來源：《半導體芯科技》

納米電子和數字技術研究和創新中心imec已經推出了公眾可以免費訪問的imec.netzero虛擬工廠版本。該工具提供了IC制造對環境影響的量化視圖，為學者、政策制定者和設計人員提供了寶貴的見解。通過發布此免費網絡應用程序，imec旨在支持半導體行業以及整個半導體供應鏈減少對環境的影響。

半導體制造是一個復雜的過程，具有多種環境影響；從高能源消耗到稀缺材料的使用和溫室氣體排放。考慮到市場的增長和巴黎協議針對氣候變化的目標，該行業正致力于優化工藝流程。然而，為了確定和減輕對環境影響較大的工藝或技術，需要大量數據。

這一問題在imec的可持續半導體技術和系統（Sustainable Semiconductor Technologies and Systems,SSTS）研究計劃中得以解決。SSTS是一個涉及整個半導體生態系統的協作框架，從電子產品的最終用戶到晶圓廠、代工廠、材料和設備制造商，與學術界和政府合作一起合作的。

為了準確量化IC制造對環境的影響，imec開發了一個名為imec.netzero的虛擬工廠。該網絡應用程序利用來自其自己晶圓廠的數據，并不斷與來自設備、材料和晶圓廠合作伙伴（例如液化空氣、應用材料、ASM、ASML、Edwards、Kurita、Lam Research、SCREEN、Tokyo Electron、GlobalFoundries、三星電子和臺積電等）的數據進行基準測試。該虛擬工廠遵循生命周期評估方法，收集和分析制造IC的每個工藝步驟中使用的能源、材料、化學品、氣體和其他資源的數據。合作伙伴可以訪問自己專用的imec.netzero軟件應用程序，該應用程序提供詳細的分析，以量化當前和未來IC技術的具體排放和其他環境影響，從而提供切實的行動建議。

現在，imec希望該虛擬晶圓廠工具可以覆蓋更廣泛的受眾。imec.netzero公共版本可以訪問與imec.netzero Private相同的晶圓廠模型和工藝數據庫。雖然該網絡應用程序受到一些限制（例如，僅限于當前技術和《溫室氣體協議》的范圍1+2），但它提供了獨特的數據見解，以前公眾無法訪問。例如，可以根據不同地理位置的制造情況，為多種邏輯和存儲技術（從N28開始）生成氣候變化（二氧化碳排放量）、電能消耗或總用水量的可視化演示。

imec項目經理Cédric Rolin解釋道：“我們的目標是提供有關IC制造對環境影響的透明且高質量的數據，不限于半導體供應鏈和我們的SSTS計劃。我們的工具超越了現有的文獻，為尋求行業影響數據的產品設計師、環境研究人員和政策制定者提供了價值。”

審核編輯 黃宇