什么是飛秒激光？

飛秒激光是人類在實驗室條件下所能獲得最短脈沖的技術手段，是一種以脈沖形式運轉的激光，持續時間非常短，只有幾個飛秒（英語為femto second，簡寫為fs，1飛秒為1秒的一千萬億分之一），它比利用電子學方法所獲得的最短脈沖要短幾千倍。飛秒激光技術是近年來發展迅速的一種先進加工技術，具有極高的加工精度和速度，可以在各種材料表面進行微米至納米級別的刻蝕和加工。

飛秒激光的特點

1、飛秒激光是我們人類在實驗條件下能夠獲得的最短脈沖，它的精確度是± 5微米;

2、飛秒激光有非常高的瞬間功率，它的瞬間功率可達百萬億瓦，比全世界的發電總功率還要多出上百倍;

3、物質在飛秒激光的作用下會產生非常奇特的現象，氣態的物質、液態的物質、固態的物質瞬間都會變成等離子體;

4、飛秒激光具有精確的靶向聚焦定位特點，能夠聚焦到比頭發的直徑還要小的多的超細微空間區域;

5、用飛秒激光進行手術，沒有熱效應和沖擊波，在整個光程中都不會有組織損傷。

與傳統連續激光以及長脈寬納秒、皮秒激光相比，飛秒激光加工材料具有如下特點：

（1）峰值功率高，容易引起材料的解離。

（2）熱效應小，加工精度高，在材料精密加工方面有獨特的優勢。

（3）應用范圍廣。

激光刻蝕原理與典型應用

1、基本原理介紹

激光蝕刻的基本原理是將高能量的激光束（一般為紫外線激光、光纖激光、飛秒激光等）聚焦在極小的光點上，照射到被加工的材料表面，激光束的能量轉化為熱能，使材料瞬間蒸發，形成孔、槽等加工效果。

2、技術特征介紹：

以激光非接觸方式加工，高柔性、高速、無噪聲、熱影響區小、可聚焦至激光波長級的極小光斑等，在打眼、劃片、刻蝕、切割尺寸精度和加工質量方面，尤其是與某些材料(例如聚酰亞胺)相互作用屬于“光化學作用”的“冷加工”，可獲得無碳化效果的“冷加工”。

3、典型應用

1）玻璃材料激光刻蝕

再現性好，功率大，材料去除速度快，無化學腐蝕污染。ITO涂層激光刻蝕機是利用激光在ITO Glass和ITO Film表面進行ITO涂層刻蝕的精密設備。能在玻璃、PET、ITO鍍膜、多晶膜及其它氧化物薄膜上進行各種不同尺寸的高精度、高速刻蝕，可加工多種規格的電極。特別適合手機觸摸屏的電極蝕刻技術。

2）太陽能電池激光劃片

整體結構合理，切割速度快，精度高，功能齊全，性能指標穩定可靠，故障率低，非接觸加工成品率高，適用范圍廣。

芯明天P12A壓電掃描臺應用于飛秒激光刻蝕

飛秒激光刻蝕通過精確控制激光的能量、脈寬、掃描速度等參數，可以實現對金屬、玻璃等材質表面的精密加工和刻蝕。 相比于傳統的機械加工和化學腐蝕等加工方法，飛秒激光刻蝕具有更高的加工精度和速度，能夠實現更精細的圖案和更復雜的結構的加工。同時，由于激光加工為非接觸式加工，可以避免機械應力對材料的影響，降低了破損和誤差的可能性。

芯明天P12A系列壓電掃描臺可在飛秒激光刻蝕應用中與載物臺固定連接在一起，在控制信號作用下帶載金屬、玻璃等材料進行X、Z、XY、XZ、XYZ等多個維度的運動進行刻蝕，P12A系列壓電掃描臺配置高分辨率傳感器，對位置實時檢測并反饋到壓電控制器，控制器通過PID算法調整電壓修正位移，從而實現納米級高精度定位。

技術參數

配套控制器

E70系列壓電控制器

E70系列壓電控制器是可通過串口、USB或網口進行數字通信的三通道壓電控制器。輸出電壓0~120V/150V，輸出帶寬達10kHz以上，且體積小，易集成。

E00/E01系列壓電控制器

芯明天E00/E01系列壓電控制器可用于驅動P12A系列壓電掃描臺，單通道、多通道、開環、閉環多種型號可選，可通過模擬、數字等多種方式進行控制。E00/E01還可通過模塊自由組合，實現驅動芯明天及進口各類壓電產品。

審核編輯：湯梓紅