2025年9月23日至27日，第二十五屆中國國際工業博覽會于上海國家會展中心成功舉辦。本屆工博會聚焦“高端化、智能化、綠色化”發展趨勢，涵蓋高端裝備、智能制造、工業自動化、新材料等多個前沿領域。中微半導體設備（上海）股份有限公司（證券簡稱：中微公司，證券代碼：688012）作為行業領先的半導體設備制造企業，帶來了一系列先進技術與創新解決方案，全面展示了其在集成電路裝備制造領域的最新成果與實力。

展會期間，工業和信息化部及上海市的相關領導參觀了中微公司展臺，中微公司董事長兼總經理尹志堯博士結合現場展示的多媒體資料、設備模型等生動介紹了中微公司在高端微觀加工設備領域的技術創新成果，給參觀代表團留下了深刻印象。

中微公司堅持“技術創新、產品差異化及知識產權保護”的原則進行開發，開發了包括單臺機、雙臺機在內的三代、二十多種刻蝕設備，包括CCP高能等離子體和ICP低能等離子體刻蝕設備兩大類，覆蓋從65納米到5納米及更先進工藝的刻蝕應用。此次展會展示了刻蝕設備、導體和半導體化學薄膜設備，如MOCVD、LPCVD、ALD和EPI設備，這些設備已在行業占據領先地位。展會上，中微公司創意呈現的裸眼3D視頻給觀眾帶來了強大的視覺震撼效果，并通過多媒體展示、實物模型、融合海報等多樣化形式展示了中微公司在集成電路微觀加工高端設備領域的創新解決方案。

9月24日上午，中微公司副總裁、QEHS負責人沈曉敏在“2025上海集成電路ESG發展論壇”上發表了題為《從披露到賦能：ESG助力企業可持續發展》的主題演講。沈曉敏在演講中分享了中微公司在ESG領域的實踐與思考。他表示，作為半導體設備領軍企業，中微公司始終堅持合規運營，倡導產業鏈合作共贏，為行業樹立ESG實踐標桿。中微公司將ESG從報告披露層面逐步提升至戰略賦能高度，將可持續發展理念融入產品創新和運營管理全過程，推動企業高質量發展。

攀登勇者，志在巔峰，中微公司將瞄準“打造世界級裝備企業”戰略目標，不斷加大研發力度，持續夯實公司在高端微觀加工設備領域的核心競爭力，秉承“五個十大”的企業文化，堅持三維立體發展戰略，實現高速、穩定、健康和安全的高質量發展，力爭盡早成為高端設備平臺化公司，在規模上和競爭力上成為國際一流的半導體設備公司！

關于中微半導體設備（上海）股份有限公司

中微半導體設備（上海）股份有限公司（證券簡稱：中微公司，證券代碼：688012）致力于為全球集成電路和LED芯片制造商提供領先的加工設備和工藝技術解決方案。中微公司開發的CCP高能等離子體和ICP低能等離子體刻蝕兩大類、包括二十幾種細分刻蝕設備已可以覆蓋大多數刻蝕的應用。中微公司的等離子體刻蝕設備已被廣泛應用于國內和國際一線客戶，從65納米到5納米及更先進工藝的眾多刻蝕應用。中微公司最近十年著重開發多種導體和半導體化學薄膜設備，如MOCVD，LPCVD，ALD和EPI設備，并取得了可喜的進步。中微公司開發的用于LED和功率器件外延片生產的MOCVD設備早已在客戶生產線上投入量產，并在全球氮化鎵基LED MOCVD設備市場占據領先地位。此外，中微公司已全面布局光學和電子束量檢測設備，并開發多種泛半導體微觀加工設備。這些設備都是制造各種微觀器件的關鍵設備，可加工和檢測微米級和納米級的各種器件。這些微觀器件是現代數碼產業的基礎，它們正在改變人類的生產方式和生活方式。在美國TechInsights（原VLSI Research）近五年的全球半導體設備客戶滿意度調查中，中微公司四次獲得總評分第三，薄膜設備四次被評為第一。