很多人以為穿透式電子顯微鏡ＴＥＭ就是倍率比較高的掃描式電子顯微鏡ＳＥＭ，但其實ＴＥＭ擁有許多強大的應用，是科技業不可或缺的研發檢測工具。

TEM可提供以下幾種模式影像及成分分析:

?TEM Bright Field (BF明場像)/

Dark field (DF暗場像)/

High Resolution Image (HREM高解析影像)

?STEM Bright Field/ High Angle Annual Dark Field (HAADF) Image

?EDS Mapping/Line Scan/Probe Spectrum

?Selective Area Diffraction (SAD)

?Nano Beam Diffraction (NBD)

?EELS Mapping/Line Scan/Probe Spectrum (2026Q1推出)

季豐電子擁有非常完善的TEM設備，將會依客戶的需求提供有針對性的分析方法，若有需求可與我們聯絡。

今天主要介紹由同一個樣品呈現STEM的三種模式及 EDX Mapping給大家參考。

STEM是將電子束聚焦在一個點上，由多個點連成線，由線連成面的掃描方式進行，STEM模式最常用的三種模式是HAADF/BF/DF。

HAADF

HAADF(高角度環形暗場像)是掃描透射電子顯微鏡(STEM)模式下的一種成像技術，通過收集高角度散射電子形成原子序數(Z)依賴的襯度像。

因此，較重的元素產生較強的信號，從而產生更亮的對比度。相反，較輕的元素導致較暗的對比度。ZC(原子序數對比度)是其應用之一。

BF

BF圖像由質量厚度和衍射襯度組成，而放置在后焦明面的物鏡光圈僅允許直射光束通過。而圖像中可以看到具有暗對比度的結晶晶相，和HAADF像的襯度基本相反。

DF

DF是一種重要的透射電子顯微鏡(TEM)工作模式，通過選擇性收集散射電子束形成圖像，這種圖像可用于量測晶粒尺寸和缺陷，例如錯位、堆疊層錯及孿晶。

EDX

EDX即能量色散譜儀，是一種用于材料微區成分分析的儀器，通過檢測特征X射線的能量和強度，實現元素種類與含量的定性和定量分析。它常與掃描電子顯微鏡(SEM)或透射電子顯微鏡(TEM)聯用，在納米至微米尺度上進行成分表征。

該技術在檢測較重原子方面更為有效，配備尺寸小于5納米的TEM EDX電子光束，仍可以分析較輕的原子。

季豐電子

季豐電子成立于2008年，是一家聚焦半導體領域，深耕集成電路檢測相關的軟硬件研發及技術服務的賦能型平臺科技公司。公司業務分為四大板塊，分別為基礎實驗室、軟硬件開發、測試封裝和儀器設備，可為芯片設計、晶圓制造、封裝測試、材料裝備等半導體產業鏈和新能源領域公司提供一站式的檢測分析解決方案。

季豐電子通過國家級專精特新“小巨人”、國家高新技術企業、上海市“科技小巨人”、上海市企業技術中心、研發機構、公共服務平臺等企業資質認定，通過了ISO9001、 ISO/IEC17025、CMA、CNAS、IATF16949、ISO/IEC27001、ISO14001、ISO45001、ANSI/ESD S20.20等認證。公司員工超1000人，總部位于上海，在浙江、北京、深圳、成都等地設有子公司。