Plasma等離子清洗技術在微電子、光電子以及印刷電路工業等領域都有著廣泛的應用，季豐電子極速封裝部，已經為多家客戶提供了優質的極速封裝服務。

為了提供更加優質可靠的封裝樣品供客戶測試，季豐配置了業內先進的在線式射頻等離子清洗機，在多種封裝外形上都配置了Plasma清洗工藝。

什么是Plasma清洗？

等離子清洗是在真空或低壓環境下進行的。通過向特定的反應腔室中通入氣體（如氧氣、氬氣、氫氣等），然后利用射頻（RF）、微波或其他能源激發這些氣體，使其電離形成等離子體。例如，當射頻電源接通后，射頻電場加速電子，使氣體分子碰撞并發生電離，產生等離子體。

等離子體是物質的第四態（固態、液態、氣態、等離子態），它包含離子、電子、自由基和中性粒子等多種成分。這些活性粒子具有較高的能量，可以與材料表面的物質發生物理和化學作用。

等離子體=電漿=Plasma

Plasma在封裝中的應用

通過Plasma清洗，可以改善許多半導體制造中許多工藝問題：

■ 芯片的不良粘結（Poor Die Attach）

■不良的鍵合強度（Poor Wire Bond Strength）

■ 不良的覆晶填料（Flip Chip Underfill）

■ 塑封體分層（Delamination）

■ 印刷電路板孔殘留（Smearing in Printed Circuit Boards）

通過等離子清洗，可以：

■ 去除一些Pad表面氧化物、污染物（Contamination Removal）改善導線與Pad的焊接

■ 表面活化（Surface Activation）

改善芯片與基材的粘結

改善塑封體與基板框架之間的分層

改善Underfill工藝中空洞（Void）、芯吸速度（Wicking Speed）等問題，促進粘附

■ 去除印刷電路板（PCB）中的沾污

層壓材料（環氧樹脂）會沾污在內層金屬導線邊緣過孔處，后續的鍍覆必須實現所有導線的電氣連接，所以必須去除沾污的樹脂以確保良好的電接觸，等離子體處理可去除環氧樹脂

Plasma清洗除了可以處理以上問題外，還有較多優點：

■ 等離子體密度高，無放電電極

■ 不會侵蝕被清洗材料

■ 大抽速真空泵，快速抽真空，避免污染沉積（二次污染）

■ 等離子體無偏壓，無電性損壞，尤其對電敏感器件友好

Plasma清洗效果的檢驗手段

水滴角測試

Plasma清洗效果的檢驗手段

焊線WBP WBS強度測試

GIGA FORCE