與其他類型的連續激光器相比，光泵半導體激光器 (OPSL) 技術有許多優勢，包括波長的靈活性。 特別是OPSL打破了傳統技術的限制，可以通過設計與應用的波長要求相匹配。

不折不扣的波長靈活性

光泵半導體激光器 (OPSL) 是一項獨有的技術，它結合了激光二極管、DPSS(半導體泵浦固態)和離子激光器的優異屬性，同時消除了它們的一些限制。 例如，許多離子氣體激光器和第一代半導體泵浦固態激光器都能夠產生許多應用所需的高質量 TEM00 模式的輸出光束，這些應用包括共聚焦顯微分析、流式細胞儀和全息攝影術。 遺憾的是，它們的輸出波長限制在由增益材料決定的少數發射線上，例如，離子激光器為 488 nm，而 DPSS 激光器為 1064 nm(及其諧波)。 因此在過去，主要應用都要適應這些固定波長，有時甚至無法得到充分優化，最明顯的是生命科學應用中的 488 nm 波長。 另一方面，基于二元和三元半導體的二極管激光器可以制造出來，在不斷擴大的可見光和近紅外波長范圍內工作。 然而，這些設備通常是所謂的邊緣發射器，光是從一個不對稱的小(微米級)輸出面發射出來的。 因此，輸出光高度發散、不對稱、不受衍射限制而且往往會發生散光。 因此，對于任何需要常規光束屬性的應用，都需要適應多種光學器件來重塑光束并對其進行空間過濾。 此外，小輸出面高強度意味著功率擴展受到限制，通常需要多個發射器排列成條狀或陣列。 這不利于需要高度準直或聚焦光束的應用。

OPSL 是一種獨特的激光器架構，兼具激光二極管的波長靈活性和傳統激光器的卓越光束特性。 此外，它還具有其他重要優勢，如功率的可擴展性。

OPSL 架構

OPSL 是一種垂直腔面發射激光器 (VCSEL)。 在常規 VCSEL 中，光是垂直于結點從二極管芯片的表面發射出來的，而不是從邊緣發出的。 較大的輸出孔徑形成了發散較低的光束，而且光束也可以是對稱的。 遺憾的是，電泵浦 VCSEL 不能產生邊緣發射器的高功率，因為沒有辦法在不使用擴展電極的情況下用電荷載流子淹沒一個大的區域，這樣會帶來太多的光損耗。 然而，通過用二極管激光器對設備進行光學泵浦以產生電荷載體，可以避免這個問題 — 這是Coherent的專利方法。 這就是 OPSL 的基礎。

圖 1：OPSL 中主要功能部件的示意圖。

圖 1 是一個簡化的示意圖，顯示了 OPSL 的主要元件。 來自直接耦合單個發射器或光纖耦合激光二極管陣列的泵浦光被重新成像到 OPSL 芯片的前表面。 這種單片 III-V 族半導體芯片包含多層三元量子阱 (InGaAs)，與二元 (GaAs) 層交替排列。 這些二元層經過優化，可以高效地吸收泵浦輻射，從而產生大量電荷載體。 這會在量子阱中引起粒子數反轉和重組，從而導致受激激光發射。 在這些吸收/發射層的后面是幾個交替排列的高折射率層和低折射率層，它們充當低損耗 DBR(分布式布拉格反射器)鏡，專為所需的 OPSL 輸出波長進行了優化。 半導體芯片安裝在一個散熱器上，以便對其整個后表面進行高效冷卻。

OPSL 波長控制

與其他基于半導體的激光器一樣，OPSL 的發射波長由量子阱結構的化學計量和物理尺寸決定。 因此，通過改變這些量子阱的組成和尺寸，OPSL 芯片可以根據應用的需要，定制不同的特定輸出波長 — 見圖 2。

圖 2：Coherent提供眾多標準波長的 OPSL，并為 OEM 生產定制波長的 OPSL。

大多數Coherent的 OPSL 都在腔內加入了一個雙折射濾光器。 這解決了大多數二極管激光器的兩個典型特性，包括 OPS 芯片。 首先，與基于原子發射的激光器(如氬離子激光器)相比，這種增益芯片可以在更大的波長范圍內發射光。 此外，不同芯片的中心波長略有不同，也正是因為這個原因，激光二極管制造商在客戶選擇窄波長窗口的激光二極管時要收取一定的費用。 雙折射濾光器是一種窄帶腔內濾光器，其傳輸波長在工廠通過圍繞其法軸旋轉進行設置。 這個濾光器用于將發射限制在一個窄帶內 — 在某些型號中是單一的縱向模式 — 同時還能將輸出精確設置為目標波長。

Coherent的 OPSL 基于 InGaAs 增益芯片。 這是因為它們是超可靠、壽命超長、功率特性超高的二極管。 這種類型的量子阱器件可以設計成在極大的近紅外范圍內產生激光發射。 然后通過使用腔內倍頻晶體將其有效地轉換為可見光輸出。 而對于需要紫外線輸出的應用，一些 OPSL 還配備了一對腔內晶體，以實現三倍頻。

