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芯片封裝之鉬銅合金基板加工工藝優化與智凱中走絲技術的應用

jf_64684274 ? 來源:jf_64684274 ? 作者:jf_64684274 ? 2025-08-06 16:34 ? 次閱讀
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2025年全球芯片產業迎來高速發展,AI5G新能源汽車等需求推動市場突破6000億美元規模。
隨著芯片尺寸不斷縮小、集成度持續提高,芯片散熱問題變得變得尤為重要。

鍍銅鉬散熱基板屬于芯片生產中的封裝環節(即后道工藝),具體應用于熱管理模塊,主要功能是為高功率芯片(如CPUGPUIGBT等)提供高效散熱和熱膨脹匹配

鍍銅鉬散熱基板通過鉬芯(低熱膨脹系數5.1×10??/K)匹配芯片熱變形,紫銅鍍層(導熱400W/mK)快速導熱的復合設計實現高效散熱。其熱膨脹系數可調(8-10×10??/K),既避免芯片熱應力損傷,又保持高導熱性能(200-250W/mK),特別適合3D封裝和高功率芯片。銅層通過電鍍/熔滲工藝與鉬結合,在GPU/IGBT等器件中可降低結溫15-20℃,同時提升結構穩定性。

本文智凱數控小編,將會對ZKH450中走絲線切割機床在加工鉬銅材料中的電加工原理,設備選用,加工流程,加工參數設置,清潔方法及檢測等環節做詳細闡述,為加工廠家和試樣檢測機構提供參考。

一:電加工原理
中走絲線切割機床加工鉬銅的原理基于電火花放電蝕除:鉬絲(電極絲)在1.5~10m/s速度下往復運動,與鉬銅工件間保持0.01mm放電間隙,脈沖電源施加高壓產生火花放電,局部高溫(可達10000℃)使材料熔融汽化,工作液(如去離子水)沖刷蝕除顆粒并冷卻。

二:行業標準

1. 國家標準(中國)
GB/T 3876-2007《鉬及鉬合金板》
該標準規定了鉬及鉬合金板材的技術要求,適用于電子工業、航空航天等領域,但未專門針對鉬銅復合材料。

GB/T 4956-2003《金屬鍍層厚度測定方法》
適用于銅鍍層厚度的檢測,可間接用于鍍銅鉬散熱基板的質量控制。

2. 行業標準(中國)
YS/T 1546-2022《鉬銅合金板》
該標準由工業和信息化部發布,適用于變形退火態和熔滲態的鉬銅合金板,涉及電子封裝及散熱應用。

三:電加工設備
1.設備選擇
智凱ZKH450五軸數控線切割機床

2.設備參數
行程:有效加工行程350*450
錐度:±6°
最大加工效率:≥300mm2/H
表面光潔度:Ra0.8(多次切割)
精度:±0.003mm
系統:系統支持Windows7及以上操作系統
畫圖:支持多種畫圖文件導入
精度高:四軸螺距補償,五軸數控

三,加工流程
1.將基板表面測試干凈
2.專用夾具固定股基本
3.圖形導入
4.軟件點“開水”檢查是否正常
5.點“加工”一鍵開始運絲、高頻、沖水
6.開始加工中

四:參數設置

第一次試加工:
1.試加工材料
2.導入圖紙
3.設置參數
4.開機檢查后
5.開始加工
6.工件切割完成掉落
樣品1,失敗:如下圖
加工面有明顯變色、發黑、發藍等

wKgZPGiNb6KAb3NKAAfew60y5PE074.png

第二次試加工,
1.調整高頻電源程序
2.調整加工參數
3.繼續加工
4.成品OK,無灼燒、發黑變色等問題

wKgZO2iNb_iAQzpHAAHtK5G2FLA809.png

(參數圖)

wKgZO2iNcBKAJexrAAPCmcM_KmI691.png

(第二次切割成品)


五:樣品清潔
1.抹布:擦掉表面切削液和殘渣
2.清潔儀器:超聲波
3.用水:自來水或純凈水,不可添加草酸等


六:檢測工具

1.測量工具
2.千分尺和光潔度測試儀,
3.定期校準測試設備,確保測量精度
4.操作人員需經過專業培訓,熟悉標準要求。

以上就是小編介紹的有關于芯片封裝材料,鉬銅合金的加工分析相關內容了,希望可以給大家帶來幫助!如果您還想了解更多純鋁基板、傳統銅基板、石墨烯復合材料,視頻和操作步驟,線切割機床怎么使用視頻和圖解,使用步驟及注意事項、作業指導書,原理、怎么調參數和使用方法視頻,中走絲設備操作規范、使用方法和軟件操作視頻等問題,歡迎您關注我們,也可以給我們私信和留言,【智凱數控】小編將持續為大家分享推拉力測試機在鋰電池電阻、晶圓、硅晶片、IC半導體、ALMP封裝、微電子封裝、LED封裝、TO封裝等領域應用中可能遇到的問題及解決方案。

審核編輯 黃宇

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