芯片從設(shè)計(jì)到進(jìn)入市場(chǎng),都經(jīng)歷了層層測(cè)試與驗(yàn)證。當(dāng)芯片在使用過程中出現(xiàn)異常時(shí),如何快速、有效地鎖定問題來源,就成為失效分析FA的核心任務(wù)。在過往ic失效分析的檢測(cè)案例中,致晟光電的測(cè)試工程師往往第一時(shí)間選擇 IV曲線測(cè)試作為切入點(diǎn)。
那么,IV曲線測(cè)試到底測(cè)的是什么?
簡(jiǎn)單來說,IV曲線測(cè)試能夠在最短時(shí)間內(nèi)揭示芯片的電氣健康狀況。它就像是芯片的“心電圖”,電壓與電流之間的關(guān)系一旦出現(xiàn)偏差,曲線形態(tài)就會(huì)發(fā)生變化,從而讓工程師直觀發(fā)現(xiàn)潛在的異常。
IV曲線測(cè)試反映的是電流隨電壓變化的特征。對(duì)于二極管,它能清楚展示正向?qū)ㄅc反向截止的狀態(tài);對(duì)于MOSFET,它揭示閾值電壓、導(dǎo)通電阻和漏電流;在集成電路中,它則幫助判斷電源與引腳之間的電氣聯(lián)系。如果器件內(nèi)部存在缺陷,比如金屬互連的斷裂、PN結(jié)劣化或靜電放電造成的損傷,這些問題都會(huì)使IV曲線與“標(biāo)準(zhǔn)形態(tài)”產(chǎn)生明顯偏離。
選擇IV曲線測(cè)試作為IC失效分析的第一步,原因在于它的高效與直觀。通過一次簡(jiǎn)單的電氣測(cè)試,就能大致判斷失效模式:
1、若曲線幾乎無電流變化,可能是開路;
致晟光電iv測(cè)試
2、若電流在低電壓下迅速攀升,通常意味著短路;
致晟光電iv測(cè)試
3、若反向電流異常增加,則提示器件可能存在漏電或擊穿。
致晟光電iv測(cè)試
這樣的初步診斷,可以迅速鎖定問題類型,為后續(xù)更深入的分析提供了方向。在致晟光電的失效分析案例中,如果IV曲線揭示了短路特征,工程師會(huì)進(jìn)一步結(jié)合OBIRCH(研發(fā)中)等局部成像手段去尋找發(fā)熱點(diǎn);而若曲線顯示漏電趨勢(shì),則會(huì)利用熱紅外顯微鏡(鎖相紅外技術(shù))來精確定位擊穿點(diǎn)。
IV曲線的另一大價(jià)值在于對(duì)比性。工程師常將失效品與同批次良品的IV曲線進(jìn)行疊加,從差異中尋找線索:閾值電壓漂移可能指向工藝偏差或材料問題,導(dǎo)通電阻升高可能與熱應(yīng)力或老化相關(guān)。這種方法,就像醫(yī)生通過對(duì)比心電圖來判斷病因一樣,讓問題更快浮出水面。
當(dāng)然,IV曲線并非萬(wàn)能。它揭示的是電氣特性,而不是直接的物理缺陷。若要真正追溯根因,往往還需結(jié)合FIB、SEM或TEM等物理分析手段。但即便如此,IV曲線依然是失效分析不可替代的“第一關(guān)卡”——成本低、速度快,像一次常規(guī)體檢,雖然基礎(chǔ),卻能為后續(xù)復(fù)雜的“外科手術(shù)”指明方向。正因如此,致晟光電在IC失效分析體系中始終把IV曲線放在最前面。它不僅幫助工程師迅速勾勒出失效的整體輪廓,也為后續(xù)熱點(diǎn)失效減少?gòu)澛贰o論是功率器件、存儲(chǔ)芯片,還是模擬與數(shù)字IC,IV曲線幾乎都是繞不開的第一步。
審核編輯 黃宇
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