佳能去年10月發(fā)布了采用納米壓印技術(shù)的FPA-1200NZ2C,該設(shè)備工作原理區(qū)別于傳統(tǒng)光刻機,無須依賴光學(xué)圖像投影實現(xiàn)芯片微觀結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)移,而更接近印刷工藝,通過壓制印出圖案,能制造出5nm芯片。
佳能近日表示,計劃年內(nèi)或明年上市使用納米壓印技術(shù)的光刻設(shè)備FPA-1200NZ2C。對比已商業(yè)化的EUV光刻技術(shù),雖然納米壓印的制造速度較傳統(tǒng)方式緩慢,但由于制程簡化,耗電僅為EUV的十分之一,且投資額也僅為EUV設(shè)備的四成。因此,佳能此舉有望擊敗市場競爭對手,使得高端芯片生產(chǎn)價格更為親民。
該項目由佳能工業(yè)部門負責(zé)人竹西宏明親自領(lǐng)導(dǎo)。宏明明確表示:“期望今年或明年在市場熱度下啟動出貨。這一獨特技術(shù),將助力尖端芯片生產(chǎn)變得更為簡易和經(jīng)濟實惠。”他還指出,這項關(guān)鍵性技術(shù)成功與否的關(guān)鍵在于能否打動潛在客戶,使他們愿意將其引入現(xiàn)有生產(chǎn)線。
據(jù)悉,初步階段,佳能將利用該技術(shù)生產(chǎn)3D NAND存儲器芯片,并非復(fù)雜的處理器。宏明透露,佳能在15年時間內(nèi)持續(xù)研發(fā)這一領(lǐng)域,若能成功實現(xiàn)商業(yè)化應(yīng)用,有望扭轉(zhuǎn)競爭態(tài)勢,幫助新興企業(yè)以更低的成本打造領(lǐng)軍半導(dǎo)體產(chǎn)品。然而,新設(shè)備的缺陷率、集成難度以及地緣政治影響等因素,仍需考量其中,才能確定佳能能否在此次重大競爭中突出重圍。
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