編者按：西安交大蔣莊德院士是我國高端MEMS（微機電系統）傳感技術的開拓者和帶頭人，他因在此領域的杰出貢獻榮獲2014年何梁何利基金獎的“科學與技術進步獎”。《中國科學報》進校專訪蔣莊德院士，并刊登了本報記者張行勇、通訊員劉昱含撰寫的文章“蔣莊德 從‘零的突破'到‘高端領跑'”。

MEMS從“零的突破”到“高端領跑”，這位2014年度何梁何利獎得主花了整整二十年。蔣莊德的心得是：“做學問、做研究切忌跟風，要不受各種‘熱鬧’干擾方可。只有坐得住，才能立得穩。”

愈深厚，愈親切——這是許多人在接觸學科“大牛”都會有的感受，而這也正是中國工程院院士、西安交通大學教授蔣莊德給很多人的感覺。這位獲得2014年度何梁何利基金“科學與技術進步獎”的學者，接受了《中國科學報》記者的專訪。在位于西安交通大學曲江校區“高端制造裝備協同創新中心”微納芯片、傳感器研發實驗室外的展柜前，蔣莊德親自介紹了團隊近些年在微機電系統（MEMS）和納米技術領域取得的成果，順便科普了不少學科基礎知識。

蔣莊德長期從事微納制造和精密測量技術等方面的研究，在耐高溫壓力傳感器及系列MEMS器件、數字化精密測量技術與裝備的工程科技領域作出了重要貢獻，并在微納米技術相關基礎理論等方面開展了創新性研究。在微納制造技術領域，他主持研制的耐高溫壓力傳感器及系列MEMS器件，解決了航空航天、軍工、石化、先進制造等領域高溫惡劣環境下的壓力/加速度測量難題，打破了國外的技術封鎖和壟斷，并將MEMS產品推向工程應用，引領和帶動了高端MEMS傳感器技術的發展。

2013年當選中國工程院機械與運載工程學部院士的他，如今依然將自己看作后生晚輩。他對記者說：“還是多采訪報道西安交大的老教授們，他們是我的老師和前輩，默默無聞、踏踏實實地在西部奉獻一生，更令人敬佩！”

曙光總在困難后

1977年，22歲的蔣莊德從西安交大機械制造專業畢業后留校任教。后獲西安交通大學機械制造專業工學碩士學位和英國伯明翰大學機械工程專業博士學位。

上世紀90年代初，MEMS和納米技術成為世界高新科技競爭的制高點。美國早在上世紀80年代就聲稱世界已進入傳感器時代，日本工商界人士聲稱《支配了傳感器技術就能夠支配新時代》。

當時已經留校任教的蔣莊德，敏銳地意識到了這一發展趨勢和巨大潛力。1993年，他率先向學校提交了《關于立即開展納米技術和微型機械研究的報告》。

然而，作為機械、電子等學科的交叉領域，MEMS和納米技術研究當時在國內屬于新興領域，西安交大并沒有任何基礎，基本處于無資金、無隊伍、無專業實驗室的“三無”狀態。最終，學校提供了兩萬塊錢作為啟動資金，支持蔣莊德開展全新的探索性研究。

蔣莊德從驪山微電子公司買了一批二手設備，自己動手在實驗室搭了一個簡易暗室，推板車、安設備，除了上課就泡在實驗室里；走流程、摸工藝，即使條件非常有限，他還是一次次重復，力求做到更好、做到極致。后來組織幾位研究生成立了首個科研小組，大家齊心協力，在一個完全陌生的領域中邊學邊做。在姚熹院士“贊助”的實驗室里奮戰了幾個月，最終成功研制了分度圓直徑為300微米的硅基漸開線齒輪和陣列式硅微傳感器。

隨著研究前景的日益明晰，蔣莊德獲得了越來越多的支持：國家自然科學基金、國防青年基金、教育部博士點基金、國家重點實驗室基金……特別是在學校的支持下，團隊終于結束了“借殼”生活，從中科院化學所購置了掃描隧道顯微鏡（STM）等儀器設備，擁有了一個50平方米左右的超凈實驗室。

