立葉變換紅外光譜測量的全過程：光譜儀發射紅外線通過寶石，在紅外線通過寶石時，會引起寶石中分子的振動，同時分子振動吸取特定的能量（不同波長的紅外線），干涉儀測量出原始的干涉圖，該圖是一種時域譜,它是一種極其復雜的譜,難以解釋，最后一步，計算機對該干涉圖進行快速傅立葉變換計算,從而得到以波長或波數為函數的頻域譜,即紅外光譜圖，縱坐標為透過率，橫坐標為波長λ（μm）或波數（cm-1）。因此，譜圖稱為傅立葉變換紅外光譜，儀器稱為傅立葉變換紅外光譜儀。

二、紅外光譜儀的發展歷史

到目前為止紅外光譜儀已發展了三代。第一代是最早使用的棱鏡式色散型紅外光譜儀,用棱鏡作為分光元件，分辨率較低，對溫度、濕度敏感,對環境要求苛刻。上世紀六十年代出現了第二代光柵型色散式紅外光譜儀,采用先進的光柵刻制和復制技術,提高了儀器的分辨率,拓寬了測量波段,降低了環境要求。然后在上世紀七十年代又發展起來第三代的干涉型紅外光譜儀,傅立葉變換紅外光譜儀既是干涉型的代表，它具有寬的測量范圍、高測量精度、極清晰的分辨率以及極快的測量速度。

三、傅里葉變換紅外光譜儀的介紹

傅里葉變換紅外光譜儀，英文全稱：Fourier Transform Infrared Spectrometer，簡寫為FTIR Spectrometer。它不同于色散型紅外分光的原理，是基于對干涉后的紅外光進行傅里葉變換的原理而開發的紅外光譜儀，主要由紅外光源、光闌、干涉儀（分束器、動鏡、定鏡）、樣品室、檢測器以及各種紅外反射鏡、激光器、控制電路板和電源組成。可以對樣品進行定性和定量分析，廣泛應用于醫藥化工、地礦、石油、煤炭、環保、海關、寶石鑒定、刑偵鑒定等領域。

傅里葉變換紅外光譜儀主要由邁克爾遜干涉儀和計算機組成。邁克爾遜干涉儀的主要功能是使光源發出的光分為兩束后形成一定的光程差，再使之復合以產生干涉，所得到的干涉圖函數包含了光源的全部頻率和強度信息。用計算機將干涉圖函數進行傅里葉變換，就可計算出原來光源的強度按頻率的分布。

簡單來說，傅里葉變換紅外光譜儀（FTIR）是紅外光譜儀最常見的測試方式，也是分析、工業和科研實驗室中非常強大的工具。

四、傅里葉變換紅外光譜儀（FTIR）的工作原理

紅外線和可見光一樣都是電磁波，紅外光又可依據波長范圍分成近紅外、中紅外和遠紅外三個波區，其中中紅外區（2.5～25μm；4000～400cm-1）能反映分子內部所進行的各種物理過程以及分子結構方面的特征，對解決分子結構和化學組成中的各種問題最為有效，因而中紅外區是紅外光譜中應用的區域。

紅外光譜屬于吸收光譜，是由于化合物分子中成鍵原子振動能級躍遷時吸收特定波長的紅外光而產生的，只有引起分子偶極矩變化的振動才能產生紅外吸收。紅外吸收光譜主要用于結構分析、定性鑒別及定量分析。

光源發出的光被分束器(類似半透半反鏡)分為兩束，一束經透射到達動鏡，另一束經反射到達定鏡。兩束光分別經定鏡和動鏡反射再回到分束器，動鏡以一恒定速度作直線運動，因而經分束器分束后的兩束光形成光程差，產生干涉。干涉光在分束器會合后通過樣品池，通過樣品后含有樣品信息的干涉光到達檢測器，然后通過傅里葉變換對信號進行處理，最終得到透過率或吸光度隨波數或波長的紅外吸收光譜圖。

五、傅里葉變換紅外光譜儀（FTIR）的結構組成

傅里葉變換紅外光譜儀（FTIR）主要由紅外光源、分束器、干涉儀、樣品池、探測器、計算機數據處理系統、記錄系統等組成，是干涉型紅外光譜儀的典型代表，不同于色散型紅外儀的工作原理，它沒有單色器和狹縫，利用邁克爾遜干涉儀獲得入射光的干涉圖，然后通過傅里葉數學變換，把時間域函數干涉圖變換為頻率域函數圖（普通的紅外光譜圖）：

