解開半導體晶圓廠高架地板的面紗-江蘇泊蘇系統集成有限公司

晶圓廠高架地板，又稱為活動地板或防靜電地板，是一種特殊設計的地板系統，主要用于高科技制造環境，如半導體晶圓廠。高架地板也叫做耗散型靜電地板，高架地板主要是以可調支架、橫梁、面板等組合拼裝而成的。高架地板的材料通常具有防靜電特性，以保護敏感的半導體制造設備和微電子元件。晶圓廠的高架地板一般由聚氯乙烯（PVC）材料制成，并添加了防靜電劑。它們具有良好的防靜電性能、耐磨性和耐腐蝕性，適用于需要高度潔凈的生產環境。

高駕地板概述？

高架地板又叫做耗散型靜電地板。當它接地或連接到任何較低電位點時，使電荷能夠耗散，以電阻在10的5次方到10的9次方歐姆之間為特征。

由于種種原因而產生的靜電，是發生最頻繁，最難消除的危害之一。靜電不僅會對計算機運行出現隨機故障，誤動作或運算錯誤，而且還會導致某些元器件，如CMOS、MOS電路，雙級性電路等的擊穿和毀壞。此外靜電對計算機的外部設備也有明顯的影響。帶陰極射線管的顯示設備，當受到靜電干擾時，會引起圖像紊亂，模糊不請。靜電還將造成Modem、網卡、Fax等工作失常，打印機的走線不順等故障。

此外，靜電通過人體對精密設備放電時(即所謂的打火)當能量達到一定程度，也會給人以觸電的感覺。

高架電地板一般根據基材和貼面材料不同來劃分。基材有鋼基、鋁基、復合基、刨花板基（木基）、硫酸鈣基等。貼面材料有防靜電瓷磚、三聚氰胺（HPL）、PVC等。另外還有防靜電塑料地板、防靜電網絡地板等。高架地板主要是以可調支架、橫梁、面板等組合拼裝而成的。支架、橫梁、面板的技術性能應符合設計要求和國家現行規范規定。

架空防靜電地板是用支架、橫梁、面板組裝。水平地板和面板之間就有一定的懸空空間。就可以用來下走線及送風等在半導體廠是相當實用的。由于其良好的綜合性能、因此在市場上也非常受到歡迎。

高架地板的作用？電纜和管線管理：高架地板為晶圓廠內的電纜和管線提供了方便的管理方式。電纜、冷卻管線、氣體管道和其他設施都可以方便地安置在地板下，這樣有助于維持生產區域的整潔和安全。

防靜電：晶圓廠中的靜電可能會對微電子設備造成損害。高架地板的表面通常由防靜電材料制成，有助于消除靜電，保護敏感設備免受損害。空氣流通和空氣質量控制：晶圓廠需要維持極高的空氣質量，以防止微小顆粒對產品造成污染。高架地板有助于空氣在室內自由流動，并能與潔凈室的空氣過濾系統配合，有效地去除顆粒污染。振動控制：微電子制造過程對振動非常敏感，微小的振動都可能導致產品缺陷。高架地板可以幫助分散和吸收振動，提供穩定的生產環境。高架地板的結構？
穿孔面板：地板板塊的大小和形狀可以根據實際需求進行定制。晶圓廠穿孔面板是一種特殊類型的高架地板板塊，它在地板表面上設計有一定數量的小孔。穿孔面板為關鍵應用提供卓越的冷卻和通風。特別是在需要精確控制空氣質量和環境條件的潔凈室中十分需要穿孔面板。

支撐柱：這是一個垂直的、可調節的柱子，支撐上面提到的地板面板。面板用螺絲固定在每個角的鋼柱上（每個面板 4 個柱子）。如果需要，柱子通常使用環氧樹脂基粘合劑和機械固定件粘合到底層地板上。支撐柱是高架地板的基礎，通常由金屬制成，如鋼或鋁。它們將地板板塊支撐在一定高度，形成一個空間，用于容納電纜、管線等設施。立柱的高度取決于架空地板下要存放的電纜和其他服務的體積；典型高度介于 610 毫米和 1219 毫米之間。為了滿足低矮系統的工業需求，有些芯片廠已嘗試將活動地板的高度降低到 4 英寸（100毫米）。

