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什么是EM電遷移?它帶來的影響有哪些?

冬至子 ? 來源:偉醬的芯片后端之路 ? 作者:偉醬的芯片后端之 ? 2023-12-06 15:29 ? 次閱讀
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電遷移簡寫為EM,electromigration,這是一種很基本的電學現象,可能在電路課上講的少,反而物理課上會聽過。

EM對現在的芯片設計有很大影響,已經成為后端設計一個不可忽視的重要現象了。今天我就來簡單介紹什么是EM,以及它會帶來的影響。

EM在很早就被發現了,甚至在芯片誕生之前人們就發現了EM現象,但一直到芯片出現之后,隨著工藝越來越先進,EM所帶來的影響才慢慢顯著起來。

它指的是:在通電導體中,由于電子的移動,會與金屬離子產生碰撞,導致金屬離子移位,宏觀上表現為金屬變形,對于芯片中納米級很細的導線來說,久而久之可能會使net發生短路或斷路,進而造成芯片工作失效。

EM現象深刻影響著芯片壽命,因為芯片只要在使用,就會發生EM現象,使用的越久,EM所累積的效應就越多,金屬越來越變形。

如果在某個地方金屬離子大量流失,可能會在這里斷路;而如果某個地方聚集了大量別的地方來的金屬離子,net這里可能就會變寬,當碰到旁邊導線的時候就會發生短路。

理論上來說芯片的壽命是有限的,只要工作的夠久,EM總會使芯片失效。對于早期不考慮EM影響的芯片,最短的壽命可能僅僅幾周;現在的芯片都會考慮EM現象,能保證芯片工作幾年。

如何來量化EM的影響呢?對于我們后端來說,一般就會看一個指標:電流密度。我們其實就做了一個微觀到宏觀上的轉化處理,相同材料下,電流密度越大的地方EM現象越明顯。

因此后端在繞線的時候必須要遵守一個EM spec,這個spec規定了不同金屬層(或者說不同材料的金屬)所能承載的最大電流密度。

如果某一段shape仿真出來結果電流密度比spec大,就發生了EM violation,表明這個地方很有可能導致芯片壽命降低,所以這種violation也是必須要修掉的。

修的方法就從電流密度的定義著手。電流密度由導體橫截面積和流過電流決定,而金屬層的厚度我們無法改變,所以對我們來說就由net的寬度和電流決定了。(我突然想提一句net的橫截面一般不是長方形,而是梯形)。所以修的方法有兩種:增大net寬度,以及減小net電流。

增加寬度可以在ECO的時候給這個net上NDR,再讓tool重新繞;減小電流就可以多并聯一段shape用于分擔電流,也可以減小driver的驅動能力。

EM存在于芯片的所有net上,不管這段net是PG、signal、還是clock線,都必須遵守EM rule。

一般會稱發生在PG上的EM為PEM,Signal上的EM為SEM。對PEM violation一般都會再多加PG mesh,SEM violation的首選方法還是上NDR。

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