隨著人工智能、新能源汽車、物聯網等新興領域的蓬勃推進，寬禁帶半導體材料——尤其是碳化硅（SiC）與氮化鎵（GaN）——憑借其卓越性能迎來了迅猛的發展勢頭。為了深入剖析并精確測量這些先進器件的各項參數及特性，進而提升其效率與可靠性，聯訊儀器最新推出了10x24高壓低漏電開關矩陣——RM1013-HV，能夠在小于300pA的偏置電流滿足3000V高壓測量，完成各種高精度的半導體表征測試。

01，高精度自動測量

聯訊儀器最新推出了10x24高壓低漏電開關矩陣——RM1013-HV，能夠在小于300pA的偏置電流滿足3000V高壓測量，可配合高精度SMU完成各種功率半導體的表征測試。

▲RM1013-HV高壓低泄漏開關矩陣框圖

多路高壓靈活測量

支持2路高壓低泄漏電流通道輸入，整機支持10路輸入和24路輸出，提高參數測量的靈活性，節省成本和時間。可配合SMU/CMU/DMM等測量設備實現一套高效的半導體參數自動測試系統。

高壓低泄漏電流

矩陣低泄漏電流小于300pA@3000V（高壓低泄漏電流通道），可配合高精度的SMU （如S3030F等）實現高精度自動測量。

支持快速測量

開關矩陣電流建立時間小于10秒（1V電壓輸入開始到電流<300fA的時間），可配合SMU （如S3030F，S2016C等）實現微弱電流信號的快速測量。

高繼電器觸點壽命

開關矩陣使用世界一流的干簧管制作的繼電器，機械壽命最高可達10^8次。

10MHz帶寬

開關矩陣優化了C-V和DMM通道的傳輸帶寬，滿足高速測試的需求。

控制連接

支持通過USB線纜或LAN直接連接至RM1013-HV，實現通道閉合斷開的控制。可以通過編程(SCPI 指令)或GUI界面控制。界面GUI非常直觀和簡潔，可輕松配置通道的閉合、斷開進行測量。

▲矩陣控制軟件GUI

02，通道配置

03，典型應用場景

使用高壓低漏電開關矩陣可以與源表/高壓源表/LCR meter/數字萬用表等儀表無縫集成，組成強大的功率器件I-V、C-V參數自動化測試系統。可以高效測量MOSFET/IGBT/BJT/Diode/電容/電阻等器件的I-V、C-V各項特征參數，例如MOSFET 的BVdss、Off-leak/Id(off)-Vds、 Id-Vds等。不同器件及不同測量項目之間通過編程控制自動進行連接路徑切換，一站式完成測量。

▲矩陣路徑切換示意圖

在半導體功率器件測試中通常需要測量Ciss/Coss/Crss等高壓電容參數。高壓電容測量與I-V測量之間的路徑切換一直是測試中的難點，高壓切換矩陣中內置了可切換的高壓電容測量偏置電路(HV Bias Tee)，可以有效地解決這個問題。

▲SiC MOSFET 電容特性 ▲電容等效模型

審核編輯 黃宇