電子發燒友網報道（文/周凱揚）隨著歐美韓等國家均已引進EUV***，為其晶圓代工廠提供最先進的工藝支持，日本雖然半導體制造水平這些年來提升不大，卻也計劃引進EUV***來打破這一困局，重回行業一流水平。

美光的1γ節點

在今年五月，美光宣布將在日本引入EUV***，用于開發下一代DRAM，基于最先進的1γ節點。此消息一出，美光也就成為第一個為日本引入EUV***的企業，美光計劃在未來幾年內，為位于廣島的設施投資5000億日元持續開發1γ技術。

在1γ節點之前，美光已經在廣島工廠實現了1β節點的大規模量產，而隨著EUV***的引進，這類為邏輯工藝帶來巨大的進步的天價設備，也將進一步加劇內存制造工藝競爭，畢竟來自韓國的兩大競爭對手，三星和SK海力士更早就已經布局了。

不過哪怕是美光這樣的行業巨頭，在引進EUV***制造時付出的成本依舊難以忽略，為此日本政府也加入了該項目的投資。根據美光公開的情報，為了確保該節點晶圓廠的如期建成，日本經濟產業省也在近日將補貼提高至1920億日元，達到原計劃的4倍。

除此之外，高NA EUV***的利用與研發投資已經在計劃中。美光今年已經成功量產1β節點存儲，且推出了HBM3E的樣品，未來面向生成式AI并基于1γ節點打造的HBM4必將成為大帶寬內存的下一個爆點。

日本半導體聯合企業Rapidus劍指2nm

想必大家都還記得2022年8月成立的日本半導體晶圓廠Rapidus，在日本政府和八大日本公司的支持下，包括電裝、鎧俠、軟銀、索尼和豐田等廠商，Rapidus的計劃是在2027年實現2nm邏輯工藝的制造。由此可見，即便有了出海建廠的臺積電，日本仍計劃在本地打造他們的半導體制造王牌。

不過要想實現2nm工藝的制造，自然是少不了EUV***的，甚至需要專門的人員支持。為此，ASML宣布將在Rapidus晶圓廠所在地北海道千歲市建立一個基地，用于支持這家日本晶圓廠未來的生產。根據日經新聞的報道，約50名ASML工程師將入駐該基地，幫助Rapidus在當地安裝最先進的ASML EUV***。

不過，該晶圓廠的建設在上個月初才正式動工，離建成還有一段時間，所以此時EUV***的交付還不緊要。更重要的是與EUV***有關的制造技術的研究，為此Rapidus也與全球領先的EUV研究組織合作，比如IMEC和IBM等。

從報道上來看，日本政府已經為這家本土晶圓廠準備了不少資金，現在調用的補貼就達到了24億美元，再加上8大日本公司的支持，可以說沖擊2nm完全不是問題。不過Rapidus似乎也打算走一條與臺積電、三星和英特爾不盡相同的賽道，他們并不打算走大批量量產通用芯片的路線，而是專注于專用芯片的制造，比如低功耗AI芯片等等。

這樣的選擇也算情有可原，畢竟即便有八大公司半導體專家的支持，Rapidus也依然缺少足夠的人才做到臺積電那樣的體量，要知道目前Rapidus只有200多號員工，而臺積電則有70000多名員工，而且后者也在日本招募半導體人才。所以Rapidus只要能夠做到供應日本本土的半導體產業，提升其工藝水平，就已經算完成任務了。

寫在最后

盡管日本的半導體制造產業鏈非常發達，比如材料、設備等，都有全球領先的企業，但在本土的晶圓廠上卻始終沒能趕上國際先進水平。所以日本政府為了改善這一現狀，無論是海外入駐的企業，還是本土成立的新廠商，都為其提供了大量補貼用于廠房建設和EUV***的購置。

但引入EUV***帶來的不僅是機遇，還有挑戰，尤其是以上提到的兩家廠商都在探索最新的半導體工藝，如果不能確保良率和效率的話，再先進的設備也難以帶來可觀的利潤。