圖1. 濱松LCOS-SLM在激光加工的應用方案

隨著激光加工技術的不斷發展，超快激光加工已經成為激光精密加工中最為重要的一部分，被廣泛應用到微電子器件，超表面結構，微流體，半導體等領域。傳統的單點聚焦加工方式，存在加工區域小，效率低等問題，限制了很多精密加工應用，而空間光調制器可以為這些問題提供有效的解決方案。

空間光調制器可以對激光光束的振幅、相位或者偏振等光學參數進行調控，配合合理的光路設計，在材料加工區域得到任意的光場分布，例如多焦點并行加工、像差及球差校正和三維光場調控等，從而提高超快激光微加工的精度和效率。

濱松一直致力于LCOS-SLM的研發和創新。濱松的LCOS-SLM具有線性度好、相位穩定性好的優點，其極高的損傷閾值一直處于市場遙遙領先地位，而且已經在激光加工領域被廣泛批量應用驗證。

圖2. 濱松LCOS-SLM X15213系列產品

LCOS-SLM在超快激光加工中的應用效果，不僅于LCOS-SLM的自身參數相關，也與光路設計以及算法息息相關。但是對于很多用戶來說，算法設計有一定難度，算法設計需要豐富的光學，數學，軟件，激光工藝等經驗。濱松工程師團隊對SLM的算法進行細致的優化和升級，給出了一系列的算法解決方案，來幫助工業用戶更靈活，更快速的上手使用濱松的LCOS-SLM。

圖3. 濱松提供的免費和收費算法

圖4. 濱松算法軟件

圖4是濱松工程師開發的算法軟件，用戶只用輸入需要目標圖像的參數，就可以自動生成相位圖，然后把相位圖導入到濱松SLM的控制軟件即可使用，而不用學習研究復雜的光學算法來計算相位圖。

審核編輯 黃宇