3D白光干涉輪廓儀 WLI-1000 原理

照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分成兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個(gè)表面反射的兩束光相互干涉，在大靶面黑白相機(jī)感光面會(huì)觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，根據(jù)白光干涉條紋明暗度以及干涉條紋出現(xiàn)的位置計(jì)算出被測(cè)樣品的相對(duì)高度，從而得到樣品表面的三維尺寸信息。

3D白光干涉輪廓儀 WLI-1000 介紹

3D白光干涉輪廓儀 WLI-1000提供了強(qiáng)?、多功能的?接觸式光學(xué)表?分析。它可以簡(jiǎn)單和快速地測(cè)量各種表?類型，包括光滑、粗糙、平坦、傾斜和階梯式的表?。所有的測(cè)量都是?損、快速、?需樣品制備的。所有放?倍數(shù)下實(shí)現(xiàn)亞納?的精度，并且能夠快速準(zhǔn)確的測(cè)試各種樣品表?，為客?提供?投資回報(bào)率的體驗(yàn)。

3D白光干涉輪廓儀 WLI-1000 特點(diǎn)

1、表征微觀形貌的粗糙度測(cè)量；

2、臺(tái)階高、角度等輪廓尺寸測(cè)量；

3、自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能；

4、校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等數(shù)據(jù)處理功能；

5、對(duì)比分析和多文件分析等輔助分析功能。

3D白光干涉輪廓儀 WLI-1000 參數(shù)

3D白光干涉輪廓儀 WLI-1000 測(cè)量案例