導讀

在工業制造邁向高精度、智能化的進程中，聚焦離子束(FIB)技術作為一種前沿的納米級加工與分析手段，近年來在眾多領域嶄露頭角。在此背景下，廣電計量攜手南京大學、中國科學技術大學、上海交通大學、哈爾濱工業大學的科研精英共同編寫《聚焦離子束：失效分析》新書(下稱“專著”)，填補了國內聚焦離子束領域實踐性專業書籍的空白，為聚焦離子束技術發展與知識傳播提供了重要助力。

4月25日下午，由廣電計量、專著編著團隊聯合主辦，無錫廣電計量承辦的工業FIB發展研討會暨新書發布儀式在廣電計量華東檢測基地舉辦。來自半導體制造、材料研發、儀器儀表等領域的近百位行業專家、企業代表共聚一堂，圍繞FIB電鏡在顯微分析領域的應用展開交流，共同探討FIB技術應用方向和最新的發展趨勢。

江南大學智能制造學院院長李可，南京大學亞原子電鏡中心主任鄧昱，國儀量子技術(合肥)股份有限公司董事長賀羽，復旦大學物理學系教授鄭長林，東南大學教授尹奎波，上海交通大學研究員王英，哈爾濱工業大學分析測試中心副主任鄒永純，中國科學技術大學微納研究與制造中心主任助理汪林俊，江蘇省產業技術研究院高級工程師谷雨，廣電計量黨委副書記、總經理明志茂，廣電計量副總經理吳乃林、黃英齡、陸裕東等嘉賓出席會議。會議由廣電計量總經理助理、無錫廣電計量總經理儲程晨主持。

行業大咖共話FIB

技術發展新方向

陸裕東表示，設備國產化、技術能力、工程實操經驗是制約技術大規模應用的“卡脖子”三大因素，亟需行業各方共同努力。值專著發布之際，廣電計量搭建技術交流平臺，共同探討如何讓FIB技術從實驗室走向生產線，從“技術優勢”轉化為“產業勝勢”。未來，廣電計量將繼續推動 FIB 技術從單點突破到系統創新、從可用到好用，成為 FIB 技術領域的實踐者與推動者。

賀羽表示，國儀量子在過去一年在高端儀器設備領域實現多項技術能力突破，與企業、高校合作推動技術創新與產業落地。未來，國儀量子將以開放合作、技術賦能、人才共育的方式繼續助力FIB技術發展。

鄧昱表示，在行業爆發式發展態勢下，專著和行業標準發布將進一步完善技術規范，賦能行業更高效、科學地發展;與此同時，行業亟需高端設備和操作技術普及，以學術界與產業界的深度融合為紐帶，推動FIB新技術、新成果的轉化應用，為現代產業升級提供更強勁的創新驅動力。

權威專著首發

凝聚產學研用智慧結晶

《聚焦離子束：失效分析》是FIB技術應用領域的權威著作，由知名高校科研教授聯合廣電計量博士專家共同編撰，內容涵蓋了設備原理、制樣工藝、典型案例等全流程技術解析以及大量鮮活的實驗數據，凝聚了編者們對目前FIB技術應用的實踐總結，為從業者提供可落地的實操指南。

本次會議特別邀請鄧昱、王英、鄒永純、汪林俊、陸裕東、陳振等5位編著者與特邀嘉賓共同登臺揭曉這本凝聚產學研智慧的重磅著作。

具身智能研究院揭牌

護航產品全生命周期

2025 年《政府工作報告》首次將 “具身智能” 明確列為未來產業。這一重磅部署，不僅標志著我國人工智能發展從虛擬算法向物理世界深度融合的重大轉向，更預示著具身智能將成為重構全球產業競爭格局的核心力量。

廣電計量瞄準國家戰略需求，加速具身智能產業布局，揭牌成立《具身智能產業先進技術創新應用研究院》。該研究院由江南大學與廣電計量聯合建設，延續廣電計量FIB技術標準化、國產化探索，通過融合 AI 算法，推動傳統分析技術從“單點檢測” 跨越至“全鏈路智能診斷”。未來，廣電計量將構建覆蓋“芯片-算法-系統-裝備”全鏈條的綜合服務體系，為具身智能產品在復雜場景下的穩定性與可靠性提供全生命周期技術護航。

前沿技術分享

探索 FIB 應用多元場景

本次會議邀請了5位來自編著團隊和高校的科研專家教授，聚焦先進制程芯片解剖、微納加工技術及發展趨勢、半導體材料與器件電鏡表征、納米器件、材料表界面與原位表征等領域的前沿應用，結合技術應用分享技術難點解決方案，展現了FIB技術在半導體產業鏈從設計研發、制造封測到失效分析的全生命周期賦能，加速FIB技術從實驗室走向產業應用的 “最后一公里”。

五場干貨滿滿的技術報告后，由鄧昱老師主持開放論壇環節。嘉賓們圍繞行業熱點展開深度思辨，聚焦AI智能在FIB技術中的應用現狀和實際場景、FIB技術行業標準發布對于半導體行業發展的指導意義、FIB、SEM、TEM等技術在先進制程集成電路應用中的發展趨勢等話題進行踴躍交流。

此外，論壇還組織了實驗室參觀環節，帶領與會嘉賓走進廣電計量無錫實驗室，零距離體驗先進檢測技術和設備，與一線技術人員進行互動交流。

錨定產業新機遇

共繪 FIB 技術發展藍圖

在 “十四五” 規劃對先進制造與具身智能的戰略布局下，FIB 技術作為支撐 “中國智造” 的核心底層技術，已成突破高端裝備 “卡脖子” 難題的必爭之地。廣電計量作為國內半導體一站式測試分析技術解決方案提供商，將以專著發布及研究院成立為起點，持續推進 FIB 技術標準化及國產化，攜手產業鏈上下游深化技術研發、設備迭代、生態共建合作，為高端制造產業升級注入更強動力!