橫梁：橫梁連接支撐柱，增強地板的穩定性和承重能力。它們以一定的間距穿過地板，形成一個穩定的框架結構。

防靜電接地系統：為了確保防靜電地板的有效性，需要將其連接到一個接地系統。接地系統可以將地板上產生的靜電有效地排放到地面，防止靜電對敏感設備和元器件造成損害。其他可選擇安裝的部件：當地板升高到足以讓人爬行甚至步行穿過時，通常需要額外的結構支撐、照明、滅火系統和電纜橋架系統等。

高價地板的性能特點？

1、全鋼組成，機械強度高、承載能力強、耐沖擊性能好；

2、表面靜電噴塑，柔光、耐磨、防水、防火、防塵、防腐蝕；

3、粘貼的裝飾高壓層板，耐磨性及防靜電性能優良、抗污染、便于清洗、裝飾性強；

4、尺寸精度高、互換性好、組裝靈活、維修方便、使用壽命長；

5、地板可任意切割，安裝附件方便；

6、四邊固定，安裝方便；

7、下部空間可作為空調通風用，也可配合通風板調節底層通風量；

8、對超重設備而言，只要在地板下增加支架，即能解決承載問題；

9、拆裝方便，只要更換裝飾貼面，就能重復使用；

10、安裝地插座時可根據地插座的規格進行開孔。適用范圍：全鋼地板適用在載重要求和防靜電要求較高的場合。

高架地板的技術指標？

電性能： 系統電阻10的6次方— 10的9次方歐姆靜電起電電壓 < 50伏

半衰時間 < 0.5

機械性能：均布載荷kg > 1600

極限集中載荷kg> 1000

撓度mm < 2

耐老化性：使用壽命60年以上

標準地板：600×600×30mm

防火性能：國家A級防火材料

耐磨性：0.1g/1000轉

高架地板的環境要求？

溫度10-30℃、相對濕度RH30-70%、

溫度變化率ΔT≤15℃/小時

震動：無經常的震動（源）

化學環境：無高腐蝕揮發物質

高架地板的施工工藝？

1 把要安裝高架地板的場地地面清理干凈，要求地面平整干燥。應是已經做好水泥沙漿找平的地面，高低差用2米水平尺測量小于4毫米

2、 在清潔好的地面彈線定位，目的確定好每個支架位置。

3 在定點位置安裝支架，安裝邊框并且調整好整個支架的高度。

4 支架橫梁裝配，同時調整橫梁水平，建議用激光水平儀，然后擰緊螺釘，固定好橫梁。

5 安裝活動地板，同時對活動地板修邊。

6 在地板安裝完后進行踢腳線安裝，保護及美化墻邊。

7、 施工完畢后清理地板表面。

高架地板的維護？

為了確保地板的性能和耐用性，需要定期進行維護和檢查。定期清潔地板表面，以去除灰塵、污漬和其他雜質。使用適當的清潔劑和設備，如微纖維拖把或防靜電掃帚，以防止對地板造成損壞。避免使用過量的水或強烈的化學清潔劑，因為它們可能損壞地板材料或導致防靜電性能降低。

遵守地板制造商指定的承重能力，避免在地板上放置過重的設備或物品。超載可能導致地板變形、損壞或失效。定期檢查防靜電接地系統，確保其有效性和穩定性。使用專業的測試儀器檢查地板的防靜電性能，并確保接地系統連接正常，以防止靜電對敏感設備和元器件造成損害。

如果需要對地板下的設施進行維修或更改，則需要特殊工具和有經驗的工人進行操作。一般用地板拉動器、吸力起重器等連接到單獨的面板上，然后用力提起即可。