1、光源

傅里葉變換紅外光譜儀為測定不同范圍的光譜而設置有多個光源。通常用的是鎢絲燈或碘鎢燈（近紅外）、硅碳棒（中紅外）、高壓汞燈及氧化釷燈（遠紅外）。

2、分束器

分束器是邁克爾遜干涉儀的關鍵元件。其作用是將入射光束分成反射和透射兩部分，然后 再使之復合，如果可動鏡使兩束光造成一定的光程差，則復合光束即可造成相長或相消干涉。

對分束器的要求是：應在波數v處使入射光束透射和反射各半，此時被調制的光束振幅最大。根據使用波段范圍不同，在不同介質材料上加相應的表面涂層，即構成分束器。

3、探測器

傅里葉變換紅外光譜儀所用的探測器與色散型紅外分光光度計所用的探測器無本質的區別。常用的探測器有硫酸三甘鈦（TGS）、鈮酸鋇鍶、碲鎘汞、銻化銦等。

4、數據處理系統

傅里葉變換紅外光譜儀數據處理系統的核心是計算機，功能是控制儀器的操作，收集數據和處理數據。

六、傅里葉變換紅外光譜儀（FTIR）的主要特點

1、信噪比高

傅里葉變換紅外光譜儀（FTIR）所用的光學元件少，沒有光柵或棱鏡分光器，降低了光的損耗，而且通過干涉進一步增加了光的信號，因此到達檢測器的輻射強度大，信噪比高。

2.、重現性好

傅里葉變換紅外光譜儀（FTIR）采用的傅里葉變換對光的信號進行處理，避免了電機驅動光柵分光時帶來的誤差，所以重現性比較好。

3、掃描速度快

傅里葉變換紅外光譜儀（FTIR）是按照全波段進行數據采集的，得到的光譜是對多次數據采集求平均后的結果，而且完成一次完整的數據采集只需要一至數秒，而色散型儀器則需要在任一瞬間只測試很窄的頻率范圍，一次完整的數據采集需要十分鐘至二十分鐘。

簡單來說，紅外光譜具有特征性強、分析快速、不破壞試樣、試樣用量少、操作簡便、能分析各種狀態的試樣、分析靈敏度較高、應用范圍廣（固態、液態或氣態樣品都能應用；無機、有機、高分子化合物均可檢測）等特點，其與色譜（GC-IR）聯用或TGA（TGA-IR）聯用，定性功能強大。

七、傅里葉變換紅外光譜儀（FTIR）樣品采樣分析技術分類

傅里葉變換紅外光譜儀（FTIR）常用的樣品分析技術中，最常見的是透射、衰減全反射（ATR）、鏡面反射和漫反射。FTIR光譜儀（如，愛丁堡傅里葉變換紅外光譜儀IR5）的設計也有助于實現中紅外（MIR）光譜范圍內光致發光（FT-PL）的測量，拓寬了FTIR光譜儀的分析可能性，以下是跟大家分享的各種樣品分析技術的工作原理、優點和適用的樣品類型。

1、透射FTIR光譜法

透射FTIR光譜法是最傳統的樣品分析方法。入射紅外光通過樣品，透過的光被測量，產生以透射率（T%）表示的FTIR光譜。通俗的講就是：在透射模式下進行傳統的傅里葉變換紅外 (FTIR) 光譜。透射 FTIR 光譜適用于液體、氣體、粉末和薄膜。在透射光譜中，樣品另一側的 FTIR 檢測器檢測通過樣品的紅外光。

透射FTIR可用于液體、固體和氣體樣品的分析。透射FTIR是一種對氣體測量至關重要的常用技術；但，透射FTIR的局限性則不利于固體和液體的樣品分析。ATR-FTIR已取代透射FTIR成為較為常用的樣品分析技術。

透射測量通常需要樣品制備，固體樣品需要分散在KBr中并壓成顆粒；測量液體時需要紅外透明窗片，如CaF2。這種方式放置樣品，可能出現由于紅外光束擊中樣品的位置不一致而導致光譜的重現性差。

2、衰減全反射 (ATR) FTIR法

衰減全反射 (ATR) -FTIR是固體和液體樣品分析的主要方法，因為它幾乎不需要樣品制備，而且是非破壞性的。在衰減全反射 (ATR) -FTIR中，入射光束被引導進入衰減全反射 (ATR) 晶體（內部反射元件（IRE））。衰減全反射 (ATR) 晶體必須具有高折射率（高于樣品的折射率）以防止光束穿過樣品。當光線照射到IRE并從其內表面完全反射時，產生一個垂直投射到樣品中的隱矢波，如下圖所示。樣品吸收一定量的能量，隱矢波衰減。衰減后的光束從IRE反射到檢測器。

