白光干涉儀屬于精度高達到亞納米級別的檢測儀器，對使用的現(xiàn)場環(huán)境（地面振動、空氣中聲波振動）比較敏感，因此中圖的光學3d表面輪廓儀底下都是加了氣浮平臺進行隔振的。

光學3d表面輪廓儀是干嘛的？

中圖儀器光學3d表面輪廓儀應用領域廣泛，操作簡便，可自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)。為工件的微觀三維形貌和表面特征分析提供可靠依據(jù)，降低了勞動強度，提髙了生產(chǎn)效率。

產(chǎn)品性能特征

1、高精度、高重復性

3D重建算法、精密Z向掃描模塊和光學干涉技術組成的測量系統(tǒng)，以及能有效隔離2Hz以上頻率的隔振系統(tǒng)，保證了測量精度和測量重復性。

2、一體化操作的測量分析軟件

測量數(shù)據(jù)自動統(tǒng)計，可視化窗口，結(jié)合自定義分析模板的自動化測量功能，實現(xiàn)了快速批量測量的功能，自動完成多區(qū)域的測量與分析過程。

3、精密操縱手柄

集成X、Y、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成Z向聚焦、載物臺平移、找條紋等測量前工作。

4、雙重防撞保護措施

（1）軟件防撞保護ZSTOP

即在Z軸上設置停止位，設置位置到樣品表面的距離小于鏡頭的工作距離，當鏡頭運動到該位置時，就立刻停止不再向下運動，起到保護樣品和鏡頭的作用。

（2）Z軸硬件防撞傳感器

在鏡頭的上方安裝有機械防撞傳感器，當鏡頭向下位移與樣品表面直接接觸時，觸發(fā)感應器，鏡頭與樣品表面變?yōu)檐浗佑|，并觸發(fā)緊急停止開關，不再響應向下位移的指令，避免鏡頭和樣品的損傷，雙重防護，守護設備和產(chǎn)品，也守護每一分價值和信任。