柔性應變傳感器克服了傳統剛性傳感器生物相容性差和線性范圍窄的局限，在人工智能（AI）、電子皮膚、健康監測等領域具有重要的應用價值。開發在寬線性范圍內具備高靈敏度和高線性度的理想柔性應變傳感器，是當前研究的關鍵課題。柔性應變傳感器根據工作原理一般分為壓電式、電阻式和電容式三類。與電阻式柔性應變傳感器相比，電容式柔性應變傳感器具有線性優勢，但其受到靈敏度低的限制。因此，亟需打破電容式柔性應變傳感器靈敏度低的限制，以滿足人們對寬線性范圍和高靈敏度的需求。

據麥姆斯咨詢報道，近期，哈爾濱工業大學赫曉東教授、彭慶宇教授團隊和四川大學張新星教授等研究人員提出一種梯度剛度滑動（GSS）設計策略，有效解決了這一難題，通過控制局部增強電場的分布以及襯底的非均勻變形，成功制備了性能優異的電容式柔性應變傳感器。該傳感器在超寬線性范圍內具有極高的靈敏度（9.1 × 10?）和線性度（R2 = 0.9997），幾乎無遲滯且響應時間快（17 ms）。這種梯度剛度滑動設計策略還可以應用于其它類型柔性傳感器的設計，以實現超高靈敏度和線性度的雙重目標。相關研究成果以“Ultra-sensitive, highly linear, and hysteresis-free strain sensors enabled by gradient stiffness sliding strategy”為題發表在npj Flexible Electronics期刊上。

在這項研究工作中，研究人員從結構設計的角度出發，提出了一種電容式柔性應變傳感器的設計策略——“梯度剛度滑動”方法，從根本上突破了最高靈敏度為1的理論極限。通過在離子層/電極界面上形成雙電層（EDL），并控制局部增強電場的分布和襯底的非均勻變形，成功制備出性能優異的電容式柔性應變傳感器。

圖1 梯度剛度滑動設計策略的原理

測試結果表明，采用梯度剛度滑動設計策略的電容式柔性應變傳感器，在超寬線性范圍內展現出極高的靈敏度（9.1 × 10?）。更為關鍵的是，該傳感器的電信號在整個線性范圍內保持了極高的度線性（R2 = 0.9997）。在施加應變之前，離子層/電極界面的接觸面積相對較小，雙電層形成較少，初始電容C?僅為幾pF。隨著應變的增加，梯度剛度層中較軟的部分開始變形和伸長，電極與離子層之間的接觸面積顯著增加，雙電層電容大幅提升（接近μF），從而展現出極高的靈敏度。

圖2 采用梯度剛度滑動設計的電容式柔性應變傳感器的傳感性能

相較于電阻式柔性應變傳感器，該研究提出的電容式柔性應變傳感器在拉伸到0.5%應變時的動態響應時間極短，僅為17 ms，檢測限（LOD）低至0.003%。該傳感器對應變速率的靈敏度也很低，在0.25、0.5和1 mm·s?1拉伸速率下，電容變化保持恒定，為7.2 μF（ε = 30%）。

在實際應用中，電信號的線性度至關重要。采用梯度剛度滑動設計的柔性應變傳感器在整個測量范圍內達到了近乎理想的線性度（R2 = 0.9997），完全能夠滿足實際使用需求。值得一提的是，由于這種線性特性是通過結構設計而非活性材料設計實現的，因此具有極佳的穩定性，即使在復雜的拉伸條件下，電信號也能保持線性一致。

圖3 電容式柔性應變傳感器出色的線性度和靈敏度

采用梯度剛度滑動設計的電容式柔性應變傳感器能夠在實際應用中準確監測各種人體信號，包括細微的表情變化到大幅度的手臂和膝蓋彎曲。此外，該傳感器還能穩定且準確地監測日常生活中各種頻率的動作，包括快速搖晃咖啡和慢速炒菜等。值得一提的是，利用透明電極還可以進一步制備透明柔性應變傳感器，從而滿足一些特定應用場景的需求。

圖4 采用梯度剛度滑動設計實現超靈敏、高線性度且無遲滯的電容式柔性應變傳感器

綜上所述，這項研究將雙電層引入電容式柔性應變傳感器的設計中，通過控制局部增強電場的分布以及襯底的非均勻變形來提高器件靈敏度，有效解決了電容式柔性應變傳感器靈敏度低的問題，同時確保其在整個線性范圍內具有高線性度和無遲滯。采用梯度剛度滑動設計的柔性應變傳感器還展現出優異的過伸保護和結構穩定性，具有巨大的應用潛力。此外，梯度剛度滑動方法有望成為一種通用設計策略，應用于其它類型的柔性傳感器，為提升柔性傳感器性能以及開拓柔性電子技術新領域注入新的活力。

論文信息：
https://doi.org/10.1038/s41528-024-00301-7

審核編輯：劉清