如果把芯片比作一幅平面雕刻作品，那么刻蝕機便是執行"原子削減術"的納米雕刻刀，而硅片上下料設備則是實現"硅片交響樂"的精密指揮家。

在這場精度達到頭發絲千分之一的制造革命中，每一個工藝節點都依賴著比人類神經更敏銳的感知系統——這正是明治傳感深耕多年的技術戰場。

本期小明就來和大家分享一下明治傳感在刻蝕設備以及硅片上下料中的只能傳感解決方案。

從實時監測靜電卡盤氣壓的MQ系列壓力傳感器，到實現2μm鍍層厚度檢測的MLD33-L30N激光位移傳感器；從10米超遠距離對射的光電傳感器陣列，到搭載AI算法的智能讀碼器系統，明治傳感正在重新定義半導體制造的精度邊界。

反應腔室與晶圓臺溫度檢測

溫度傳感器 TTS-20300A

應用場景：

刻蝕速率和材料特性對溫度敏感，因此需要溫度傳感器實時監測腔體溫度，避免因過熱導致材料變形或刻蝕速率不穩定

1.需要實時檢測且快速反應，因為溫度對材料影響很大

2.傳感器不能直接接觸晶圓，需采用非接觸式測量

3.腐蝕環境，需要傳感器防護性能較高

解決方案：

1、選用明治TTS系列溫度傳感器，非接觸式紅外測溫

2、測量范圍大，該系列最高可測800℃，這里可選用測量范圍-20℃-300℃的，重復精度高，測量值±1%

3、模擬電流、電壓可供選擇；可實時輸出數據，防止數值判斷延遲

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靜電卡盤氣壓監測

MQ-03DNH-485 數顯型氣壓表

應用場景:

監測卡盤與晶圓間的氦氣背壓，確保散熱和固定效果，需要實時檢測

解決方案:

1、選用明治數顯型氣壓表MQ系列，有高壓型、低壓型可供選擇，這里選擇高壓型，-101.3~101.3kPa的檢測范圍，開關響應速度最快 1ms

2、最大耐壓力500千帕

3、選擇485通訊輸出，可實時檢測數據

4、數顯型，調試簡單快捷

5、自帶安裝鈑金，安裝便捷

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載體ID管理

智能讀碼器 RCD-AI100-S

應用場景:

通過將 FOUP 料盒上粘貼的通用條碼標簽在加載端上自動讀取，可以簡單地實現點對點精確管理，并且可以降低成本，算法強大，可同時讀取多個條碼。

解決方案:

1、選用智能讀碼器RCD-AI100-S系列

2、液態變焦鏡頭，最大讀取速度60個/S；可以設置一個二維碼或者一維碼只讀取一次記錄防止多次讀取造成誤記錄影響品質判定

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檢測上端晶片有無

光纖傳感器 PE1+PT-32-DQ

應用場景：

檢測最上方晶片是否存在，以判斷是否滿料，在狹小的工位結構中，需要選擇體積小巧的傳感器以便于安裝

解決方案：

1、選擇纖細的光纖以便于安裝，對射式原理使得檢測的穩定性更佳

2、搭配PE1放大器，可進行16us的超高速檢測

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化學品液位高度控制

液位傳感器 CE30-26NO

應用場景：

當槽管內存在氣泡時，使用光學傳感器可能會造成誤判，

解決方案：

1、 可選用明治專用于管道液位檢測的電容式接近傳感器CE系列，即使管道內產生氣泡亦可穩定檢測

2、不受液體的顏色和密度影響，非接觸式的檢測方式也讓傳感器不必擔心化學品與傳感器發生反應影響檢測效果

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目標定位和距離測量

激光位移傳感器 MLD25-100N

應用場景：

此工位上需要實時精確測量每一片晶片高度

解決方案：

明治的這款激光位移傳感器有著65-135mm的大量程檢測距離，滿足實時監測晶片的任意位置

精度達到0.01mm，軟件功能輕松示教，提高了調試的便捷性。

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設備振動監測

振動傳感器 MJA394B-40

應用場景：

監測設備機械振動，避免因振動導致刻蝕圖案偏移

解決方案：

1、選用明治振動傳感器MJA系列，支持X、Y、Z軸多向測量，共振頻率高，分辨率/閾值<1mg(max)@ 1Hz

2、485通訊輸出，可實時檢測振動情況

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安全門防護

安全門鎖 AR3系列

應用場景：

檢測距離12mm，需要確保安全門關閉到位，常開型。當安全門打開后，設備停機；當安全門正常關閉后給PLC一個完成信號，設備正常運作。

解決方案：

1、可選用安全門鎖AR3系列

2、內置多觸點結構可供選擇，多種金屬頭部可選

4、鎖定力為1300N，抗強拉能力優越

5、IP67防護等級，防水防塵性能佳

6、標準鍍金接點，可用一般負或微小負載

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晶圓定位

非標視覺

應用場景：

需要判斷晶圓是否到位，是否正確裝載，防止機械臂碰撞

解決方案：

1.明治視覺方案團隊可根據項目不同現場情況搭配不同的硬件設備來達到檢測效果

2、多類通訊輸出可選

3、具備更強大的AI算法，檢測精準速度快

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硅片厚度測量

激光位移傳感器 MLD25-200NV

應用場景：

檢測多層硅片的高度，實現機器人多重精準取料

解決方案：

1、輸出方式多樣化，一個型號支持開關量、模擬量、RS485

2、重復精度高，30um

3、響應時間快，最快1.5ms

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硅片單雙張檢測

超聲波傳感器 MUD-60N-18-GL

應用場景：

硅片傳送過程中需要使用傳感器檢測物料是否多張，當產品疊料或者空料時需要給出對應的信號，機構進行疊料剔除或空料不進行下一步動作

解決方案：

1、可選用明治MUD系列超聲波傳感器檢測物料空料和單雙張，三種檢測模式可調，具有學習示教功能，可以快速調試適應現場多種規格物料檢測

2、檢測距離最遠可達60mm，即使物料的位置有一定差異以及抖動也不會影響實際的檢測效果

3、傳感器支持跳線示教，只需簡單設置即可完成示教，方便快捷

4、采用高頻檢測算法，響應時間最高可達6.5ms，可實現高頻檢測

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硅片到位識別

光電傳感器 PTE-TEM10NR

應用場景：

硅片傳送過程中需要使用傳感器可靠地檢測檢測物料是否到位

解決方案：

選用對射型光電傳感器PTE-TEM10NR系列，檢測距離為10米，靈敏度可調節，安裝調試方便

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硅片鍍層厚度測量

激光位移傳感器 MLD33-L30N-422

應用場景：

硅片傳送過程中需要使用傳感器檢測硅片鍍層厚度

解決方案：

1、可以選用正反射激光位移傳感器，可高精度測量高反光硅片物料的厚度

2、通過422通訊進通訊設置讀取數據

3、重復精度1um，線性精度3um

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在飛速發展的自動化行業，半導體制造的精度革命不再局限于設備本身，而在于如何讓“感知”成為創新的催化劑。與明治同行，您收獲的不僅是一套解決方案，更是一個持續進化的智能生態——這里，每一個傳感器的跳動，都在為行業的下一次躍遷積蓄能量。