高架地板和華夫孔的比較分析-江蘇泊蘇系統集成有限公司

在最初電子工廠潔凈室系統中，尤其是在電子平板顯示器件潔凈室中，因為潔凈室潔凈程度相對較高，需要在潔凈室里設置垂直通風系統結構。在最初潔凈室系統中，地面結構通常設置成高架地板支撐系統，主要是通過可調節支架、橫梁、面板等部分組合，部分潔凈室對于地面承重程度要求相對較高，通常在高架地板下設置獨立工字鋼來作為高架地板的支撐調平結構。高架地板支架、橫梁、面板技術能力要達到設計要求以及我國現有規范規定。高架地板是通過支架、橫梁、面板組裝，水平地板和面板之間存在一定懸空空間，可用于走線或是回風。在目前電子顯示屏潔凈室中，出現華夫孔，它是一種新型垂直單向無塵室地板結構。華夫孔蓋板地板結構特征便是：地面可以通風、透氣性能好。功能結構與高架地板相似：一是作為新型地面材料進行承重，二是帶孔華星筒蓋板表面有空洞。可以達到潔凈室內部氣流循環。

2.高架地板

2.1高架地板介紹

高架地板可稱為防靜電樓板，也稱為分散式靜態樓板，即在接地時或與任何較低電勢點連接時，電荷可以分散。潔凈后可能導致某些器材損壞，軟件人員有時會錯認為這是軟件出現BUG，此外，當靜電通過身體發出計算機或其他設備時，當能量達到一定水平時，可能會出現打火狀態。高架地板形狀為矩形，基本上長寬呈60厘米*60厘米，地板厚度約為55mm-60mm，會有少量上下浮動。地板厚度因制造商而異，取決于軸承不同厚度。高架地板基材為模壓鋁合金，表層為2mm-3mm厚防靜電PVC板或1mm-2mm厚不銹鋼貼面。地板類型包括盲板、多孔板(即蜂窩板，開孔率為17%、25%)、格柵板(開孔率50%)和視窗板。視窗板下有工藝設備工藝所需氣體冷卻或工藝水閥，并提供可視板，操作人員在潔凈室中可以觀測并關閉或者開啟設備閥門。高架地板能承受80千克以上壓力[2]。

2.2高架地板安裝步驟

高架地板施工步驟包括立柱、橫梁、轉角接頭、地板系統、地板、測試和質量控制。安裝時現場實際溫度應控制在在5-35攝氏度之間，相對濕度應小于80%。地板在安裝過程中極易出錯，如沒有達到某一角度，因此需要在地板施工前進行預設，以防止由于重大安裝誤差而導致施工延期。在安裝中若出現現場邊角部分不契合現象時，可以對地板進行切割根據具體情況進行鑲嵌。配備可調節支架，在切割邊緣與墻面物體相交地，使用無灰塵軟材料進行填補。在安裝屋頂支撐結構之前，檢查水平高度，其前端必須符合設計要求，高度誤差范圍必須符合設計要求范圍內，建筑材料必須符合設計要求。如果設計中沒有特殊要求，

則必須滿足以下要求:空底板表面平整牢固，板與表面之間必須牢固，具有耐磨性、耐濕性和阻燃性。車架、線束和車鉤表面應光滑干凈，鋼件應采用鋅合金、塑料噴涂或其他防銹處理。防靜電性能指標、機械性能和外觀質量應符合SJ-10796防靜電地板通用規范要求。施工中具備基本設備和工具，包括切割機、平板、米尺、清洗打蠟機、測試電極和測試儀水平儀等。工具規格、性能和技術指標應符合施工技術要求。

2.3優點

（1）承重

高架地板承重能力強。潔凈間內人員在地板上行走、清潔。自動駕駛搬運車需要在高架地面上行駛，運輸產品。一些生產設施直接放置在地板上，給高架地板增加載重。承重是活動地板最重要功能之一，保障人員安全和設備安全。

（2）通風

天花板上裝有FFU，相當于高效過濾器，氣流從天花板向下流動，通過多孔板形成層流，最后進入下面兩層。使得潔凈間通氣足，減少潮濕和空氣流通不暢問題。保障設備不易生銹，工作人員呼吸通暢。

（3）防靜電

高架地板屬于耗散靜電地板，如果它接地或連接到較低電位點，它可以消散電荷并防止電子元件靜電放電。中國SJ/T10796-2001《抗靜電高架土壤通用規范》規定活動地板的表面電阻或體積電阻為 2.5*l04Ω- 1.0*109Ω。在潔凈間中設備和產品數量多，靜電會影響設備準確性和產品功能性。

2.4缺點

（1）易損傷

樓板邊緣的中心通常很弱，通常導致結構損傷。如果高地板支撐系統設計不好，地板的上升邊緣可能會在高壓下破碎下沉，這可以通過放置負載軸承梁來解決。

（2）薄弱

高架地板中間部分最弱，移動過程設備時，設備支撐腿會對樓板造成結構損傷，樓板表面會出現小坑。

3.華夫孔蓋板地板

3.1華夫孔蓋板介紹

華夫孔板樓板結構是近年來潔凈室的一種新樓板結構，主要由瓦片開孔、轉換環和蓋板組成。華夫孔板本身通常自帶開環，而且頂板表面具有抗靜電性能。因此在抗靜電測量中華夫孔板與高架地板系統具有相同抗靜電效果，但高架地板系統相比，華夫孔板安裝效果更好[4]。

3.2施工步驟

（1）準備建筑材料和工具

華夫孔板維修環、石英砂、滑石粉和環氧樹脂，攪拌器、櫥柜等。

（2）材質配置

根據配置系數將環氧樹脂、石英砂和滑石粉混合，然后將它們倒入攪拌槽中，以制造出環氧樹脂膠泥，注意必須在特定時間使用，否則會因硬化而損壞。

（3）涂抹

用刮刀刮除并覆蓋修補環底部環氧樹脂華夫格孔，以達到涂層均勻，不允許涂層泄漏，用量應根據實際情況確定。

（4）定位

用刮刀按壓華夫孔板修復環進行定位。

（5）設置

用橡膠錘輕輕敲擊，調整定位修復環周圍表面高度。標準高度必須在激光平面上監控，以適應基點。

3.2優點

（1）簡單

與高架地板施工相比，華夫孔施工過程比較簡單。

（2）價格低

一般來說，市場高架地板價格約為2500元/平方米左右。但是如果采用華夫孔覆蓋層結構，則價格應為1400元/平方米左右，與高架地板相比節約一半。

3.3缺點

（1）技術要求高

對施工技術要求高，環節瑣碎。

（2）需養護

需要進行養護，保養期間，嚴禁工人和物品掉在上面，并對其施加影響。

（3）環境要求高

施工環境和衛生要求較高，環氧樹脂膠泥需要隨時清理，禁止遺留。環氧樹脂膠泥硬化后難以清洗，對以后工作有很大影響。