為了獲得光譜，樣品和晶體之間必須有全面接觸，衰減全反射 (ATR) 附件通過頂針（夾緊臂）對固體施加壓力，確保樣品和晶體之間的一致性接觸。

總體來說，衰減全反射 (ATR) 是傅里葉變換紅外 (FTIR) 光譜中最常用的采樣技術。衰減全反射 (ATR) -FTIR 能夠快速、輕松地測量包括液體、固體、粉末、半固體和糊劑在內的多種樣品類型，從而被廣泛采用。在衰減全反射 (ATR) 采樣模式下，紅外 (IR) 光穿透晶體，在晶體-樣品界面處發生內反射，反射光傳播至 FTIR 檢測器。在內反射過程中，一部分紅外光進入樣品并被吸收。進入樣品的光則被稱為衰減波。

在衰減全反射傅里葉變換紅外 (衰減全反射 (ATR) -FTIR) 模式下，紅外光在晶體內被完全反射，一小部分光與樣品發生相互作用。

衰減波穿透樣品的深度取決于 ATR 晶體與樣品之間的折光率差值。因此，衰減全反射 (ATR) -FTIR 分析中需根據樣品類型使用不同的晶體材料，同時衰減全反射 (ATR) 晶體也有多種材料可選，選擇哪種材料取決于應用領域。ZnSe晶體適用于常規分析，但較硬的樣品會導致晶體破裂或破碎，強酸性或堿性樣品會產生有毒煙霧。Ge晶體由于其穿透深度較小，適合于高折射率樣品和表面分析。金剛石是衰減全反射 (ATR) 晶體的標準材料，它幾乎堅不可摧，同時為加熱衰減全反射 (ATR) -FTIR實驗提供高導熱性。

3、鏡面反射法

鏡面反射是一種外部反射技術，不同于依賴于內部反射的衰減全反射 (ATR) 。在鏡面反射中入射角等于反射角。該技術用于固體的光滑表面，特別適用于反射基質上的薄膜、大塊材料、單層樣品分析。此類型的附件還可以測量涂覆在金屬表面樣品的透射-反射率（透反射）光譜。光譜包含來自涂層表面的信息，以及下面的金屬表面。這種方法最適用于測量金屬表面的保護涂層。

鏡面反射采樣可用于液體、薄膜和散裝材料的 FTIR 檢測。說白了，就是紅外(IR) 光以特定角度照射到樣品表面上并被反射，然后在與入射光相同的特定角度檢測反射光。

4、漫反射法

漫反射紅外傅立葉變換光譜（DRIFTS）是外部反射技術，用于收集具有粗糙表面的強吸收樣品（如粉末）的紅外光譜。紅外入射光束穿透樣品，隨后向各個方向散射。DRIFTS的主要應用領域為藥物學和法醫學實驗室粉末樣品的定性分析。

所以，漫反射的采樣技術略有不同。它主要用于粉末的 FTIR 分析。紅外光 (IR) 照射到樣品上會向各個角度反射。

5、FT-發光（PL）光譜法

FTIR光譜儀通過升級配置可用于測量中紅外區域的光致發光（PL）光譜。對于這種測量，需要一個激發激光，并引導激光至樣品上。然后，樣品的PL發射信號進入干涉儀后到達檢測器。該技術主要用于檢測稀土和半導體的MIR光致發光信號。

FTIR光譜技術是一種非常通用的技術，可以搭載適合不同應用場景的樣品附件，還可以適應不同的實驗室需求，從常用的方法（如ATR-FTIR附件）到FTIR光譜儀的使用（如FT-PL）。

八、傅里葉變換紅外光譜儀（FTIR）的應用領域

傅里葉變換紅外光譜（FTIR）分析具有廣泛的應用，是許多領域中的重要技術。下面列舉出其中幾個應用：

1、化學分析

傅里葉變換紅外光譜（FTIR）分析可以用于確定化學物質的種類和濃度。它可以幫助化學家確定分子的結構，并在研究中使用該信息進行反應控制和品質控制。

2、多晶體分析

傅里葉變換紅外光譜（FTIR）分析也可以用來分析固體中的化學結構。多晶體分析可以提供材料的形態和晶體結構信息，包括晶格參數、晶胞體積等。

3、生物醫學研究

傅里葉變換紅外光譜（FTIR）分析在生物醫學研究中也有重要應用。例如，可以用于快速檢測血液和組織標本中的病原體和代謝產物，從而實現快速、無創診斷和治療。

九、傅里葉變換紅外光譜儀（FTIR）分析技術在化學研究中的重要性

傅里葉變換紅外光譜儀（FTIR）分析技術在化學研究中的重要性體現在以下幾個方面：

1、分子結構研究

傅里葉變換紅外光譜（FTIR）分析可以用來確定分子結構，并用于反應控制和品質控制。這種技術對于研究新的材料和化學反應機理是至關重要的。

2、化學反應機理研究

傅里葉變換紅外光譜（FTIR）分析可以跟蹤化學反應過程，并獲得化學反應機理的信息。研究化學反應機理可以幫助我們了解以下內容：反應中間物的生成、反應物和產物之間的發生變化、反應條件如何影響化學反應等內容。