波長靈活性的價值

在 OPSL 技術出現之前，如果應用中需要毫瓦級到瓦級連續 (CW) 輸出的可見光或紫外光激光，就不得不使用一個現有的固定波長。 起初，固定波長是離子氣體激光器的發射譜線，如氬離子激光器的 488 nm 和 514 nm 譜線。 然后 1064 nm 的 DPSS 激光器(腔內倍增至 532 nm)開始廣泛使用。 可見光譜中存在很大的空白，沒有簡單的激光器可用，特別是在光譜的黃色和橙色部分。 盡管對這些光譜區域的激光器的需求日益增長，在生命科學領域尤其明顯，但是能夠提供的解決方案只有使用基于低效弱發射譜線復雜混合方案的氪離子激光器、染料激光器或固體激光器。 因此，需要這些波長的應用往往要做出妥協，以匹配其中一個可用的激光波長。 OPSL 引起了范式變化。 今天，每一個現有或新興應用都得到了專門設計的 OPSL，其波長可以優化該應用。 兩個截然不同的應用說明了這種能力的優勢。

用于治療 AMD 的光凝術

濕式年齡相關性黃斑變性 (AMD) 是導致視力喪失和失明的主要原因。 這種情況的特點是黃斑區血管滲漏。 這是視網膜上的一個小區域(直徑 < 6 mm)，位于視野的中心，負責高分辨率的彩色視覺。 根據滲漏血管的位置，激光光凝術通常是一種推薦的治療方法。 在這里，激光產生可控的局部燒灼，破壞微小的元兇血管，防止進一步出血。

成功實施光凝術的一個關鍵是組織選擇性;也就是說，在不以任何方式損害周圍組織的情況下封閉目標血管。 泄漏的血管和其他組織之間的主要區別是存在血液。 因此，通過使用優先被血液吸收的激光波長，可以最好地實現選擇性。 此波長還需要是一個可見波長，這樣激光就可以無害通過眼球的透明前端。 血液中具有可見光吸收能力的主要成分是氧合血紅蛋白。多年來，最常用的激光波長是 532 nm(來自半導體泵浦固態激光器)，接近氧合血紅蛋白的弱吸收峰。

圖 3：577 nm OPSL 已成為治療特定類型濕式 AMD 的首選光凝術激光器，因為它與氧血紅蛋白的最大吸收量完全匹配。

然而，氧合血紅蛋白的實際吸收峰值是 577 nm(見圖 3)。 Coherent為這一應用設計了一種全新的 OPSL 激光器 (Genesis MX577)，它在這一特定波長下可提供 3 瓦的功率輸出。 與 532 nm 波長的上一代產品相比，該激光器能夠更好地封閉血管，同時減少了眼球的熱負荷。 除了這一重要益處外，OPSL 的快速脈沖(可達 100 kHz)能力使其能夠使用“微脈沖”來提供高度劑量控制，以最大限度地提高傷口愈合反應，并最大限度降低局部組織創傷。 由于這些原因，577 nm OPSL 已經取代了 532 nm DPSS，成為這一應用中的首選激光器。

具有卓越色彩的燈光表演

燈光表演代表了一個截然不同的應用領域，在這個領域，OPSL 憑借其波長靈活性，成為了首選激光器。 激光燈光表演引擎所能產生的顏色范圍(色域)取決于所使用的特定激光波長。 傳統上，大多數彩色投影儀使用三種激光：紅色、綠色和藍色 (RGB)，其中藍色是傳統氬離子激光的 488 nm 波長。 然而，人眼對色差非常敏感，因此激光燈光表演面臨的一大挑戰就是如何產生真正的白色，技術上稱為 D65。

Coherent使用 OPSL 技術，在傳統的 RGB 波長上提供瓦級功率以及兩個重要的非傳統波長用于燈光表演，這兩個波長就是 最初用于光凝術的 577 nm 波長以及 460 nm 波長。 如圖 4 所示，后者確保了更大的色域，更重要的是，只需混合兩種激光(577 nm 和 460 nm)，就可以產生白色。 下面這個具體的例子進一步說明了這些新波長對于燈光表演設計師的價值。

圖 4：通過添加輸出波長為 460 nm 和 577 nm 的激光器，大大擴展了傳統 RGB 燈光表演引擎的色域，也簡化了“白色”輸出的制作。

2011 年，BMW 想要推出他們的全新 i 系列節油汽車 – 對于一個一直重視性能和操控的品牌來說，這是一個重大市場發展。 他們選擇了法蘭克福國際車展 (IAA) 發布這個系列。 發布會由 BlueScope 廣告公司構思，由 Rockservice 公司管理，由位于德國阿倫的先進激光表演公司 LOBO 提供服務。 此次發布會廣受關注，其總體概念是通過藍色的激光隧道來揭開每一輛車的面紗(見圖 5)。此外，發布會還包括其他激光效果。 這些激光元素都必須與 BMW 公司的藍色完全一致，就像發布會的其他視覺組件(如 LED 屏幕)所使用的顏色一樣。 但是，人們對顏色的感知會因地點、背景燈光和其他因素而變化。 因此，LOBO 需要能夠在現場對其投影儀的藍色輸出順暢地進行細微改變。 如果使用標準的 RGB 投影機，要實現完美的顏色匹配是非常困難的。 于是，LOBO 為他們的 RGB 投影機配置了兩個藍色的 OPSL(Coherent Taipan)，波長分別為 488 nm 和 460 nm。 這樣他們就能夠簡單地“調整”藍色輸出，以便在最終的照明條件下與展廳環境中其他 BMW 顯示部分的感知顏色相匹配。

OPSL 為需要毫瓦級到瓦級連續激光的應用提供了無與倫比的優勢組合。 其中最重要的一點是波長的靈活性，它首次實現了激光波長與精確應用需求的匹配，而無需應用再去適應波長。

審核編輯 黃宇