電子發燒友網報道（文/吳子鵬）半導體設備被譽為“工業制造皇冠上的明珠”。當然，對于半導體設備而言，大部分人都只了解八大工藝相關的設備。實際上，除此之外，隨著半導體工藝日趨復雜，還有一些設備也是非常關鍵的，比如AMHS設備，幫助提升半導體制造工廠稼動率、良率和生產效率。

AMHS是英語Automated Material HandlingSystem的縮寫，中文譯為“自動物料搬運系統”。AMHS并不是指單獨某一款設備，而是指由傳輸設備、存儲設備、凈化設備和控制軟件等軟硬件共同組成的系統。

過去很長一段時間，AMHS由國際廠商壟斷。近年來，以彌費科技為代表的國內廠商在這個領域逐漸形成突破。彌費科技董事長、CEO繆峰表示，彌費科技深耕晶圓廠AMHS已有8-9年的時間，在國內已經成為這一賽道的領跑者。國產晶圓廠AMHS出貨并交付使用，彌費科技占比超過90%。

彌費科技董事長、CEO繆峰

12月26日，彌費科技臨港生產基地暨全球研發中心啟用儀式成功舉辦，標志著彌費科技發展進入嶄新階段。繆峰指出，公司的目標是成為全球TOP 3級別的AMHS供應商。

年產能可滿足2-3個整廠AMHS需求

AMHS由傳輸設備、存儲設備、凈化設備和控制軟件等軟硬件共同組成，實際上這里面的設備類別還能夠進一步細化，比如傳輸設備可分為天車OHT、協作式機器人AMR等；存儲設備可分為Foup&Reticle Stocker、Reticle Cabinet、NTB和OHB等；凈化設備可分為TLP、OPS、FPS等。

GIR (Global Info Research)的統計數據顯示，2021年全球半導體加工用AMHS市場規模大概為24億美元，預計到2028年達到36億美元，其間年復合增長率約為6%。

繆峰介紹說，彌費科技臨港生產基地具備AMHS整套的供應能力。以40K 12吋整廠AMHS為例，產品需求為OHT大概256臺，STK大概30臺，OHBP/TLP大概是2000套。彌費科技臨港生產基地的年產能可滿足2-3個整廠AMHS需求。

據悉，彌費科技臨港生產基地暨全球研發中心占地約8000㎡，包含潔凈室、生產線、研發Lab、倉庫，并構建了以天車為核心的潔凈室AMHS整體解決方案2000㎡標準化示范線。這一基地將成為彌費科技提升產能、優化產品質量、加強創新能力、研發尖端技術、培育專業人才、以及拓展全球市場的堅實基石。

繆峰稱，彌費科技致力于AMHS的研發、生產與制造，經過多年的持續創新，推出了以天車核心傳輸設備、協作式機器人、晶圓存儲設備、光罩存儲設備、緩沖存儲設備、上下料口凈化設備等三十余種AMHS設備和軟件調度系統為代表的產品。這些產品已成功交付給30多家國內外晶圓廠客戶，同時積累了豐富的技術儲備和項目經驗。

目前，彌費科技已經構建出一個以臨港為總部和生產基地，覆蓋全國、輻射全球的全球化體系。在全球化戰略上，繆峰透露，公司目前已經有3-4家海外客戶，圍繞海外業務布局，彌費科技將會在馬來西亞構建一個組裝工廠，更好地滿足海外客戶的供應鏈需求。

堅持產品領先的研發策略

彌費科技臨港生產基地暨全球研發中心啟用儀式上，記者參觀了研發實驗室和工廠。隨后，記者采訪了繆峰和彌費科技CTO李宏偉博士，針對公司產品研發和后續發展進行了交流。

作為國內極少數掌握AMHS核心技術自主知識產權的企業，彌費科技不僅成功打破國際廠商在這一細分領域的壟斷，實現了AMHS產品關鍵技術指標對標國際先進水平，并已發展為能夠為半導體晶圓廠客戶提供國產替代化、軟硬件成套化、產品客制化、供應鏈本土化的AMHS整體解決方案企業。

李宏偉表示，彌費科技的研發目標是非常清晰的，就是產品領先。AMHS是一個軟硬件融合的平臺。在這個平臺下，彌費科技定義了六大關鍵技術，分別是機器人技術、運動控制技術、嵌入式控制技術、無塵系統、多智能體調度系統和數字孿生技術。

“這些關鍵技術都是偏應用的，不是偏向理論基礎的，因此彌費科技的研發并非從零起步，而是基于流行的標準、開源的框架，進而讓我們在六大關鍵技術領域的研發方面具有一定的時間優越性。”李宏偉提到，“我們的研發永遠是正向開發，不去做逆向工程、做模仿。”

彌費科技的研發策略是研究一代、儲備一代、開發一代、部署一代：
·研究一代：主要致力于前沿技術研究，也就是三年之后AMHS要用到的技術；
·儲備一代：當一項技術已經比較成熟，會應用到樣機模塊上，應用于明年的產品上；
·開發一代：今年開發的產品將會在明年進行上市；
·部署一代：已經上市的產品要進行工程部署，進行產品迭代。

芯片制造工藝制程越先進，工序就會越多越復雜，因此對AMHS系統的要求就更高。彌費科技也在持續提升AMHS的部署能力。根據李宏偉的介紹，系統控制能力主要和算力、算法、數據相關。在算力方面，彌費科技已經著手搭載基于ARM架構的多核異構算力產品，帶來數倍的算力提升；在算法方面，彌費科技天狼星算法正在做第二代研發，會借助強化學習的算法，讓路徑搜索更加合理、高效；在數據方面，彌費科技不斷提升的市場占有率就是寶貴的數據資源。

關于產品布局策略，繆峰指出，彌費科技除了在前道工序AMHS領域大力投資和布局外，后道工序所需的AMHS會是一個巨大的藍海市場。和前道工序廠商需要大而全的系統不同，后道工序相關的廠商會分步驟實現自動化升級。目前，后道工序AMHS市場還處于空白，也缺乏行業標準。為了更好地開拓后道工序AMHS市場，彌費科技也在積極接觸領先的封測大廠，攜手共同編制一些適用于后道工序AMHS市場的標準。