近日，由中國儀器儀表學會主辦的首屆科學儀器開發者大會在山東青島成功舉辦。大會以“創新點亮未來”為主題，匯聚了科學儀器研發領域的專家學者和眾多優秀企業代表，共同分享與探索科學儀器創新與應用之道。作為國內首家EDA上市公司、關鍵核心技術具備國際市場競爭力的EDA領軍企業，概倫電子也長期為客戶提供行業領先的半導體參數量測產品和解決方案。當日，概倫電子研發副總裁李淼先生受邀出席大會，并致《先進半導體參數量測設備的設計與應用》主題演講。

概倫電子研發副總裁 李淼先生

務實篤行，護航應用發展

隨著新材料、新工藝、新結構的不斷發展，新型半導體器件和工藝的研發正面臨著更小物理尺度、更高功率密度、更復雜物理效應和失效機制等方面的挑戰。測試電性、噪聲等半導體關鍵參數可幫助研發人員對器件性能和可靠性進行快速精確分析，為半導體工藝平臺開發、芯片設計和EDA應用提供高效、高質量、高附加值的數據支撐，進而優化工藝配方，改進器件性能，縮短研發迭代周期。

在半導體器件表征儀器開發與應用創新分會場，概倫電子研發副總裁李淼先生與業界專家就半導體參數量測設備在集成電路工藝控制優化、可靠性分析等實踐應用領域中的重要作用進行了探討，進一步分析了市場規模和發展趨勢、不同應用領域的獨特測試需求，以及在這些需求驅動下國產化半導體參數量測設備的快速發展和技術挑戰，例如不斷提升基本測試模組的性能和性價比，對測試方法、測試設備與測試方案進行系統級優化，甚至建立新興測試應用領域的標準等。為應對這些挑戰，李淼先生和與會各界一起探討了參數量測設備的產品與研發創新方向，并介紹了概倫電子自主研發的新一代半導體參數測試平臺和部分測試模組成果。

【圓桌討論】半導體器件表征儀器開發與應用創新

李淼先生表示，概倫電子是國內半導體參數量測設備開發的先行者，長期致力于為客戶提供行業領先的半導體參數量測產品和解決方案，始終以應用為導向，攜手產學研用各界一起，突破半導體領域新研究、新應用的邊界，深耕技術創新，不斷突破關鍵量測設備的能力，推進測試能力整合與架構創新。概倫電子希望利用自身在半導體參數量測和技術開發等領域的實踐經驗，結合已具備國際市場競爭力的關鍵EDA工具，進行DTCO的應用和創新探索，推動中國半導體參數量測的創新和發展。

深耕不輟，探索技術創新

自第一臺9812D低頻噪聲分析儀問世以來，概倫電子始終堅持以技術創新為核心引擎，不斷推出具有行業先進性能的半導體參數測試設備。2021年，概倫電子依托多年產學研合作優勢，與多所科研院所、頂尖高校開展緊密合作，先后攻克多項短脈沖測試技術難題，實現了100ns級別的短脈沖IV（PIV）高精度測量。針對晶圓級半導體器件自動化測試需求，概倫電子于2023年推出了低漏電矩陣開關模塊FS821，可實現100fA偏移電流，支持最大200V/1A直流范圍，性能指標可達國際先進水平。概倫電子還在業界首創商用級動態交流噪聲測試系統9812AC，填補了行業產品在相關應用領域的空白，為探索半導體研究新領域提供了全新的專業工具。

概倫電子現場展示半導體參數測試與全自動解決方案

目前概倫電子的測試產品和解決方案已廣泛服務于國內外上百家領先集成電路企業，覆蓋科研院所、芯片設計、晶圓代工以及IDM等多個領域的企事業單位，在先進工藝和器件研發和高性能模擬電路設計等多種應用場景都有大量的成功部署案例。

在新一輪產業變革與國際環境的發展趨勢下，我國科學儀器產業發展正在快速步入新階段。在這條新征程之上，概倫電子將持續圍繞工藝與設計協同優化進行技術和產品的戰略布局，持續對核心數據獲取技術和相關量測設備進行研發、演進和拓展，與生態伙伴一起，不斷探索測試儀器技術新邊界，激發半導體應用新潛力，共同推動半導體行業邁向新的發展階段。