圣彼得堡近日創(chuàng)建了一個(gè)國(guó)內(nèi)光刻綜合體，包括一臺(tái)在基板上進(jìn)行無(wú)掩模圖像采集和硅等離子化學(xué)蝕刻的設(shè)備。據(jù)開發(fā)人員稱，這臺(tái)用于無(wú)掩模納米光刻的機(jī)器成本約為500萬(wàn)盧布（約合36.74萬(wàn)人民幣），而國(guó)外同類產(chǎn)品的價(jià)值高達(dá)數(shù)十億盧布。

圣彼得堡彼得大帝理工大學(xué)（SPbPU）的專家表示，他們已經(jīng)成功開發(fā)了兩套用于生產(chǎn)微電子納米結(jié)構(gòu)的裝置，這將有助于解決俄羅斯在微電子領(lǐng)域的技術(shù)主權(quán)問題。這個(gè)設(shè)備綜合體包括用于無(wú)掩模納米光刻和硅等離子體化學(xué)蝕刻的設(shè)備。

第一種裝置用于在基板上獲取圖像，無(wú)需使用特殊的掩模。開發(fā)人員表示，與傳統(tǒng)光刻技術(shù)相比，這項(xiàng)技術(shù)在金錢和時(shí)間方面更加經(jīng)濟(jì)實(shí)惠，因?yàn)閭鹘y(tǒng)光刻技術(shù)需要使用專門的光罩來(lái)獲得圖像。這個(gè)裝置通過專門的軟件控制，實(shí)現(xiàn)了完全自動(dòng)化。

第二種裝置利用第一階段中創(chuàng)建的基材上的圖案。它的主要用途是直接形成納米結(jié)構(gòu)，但也可以創(chuàng)建硅膜，例如用于船舶表壓傳感器等應(yīng)用。

據(jù)開發(fā)人員表示，與傳統(tǒng)光刻技術(shù)相比，X射線***在金錢和時(shí)間方面更加經(jīng)濟(jì)實(shí)惠，因?yàn)閭鹘y(tǒng)光刻技術(shù)需要使用專門的光罩來(lái)獲得圖像。而X射線***則無(wú)需光掩模就能生產(chǎn)芯片。

據(jù)報(bào)道，這類裝置的估計(jì)成本約為500萬(wàn)盧布，相當(dāng)于許多常規(guī)汽車的價(jià)格。而國(guó)外同類設(shè)備的成本據(jù)稱要比該項(xiàng)目研發(fā)的設(shè)備高出數(shù)十倍，預(yù)計(jì)在100至130億盧布之間。

該項(xiàng)目負(fù)責(zé)人表示，使用這種裝置創(chuàng)建的膜在可靠性和靈敏度方面優(yōu)于液體或激光蝕刻生產(chǎn)的膜。他們還強(qiáng)調(diào)，這是完全國(guó)產(chǎn)的產(chǎn)品。

關(guān)于俄羅斯自研的蝕刻機(jī)的具體成本并未透露。

編輯：黃飛