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白光干涉儀(光學3D表面輪廓儀)能測什么?應用案例介紹

中圖儀器 ? 2023-06-16 11:53 ? 次閱讀
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白光干涉儀是以白光干涉技術原理,對各種精密器件表面進行納米級測量的光學3D表面輪廓測量儀,通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌,專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。

SuperViewW系列白光干涉儀(光學3D表面輪廓儀)能對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

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應用案例

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