3、質量控制

傅里葉變換紅外光譜（FTIR）分析也可以用于產品質量控制。通過確定樣品的化學結構，可以確保產品符合預期的化學成分和物理性質，從而保證產品質量。

傅里葉變換紅外光譜（FTIR）分析作為一種強大而廣泛的分析技術，具有許多重要應用，可以幫助確定分子結構和化學反應過程中的機理。它在化學研究中發揮著重要的作用，并為化學家們提供了寶貴的工具。

十、傅里葉變換紅外光譜儀（FTIR）與其他儀器的聯用技術

傅里葉變換紅外光譜儀（FTIR）與其他儀器的聯用技術是近代研究發展的重要方向。在現代分析測試技術中，用于復雜試樣的微量或痕量組分的分離分析的多功能紅外聯機檢測技術代表了新的發展方向。

傅里葉變換紅外光譜儀（FTIR）與色譜聯用可以進行多組分樣品的分離和定性，與顯微鏡聯用可進行微量樣品的分析鑒定，與熱失重聯用可進行材料的熱穩定性研究，與拉曼光譜聯用可得到紅外光譜弱吸收的信息。實踐證明，紅外光譜聯用技術是一種十分有效的實用技術，現已實現聯機的有氣相色譜-紅外、GX液相色譜-紅外、超臨界流體色譜-紅外、薄層色譜-紅外、熱失重-紅外、顯微鏡-紅外及氣相色譜-紅外-質譜等，這將進一步提高分析儀器的分離分析能力。

隨著傅里葉變換紅外光譜儀（FTIR）技術的發展，遠紅外、近紅外、偏振紅外、高壓紅外、紅外光聲光譜、紅外遙感技術、變溫紅外、拉曼光譜、色散光譜等技術也相繼出現，這些技術的出現使紅外成為物質結構和鑒定分析的有效方法。

近年來，隨著計算機技術的發展，紅外光譜定性分析實現了計算機檢索和輔助光譜解析。概括地說，就是首先將相當數量化合物的紅外光譜圖，按照一定規則進行編碼后，存放在計算機的存儲設備中形成譜庫，然后，對待分析樣品的紅外光譜圖也進行同樣的編碼，再以某種計算方法與譜庫中存儲的數據逐個進行比較，挑選出類似的數據，之后按類似的程度輸出挑選結果，從而達到光譜檢索目的。而這也大大減少了光譜解析的工作量。

十一、寫在最后面的話

傅里葉變換紅外光譜儀（FTIR）分析技術是一種紅外 (IR)光譜法，廣泛用于定性和定量表征材料。FTIR 采樣技術主要有四種：透射、衰減全反射(ATR)、鏡面反射和漫反射 (DRIFTS)，它們的區別在于紅外光與樣品的相互作用方式以及所需的樣品類型。傅里葉變換紅外光譜儀（FTIR）分析技術使研究人員能夠高精度地識別分子結構、官能團和濃度，這使其在紡織、材料科學、制藥以及食品飲料等各個領域都具有不可估量的價值。

十二、傅里葉變換紅外光譜儀（FTIR）技術的常見問答

1、Q：FTIR的測試樣品干燥的目的？含水的樣品可以測試嗎？

A：含水的樣品不能直接測試，測出來的水峰（3000-3500cm-1左右）太明顯，會影響附近峰的分析，含水的樣品測試前必須干燥，干燥的目的就是除水。

2、Q：高溫紅外數據，基線不平和室溫測試結果差距較大是什么原因？

A：基線是否平和透過情況，是樣品本身決定的，高溫紅外和普通紅外測試一樣，都不會太平滑，使基線變平整就修改了本身特征（紅外測試完是可以手動調整基線的，但是有修改數據、數據造假的嫌疑，不建議調整）。

