12月27日,中國石化與晶瑞電材合作的產能達1萬噸的集成電路用G5級異丙醇項目正式啟動。此舉將助推我國集成電路關鍵技術如超凈高純異丙醇制備、金屬雜質控制和水分控制等方面的突破。
異丙醇作為濕電子化學品的主要有機溶劑,被廣泛用于集成電路制程中的清洗和干燥步驟,是高端芯片制造的關鍵原料。值得注意的是,由于我國超凈高純異丙醇仍需大量進口,這成為產業鏈中的一環短板。
據了解,該集成電路用G5級異丙醇項目計劃建立嚴格的產品評估和生產驗證系統,以確保達到14納米及以上集成電路生產線的產業化需求,從而實現國產化的技術和產品。
湖北省潛江市市委書記盛文軍表示,兩大巨頭的攜手將推動工藝擴大的技術突破,并進一步完善集成電路產業鏈。自2019年來,潛江市政府與晶瑞電材聯手設立了長江微電子材料產業基金,推動園區由零起步、逐漸壯大,與武漢的京東方、長江存儲、華星光電、天馬微電子等大企業形成上下產業鏈配套。
迄今為止,晶瑞電材已成功研發出半導體濕電子化學品中的高純硫酸、雙氧水、氨水等產品,其中金屬雜質含量低于10ppt,達到G5等級,已可滿足目前主流的先進集成電路技術節點需求,有實力與國際前列企業競爭。同時,其在光刻膠產品上也有所突破,可提供紫外寬譜和部分g線、i線、KrF光刻膠等產品。
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