12月11日，中關村天合寬禁帶半導體技術創新聯盟（以下簡稱“寬禁帶聯盟”）團體標準評審會在北京市大興區天榮街9號世農大廈3層會議室順利召開。此次評審會包含《碳化硅單晶》等四項團體標準送審稿審定及《碳化硅混合模塊產品檢測方法》等四項團體標準草案討論兩部分內容。

會議由寬禁帶聯盟秘書長陸敏博士主持，中國科學院半導體研究所劉忠立教授、北京天科合達半導體股份有限公司常務副總彭同華博士、北京三平泰克科技有限責任公司常務副總鄭紅軍、中國科學院電工研究所研究員寧圃奇博士、東莞天域半導體科技有限公司研發部經理張新河博士、中國科學院電工研究所實驗室技術負責人張瑾、中國科學院微電子研究所副研究員許恒宇博士、北方微電子基地設備工藝研究中心有限公司WBG事業部副總經理鮑慧強博士、北京華進創威電子有限公司課題組長何麗娟、北京天科合達半導體股份有限公司研發中心主任劉春俊博士、全球能源互聯網研究院高級開發工程師鈕應喜、瀚天天成電子科技（廈門）有限公司質量部副經理陳志霞等寬禁帶聯盟標準化委員會委員及團體標準參與單位代表參加了本次會議。

參會人員合影

評審會現場

寬禁帶聯盟標準化委員會2017年下半年共收到來自北京天科合達半導體股份有限公司、瀚天天成電子科技（廈門）有限公司、中國科學院電工研究所、全球能源互聯網研究院四個牽頭單位團體標準送審稿審定申請。12月11日上午，各申請單位代表對送審稿的主要內容進行了詳細介紹，與會專家進行了逐條討論，從引用文件、術語定義、技術要求和試驗方法等給予了各單位中肯的建議，最后與會專家一致同意以下4項團體標準送審稿通過審定：（1）《碳化硅單晶》（牽頭起草單位：北京天科合達半導體股份有限公司）；（2）《碳化硅外延片表面缺陷測試方法》（牽頭起草單位：全球能源互聯網研究院）；（3）《碳化硅外延層載流子濃度測定-汞探針電容-電壓法》（牽頭起草單位：中國科學院電工研究所）；（4）《電動汽車用功率半導體器件可靠性試驗通用要求及試驗方法》（牽頭起草單位：瀚天天成電子科技（廈門）有限公司）。與會代表建議起草單位吸收本次會議專家的修改意見后盡快形成報批稿，上報寬禁帶聯盟標準化委員會秘書處審批，作為聯盟團體標準頒布實施。

參會代表發言

截至2017年12月11日，2017年立項的4項團體標準起草單位都已在規定時間內向寬禁帶聯盟標準化委員會提交了標準草案。12月11日下午，寬禁帶聯盟標準化委員會組織專家討論了此4項團體標準草案：《碳化硅混合模塊產品檢測方法》、《碳化硅單晶拋光片位錯密度測試方法》、《6英寸碳化硅單晶拋光片》、《4H碳化硅同質外延層厚度的紅外反射測量方法》。與會專家對4項標準草案的內容進行了逐條討論，從標準的適用范圍、術語定義到標準的結構、內容、格式等提出了許多科學合理、嚴謹專業的建議，各標準起草單位代表認真聽取并采納了專家的建議。針對本次討論會的建議，各起草單位表示將進一步修改和完善標準內容，盡快形成征求意見稿，按照標準制定工作計劃進度要求，有條不紊地推動標準工作，以制訂出高質量的碳化硅產業團體標準，響應國家標準化改革方案，為推進團體標準事業做出應有的貢獻。