3、Q：紅外圖測試吸收率在波數較小的地方圖譜出現很多豎直線怎么回事？

A：測試無機樣，紅外吸收不好，不建議測試吸收，一般透過率效果還好一些。

4、Q：紅外數據吸收可以轉出透過嗎？

A：可以轉，但僅限視圖，無法得到轉后的數據，如果想要原始數據，需要重新測試。

5、Q：紅外漫反射模式數據只能得到反射率嗎？

A：不是的，漫反射只是一種模式，既可以得到反射率，也可以得到吸收率或透過率，一般漫反射會選K-M模式，是漫反射函數校正后的結果。

6、Q：紅外測試結果的透過率反射率大于100%（吸收小于0）怎么回事？

A：透過率、反射率大于100%或吸收小于0，說明樣品某些波數區域的透過率、反射率要好于背景（吸收比背景弱），可能是以下原因：

（1）有可能是溴化鉀片表面毛糙了，雜散光較多，所以背景透過率較小（吸收較大）。

（2）沒有扣除背底進行校正，這種情況不影響定性結果，可以直接用。

7、Q：測試曲線出現部分位置透過率為0無法看出峰位，是什么原因造成的？

A：這種數據無法看出真實峰位，不能用來進行分析；造成這種曲線的的原因可能是：

（1）粉末樣品的話，這種情況一般是樣品量放太多了，需要重新測試；

（2）塊體的話應該是樣品吸收能力較強，需要用全反射模式進行測試。

8、Q：紅外測試是如何定性定量的？

A：定性：組成化學鍵或官能團的原子處于不斷振動的狀態，不同的化學鍵或官能團吸收頻率不同，在紅外光譜上將處于不同位置，從而可獲得分子中含有何種化學鍵或官能團的信息；

定量：依據朗伯-比爾定律，峰的吸收強度A=a*b*c（其中a為吸收系數，常數；b為厚度；c為濃度）有內標法和外標法兩種，一般采用內標法，利用不同基團吸收峰的面積的比值進行定量分析，但是紅外定量只能算是半定量。

9、Q：傅里葉變換紅外光譜與拉曼光譜各有什么特殊的優勢嗎？

A：拉曼光譜的優勢在于它使用更短的波長，這意味著拉曼可以獲得更好的空間分辨率，與FTIR紅外光譜儀分析相比，拉曼可以分析更小的粒子。但拉曼有兩個缺點：首先，拉曼需要很大的能量，這對于易損的樣品可能是一個問題，他們可能會被破壞；第二，熒光對拉曼有很大的干擾，拉曼光譜會被熒光遮蔽，所以識別可能存在問題。

另一方面，FTIR傅里葉紅外光譜的速度更快、靈敏度更高，但FTIR使用的波長更長，在空間分辨率方面受到限制。FTIR只能分析較大的顆粒，而拉曼光譜可以分析0.5微米以下的顆粒，具有很好的識別性。FTIR能分析的顆粒尺寸通常不會小于7微米，但比拉曼光譜快。例如，在分析含有大量顆粒的過濾器時，許多人更喜歡FTIR，因為它們可以在相同的時間內分析更多的顆粒。

10、Q：什么是ATR模式？

A：ATR即衰減全反射，是紅外光譜測試技術中一種應用十分廣泛的采樣技術，將待測樣品置于ATR附件上方，紅外光束在ATR晶體內發生衰減反射后到達檢測器，在測試塊體、薄膜、液體、漿狀、膠狀、粉末、柔軟的聚合物等樣品時大有用處，既可以免除壓片制樣的繁瑣步驟，又可以避免溴化鉀吸水帶來的水的吸收峰對測試的干擾。

11、Q：如何選擇紅外測試方法？

A：紅外測試一般主要分為溴化鉀壓片法、ATR及液體樣品池方法。 溴化鉀壓片方法適合粉末樣品，此方法中涉及溴化鉀帶入的雜峰影響，所以我們一般選擇扣除溴化鉀背景和空氣背景方法（具體方法客戶可以指定），扣除溴化鉀背景可以盡量避免溴化鉀引入的雜峰（主要因為溴化鉀極易吸水，羥基峰影響非常明顯）。 ATR方法適合各種固體，塊狀薄膜，液體等無法研磨成粉末樣品，該方法優勢是無其它雜質峰干擾，但是缺點為有些樣品峰會比較弱。液體樣品池法，一般適合于一些液體樣品測試，如果采用的是溴化鉀窗片，樣品里不能含水，不能跟溴化鉀反應。

12、Q：對于樣品中目標結構含量較少的情況，可以測出嗎？

A：樣品純度應盡量高，否則目標峰周圍有較多雜峰或強吸收峰，可能分辨不出。

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審核編輯 黃宇