據(jù)麥姆斯咨詢報道，近日，蘇州光舵微納科技股份有限公司（簡稱：光舵微納）完成由國投創(chuàng)合投資的近億元B+輪股權融資。

作為國內(nèi)領先的納米壓印技術完整方案提供商，光舵微納經(jīng)過多年的研發(fā)及市場應用推廣，制造出了多款研發(fā)型納米壓印設備及全自動量產(chǎn)型納米壓印設備，實現(xiàn)了設備、耗材及工藝的全方位突破。

發(fā)明于上世紀90年代中期的納米壓印（Nano Imprint Lithography，NIL）技術是利用機械模具微復型原理在基板上制備微納結構的技術。該技術克服了光刻技術中由于衍射導致的分辨率限制，具有超高分辨率、易量產(chǎn)、低成本、一致性高的優(yōu)點，可應用于半導體、LED照明、平板顯示、生物技術、太陽能電池、光學等領域。納米壓印技術是微納加工領域的一項關鍵底層技術，在國際半導體藍圖（ITRS）中，該技術被列為下一代半導體加工技術的重要代表之一。

光舵微納在LED圖形化襯底產(chǎn)業(yè)（LED-PSS）處于絕對的技術及市場領先地位，納米壓印設備及耗材已在客戶端實現(xiàn)超過4000萬片LED-PSS的大規(guī)模穩(wěn)定量產(chǎn)，在此應用場景上實現(xiàn)了對尼康光刻機的產(chǎn)業(yè)化替代，并處于快速擴張階段。

光舵微納同時積極拓展納米壓印技術在高端半導體、AR衍射光波導、生物檢測器件、消費電子等諸多重大領域的產(chǎn)業(yè)化應用，并取得了重要進展。

此次融資完成后，光舵微納將繼續(xù)提升其核心研發(fā)團隊的技術實力，積極研發(fā)應用于多個重要場景的高端納米壓印設備并進行廣泛的市場開拓，進行產(chǎn)線擴充，推進納米壓印技術在更多應用領域的導入，打造從產(chǎn)品、系統(tǒng)到整體解決方案的商業(yè)模式，助力我國半導體制造產(chǎn)業(yè)的高速發(fā)展。

審核編輯：劉清