最艱苦的時期在日后回憶起來往往是最珍貴的記憶，回想初創時期的種種艱辛，蔣莊德心生感慨：“盡管隨之而來的是在研發過程中遇到的各種技術難題與瓶頸，但咬牙挺過困難時期必定會出現曙光。這是自己的體會。”

十年基礎，十年應用

有了硬件設備的支持，蔣莊德在MEMS和納米技術領域的研究一路高歌猛進。2000年，國家“863”計劃先進制造技術領域預研項目001號“耐高溫壓力傳感器”進行招標，全國共有8家科研單位競標，幾乎全部是行業翹楚。蔣莊德所帶領的團隊一舉奪魁，并在一年的時間里順利結項，獲得了高度認可。后來科技部的相關重點項目也由蔣莊德帶領的團隊領銜。

在突破了一系列技術難題之后，蔣莊德團隊開發了具有自主知識產權的MEMS耐高溫、耐高壓、高過載、超高g值和集成傳感器等系列產品，不僅打破了國外的技術封鎖與壟斷，而且將很多項目成果實現產業化，廣泛應用于航空航天、兵器、船總、石化等不同領域的數百家軍工和民用企業。

從“零的突破”到“高端領跑”，蔣莊德花了整整二十年。“十年基礎、十年應用”，盡管當中也是一波三折，卻也總算是守得云開見月明。說起這種堅持到底的態度和動力從何而來，他的答案是這是西安交大的老前輩們傳承給自己的“基因”——既要有“扎下去”的科學精神，也要有“走出去”的戰略眼光。

既是師長、也是“老搭檔”的盧秉恒院士是蔣莊德20多年科研路的見證者，他也感慨于“老搭檔”的這股子韌勁兒：“他20多年來的研究，突破了MEMS器件能看不能動、能動不能用的困局，終于在國內率先將微機電系統傳感器技術推向工程應用。”

總結這20多年來的經驗心得，蔣莊德的答案和他從前輩那兒學到的一脈相承：“做學問、做研究切忌跟風，要不受各種‘熱鬧’干擾方可。只有坐得住，才能立得穩。”

承前啟后，砥礪品行

個人價值唯有在團隊支持下才能得以升華，這是蔣莊德一直以來堅持的觀點。他總是感恩于前輩和學校對起步階段的自己所給予的支持，而現在，他也像自己的前輩一樣支持自己的學生——“這是一種精神的傳承”。

周惠久、謝友柏、汪應洛、屈梁生、盧秉恒、蔣莊德——六人都是從西安交通大學機械學科教師中產生的院士。回憶起與老師交往的細節，蔣莊德至今歷歷在目，與屈梁生先生深夜討論、與盧秉恒院士在車間同甘共苦……其中讓蔣莊德印象特別深刻的是，當時站講臺可謂是“要求很高”：正式上課前必須試講，被老師們挑了一堆毛病后至少改個兩三遍。這些砥礪磨煉和耳濡目染，將求真求實、淡泊名利的傳統學者精神，徹徹底底地“種”到了蔣莊德身上。

蔣莊德格外重視對青年教師的培養。1999年師從蔣莊德的趙玉龍，如今已是國家杰出青年基金獲得者、教育部長江學者特聘教授。1992年至今，蔣莊德培養的研究生已超百名，其中很多如今都已經成為領域內的耀眼“明星”。

“畫好了道，你們只管往前跑，甩開膀子，別有壓力和顧慮。”這是現今身為長者的蔣莊德經常對學生們說的話。

1999年師從蔣莊德的趙玉龍，如今已是國家杰出青年基金獲得者、教育部長江學者特聘教授。蔣莊德培養畢業的博士和碩士生已超過百人，包括國家杰出青年基金獲得者、教育部長江學者特聘教授、中組部“萬人計劃”科技創新領軍人才、中組部青年千人、全國百篇優博獲得者、陜西省三秦學者和科技新星及教育部新世紀優秀人才等。