上海伯東提供半導體新材料和設(shè)備管道檢漏解決方案， 助力企業(yè)生產(chǎn)高質(zhì)量的六氯乙硅烷 Si?Cl?。 六氯乙硅烷廣泛應(yīng)用于有機硅化合物的合成， 電子半導體材料制造。

半導體新材料和設(shè)備檢漏： 提升產(chǎn)品良率

半導體生產(chǎn)設(shè)備及其相關(guān)設(shè)施一般在真空環(huán)境下工作， 任何一處出現(xiàn)泄漏都可能導致包括產(chǎn)量下降， 產(chǎn)品不達標或嚴重安全風險。 因此， 在潔凈室之內(nèi)或在任何維護干預之后， 密封性檢漏是必須的步驟。 上海伯東提供全面的氦質(zhì)譜檢漏解決方案， 確保生產(chǎn)設(shè)施從工藝室到排氣系統(tǒng)的真空完整性。

檢漏要求： 高精度， 清潔無油， 快速檢測， 盡可能縮短停機時間

在真空環(huán)境下工作的半導體制造設(shè)備氦質(zhì)譜檢漏方法：為了確保最終產(chǎn)品的質(zhì)量， 真空設(shè)施需要避免任何污染。 在安裝任何工具或者維護腔室之后， 推薦使用檢漏儀真空模式進行設(shè)備的密封性測試。 氦質(zhì)譜檢漏儀在真空條件下直接連接到設(shè)備， 通過將示蹤氣體氦氣噴灑到可能泄漏源的周圍 （比如焊縫， 接頭， 閥門等處）， 即可定位， 定量檢測到存在的漏點。 真空模式下漏率 1X10-10 mbar l/s.

在壓力下工作的氣體管路和機柜氦質(zhì)譜檢漏方法：

由于工藝氣體對自然環(huán)境的潛在危害， 此類管線在投入運行前需要通過測試。 推薦使用氦質(zhì)譜檢漏儀吸槍模式， 要測試的管線在壓力下充滿氦氣。 檢漏儀吸槍探頭可以探測可能逸出的氦氣。 吸槍模式下， 漏率 1X10-8 mbar l/s

針對不同的工況， 上海伯東提供合適的半導體設(shè)備檢漏方案

當復雜系統(tǒng)或大容量系統(tǒng) （例如處理室或前級管線） 上發(fā)生泄漏時， 需要大抽速檢漏儀以加快泄漏檢測過程， 從而減少設(shè)備停機時間。 推薦使用氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390 或 ASM 392

對于過壓系統(tǒng)或難以進入測試區(qū)域的情況， 推薦便攜式檢漏儀 ASM 310 提供較大靈活性的同時又不影響性能和靈敏度。

上海伯東提供全系列氦質(zhì)譜檢漏儀， 從便攜式檢漏儀到工作臺式檢漏儀滿足各種不同的應(yīng)用。 氦質(zhì)譜檢漏儀替代傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏， 利用氦氣作為示蹤氣體可定位， 定量漏點。 氦質(zhì)譜檢漏儀滿足單機檢漏， 也可集成在檢漏系統(tǒng)或 PLC. 推薦氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用 》》