萬業(yè)企業(yè)旗下子公司凱世通近期向兩家客戶分別提供了多部12英寸集成電路低能大束流離子注入機(jī)，此舉標(biāo)志著凱世通設(shè)備在在經(jīng)過客戶端設(shè)備驗(yàn)證之后，迅速獲得大量訂單。

離子注入機(jī)在芯片制造中具有重要地位，不僅驗(yàn)證困難，研發(fā)難度也極高，被視為當(dāng)前半導(dǎo)體發(fā)展的核心裝備和必需的國產(chǎn)替代設(shè)備。其中，低能大束流離子注入機(jī)占據(jù)大約60％的市場份額。由于技術(shù)門檻較高，其研發(fā)和生產(chǎn)技術(shù)與國際領(lǐng)先水平還有較大差距。

據(jù)業(yè)內(nèi)人士透露，凱世通長期專注于該行業(yè)，產(chǎn)品已應(yīng)用于邏輯、存儲(chǔ)、功率等多個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域。他們所生產(chǎn)的低能大束流離子注入機(jī)和高能離子注入機(jī)已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化突破，無論是工藝覆蓋面，還是良品率，甚至產(chǎn)能，都處于業(yè)界領(lǐng)先位置。公司堅(jiān)持正向設(shè)計(jì)和自主創(chuàng)新，掌握了大束流離子源、視覺對準(zhǔn)系統(tǒng)、高均勻性AMU、固態(tài)源蒸發(fā)器、束流均勻性調(diào)節(jié)裝置、減速裝置等一系列關(guān)鍵技術(shù)模塊，成功解決了極低能和大束流之間的技術(shù)難題。

除此之外，為了提升精度，減少污染，以及提高產(chǎn)能，凱世通研發(fā)了五軸控制的機(jī)器人、高精度視覺對準(zhǔn)系統(tǒng)等硬件和基于物理模型算法和專家系統(tǒng)的Beam Auto Tune軟件系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了離子注入機(jī)工作過程中的智能控制。而他們的離子注入機(jī)現(xiàn)在已經(jīng)具備了Glitch自動(dòng)修復(fù)功能，確保了機(jī)器在任何環(huán)境下都能安全、穩(wěn)定地運(yùn)行。其中，在今年上半年，凱世通共獲得了139項(xiàng)專利授權(quán)，包括83項(xiàng)發(fā)明專利。這些成果使得凱世通榮獲“中國半導(dǎo)體領(lǐng)域高質(zhì)量引領(lǐng)企業(yè)”稱號(hào)，并成為首個(gè)完成國產(chǎn)高能離子注入機(jī)產(chǎn)線驗(yàn)證和驗(yàn)收的廠商。